一种便于清洗的研磨头结构的制作方法

本实用新型涉及研磨头技术领域，具体涉及一种便于清洗的研磨头结构。

背景技术：

在各行各业中，很多产品的生产制造都需要进行研磨工序操作。研磨工序的好坏决定了产品的品质，因此，提高研磨的效果是目前研究的重点。传统的研磨清洗结构，对于晶圆研磨的研磨设备包括研磨头和处于研磨头底部的研磨清洗装置，对于研磨主体中的研磨槽无法做到清洗，现有技术中cn2018205622103的实用新型公开了一种从内部清洗的研磨头结构，对于该结构采用固定的管路对研磨槽内壁进行冲刷能够起到基本清洗的作用，但是该结构还存在一定缺点，例如，由于管路固定，冲刷时在路径范围内的杂质能够冲刷干净，在冲刷路径以外的杂质无法做到有效清除，因此有必要进行改良。

技术实现要素：

本实用新型的目的是克服现有技术的不足和缺陷，提供一种旋转清洗的研磨头结构。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

一种便于清洗的研磨头结构，包括：研磨主体、研磨头和自旋清洗装置，所述研磨主体底部开设有研磨槽，所述自旋清洗装置设置在研磨槽内，所述研磨头设置在自旋清洗装置下方且与研磨主体固定连接，所述自旋清洗装置包括：圆形盒体和密封组件，水管穿过研磨主体伸入圆形盒体内，圆形盒体通过密封组件与水管密封转动连接，所述圆形盒体侧面设有多个路径为弧线的喷水孔，多个喷水孔沿圆形盒体中轴线阵列设置。

具体的，所述水管在圆形盒体内的端部向外延伸有折板，所述密封组件包括：第一密封环、第二密封环、弹簧丝套、密封轴瓦和两个耐磨密封环，所述第一密封环、密封轴瓦、弹簧丝套、第二密封环在折板上方的盒体内由中心向外依次设置，两个耐磨密封环分别固定设置在第一密封环的上表面和下表面。

具体的，包括连接杆，连接杆竖直安装在研磨槽内，连接杆上端与研磨槽顶部的研磨主体固定连接，连接杆下端与研磨头固定连接。

具体的，包括连接杆，所述连接杆横放在研磨槽内，横杆一端与研磨头固定，横杆另一端与研磨主体固定。

具体的，所述自旋清洗装置和研磨头之间设有转动轴承。

本实用新型相比现有技术包括以下优点及有益效果：

(1)本实用新型的圆形盒体通过密封组件与水管密封转动连接，圆形盒体侧面设有多个路径为弧线的喷水孔，当水管进行高压供水时，壳体受到水压的作用会自旋转，能够无死角的冲刷研磨槽，达到冲刷干净的作用。

(2)本实用新型通过在自旋清洗装置和研磨头之间设有转动轴承能够使得自旋清洗装置更容易进行自旋清洗。

附图说明

图1为本实用新型的一种结构示意图。

图2为本实用新型的另一种结构示意图。

图3为本实用新型m结构的局部放大示意图。

图4为本实用新型a-a结构的剖视图。

具体实施方式

下面结合实施例及附图对本实用新型作进一步详细的描述，但本实用新型的实施方式不限于此。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

本实用新型的具体实施过程如下：如图1至图4所示，一种便于清洗的研磨头结构，包括：研磨主体1、研磨头2和自旋清洗装置3，所述研磨主体1底部开设有研磨槽4，所述自旋清洗装置3设置在研磨槽4内，所述研磨头2设置在自旋清洗装置3下方且与研磨主体1固定连接，所述自旋清洗装置3包括：圆形盒体5和密封组件6，所述水管在圆形盒体5内的端部向外延伸有折板，所述密封组件6包括：第一密封环61、第二密封环62、弹簧丝套63、密封轴瓦64和两个耐磨密封环65，第一密封环61和第第二密封环62均为橡胶密封环，所述第一密封环61、密封轴瓦64、弹簧丝套63、第二密封环62在折板9上方的盒体内由中心向外依次设置，两个耐磨密封环65分别固定设置在第一密封环61的上表面和下表面，水管穿过研磨主体1伸入圆形盒体5内，圆形盒体5通过密封组件6与水管7密封转动连接，所述圆形盒体5侧面设有多个路径为弧线的喷水孔8，多个喷水孔8沿圆形盒体5中轴线阵列设置。当需要进行清洗时。通过水管7向圆形盒体5内进行高压供水，由于圆形盒体5内的水压较大，导致折板9向上产生一个压力，使得第一密封环61和第二密封环62受压变形，进而与折板9和圆形盒体5紧密，进而实现折板9与圆形盒体5之间的密封，当第二密封环62变形过大时，弹簧丝套63能够吸收部分变形，保证第二密封环62不会变形过大导致磨损严重，密封轴瓦64用以减小折板9、圆形盒体5对密封组件6的摩擦力，耐磨密封环65用以减小磨损损耗。高压水从喷水孔8喷出，喷水孔8是弧形喷水孔8，喷水时会产生一个切向力，使得圆形盒体5旋转，进而实现无死角清洗。

在一种实施例中，包括连接杆11，连接杆11竖直安装在研磨槽4内，连接杆11上端与研磨槽4顶部的研磨主体1固定连接，连接杆11下端与研磨头2固定连接，通过上述连接方式将研磨头2与研磨主体1固定连接。

在另一种实施例中，包括连接杆11，所述连接杆11横放在研磨槽4内，横杆一端与研磨头2固定，横杆另一端与研磨主体1固定，通过上述连接方式将研磨头2与研磨主体1固定连接。

具体的，所述自旋清洗装置3和研磨头2之间设有转动轴承，通过设置轴承减小研磨头2和圆形盒体5之间的摩擦力。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

技术特征：

1.一种便于清洗的研磨头结构，其特征在于，包括：研磨主体、研磨头和自旋清洗装置，所述研磨主体底部开设有研磨槽，所述自旋清洗装置设置在研磨槽内，所述研磨头设置在自旋清洗装置下方且与研磨主体固定连接，所述自旋清洗装置包括：圆形盒体和密封组件，水管穿过研磨主体伸入圆形盒体内，圆形盒体通过密封组件与水管密封转动连接，所述圆形盒体侧面设有多个路径为弧线的喷水孔，多个喷水孔沿圆形盒体中轴线阵列设置。

2.根据权利要求1所述的一种便于清洗的研磨头结构，其特征在于，所述水管在圆形盒体内的端部向外延伸有折板，所述密封组件包括：第一密封环、第二密封环、弹簧丝套、密封轴瓦和两个耐磨密封环，所述第一密封环、密封轴瓦、弹簧丝套、第二密封环在折板上方的盒体内由中心向外依次设置，两个耐磨密封环分别固定设置在第一密封环的上表面和下表面。

3.根据权利要求1所述的一种便于清洗的研磨头结构，其特征在于，包括连接杆，连接杆竖直安装在研磨槽内，连接杆上端与研磨槽顶部的研磨主体固定连接，连接杆下端与研磨头固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种便于清洗的研磨头结构，其特征在于，包括连接杆，所述连接杆横放在研磨槽内，横杆一端与研磨头固定，横杆另一端与研磨主体固定。

5.根据权利要求1所述的一种便于清洗的研磨头结构，其特征在于，所述自旋清洗装置和研磨头之间设有转动轴承。

技术总结
本实用新型涉及研磨头技术领域，具体涉及一种便于清洗的研磨头结构。包括：研磨主体、研磨头和自旋清洗装置，所述研磨主体底部开设有研磨槽，所述自旋清洗装置设置在研磨槽内，所述研磨头设置在自旋清洗装置下方且与研磨主体固定连接，所述自旋清洗装置包括：圆形盒体和密封组件，水管穿过研磨主体伸入圆形盒体内，圆形盒体通过密封组件与水管密封转动连接，所述圆形盒体侧面设有多个路径为弧线的喷水孔，多个喷水孔沿圆形盒体中轴线阵列设置。本实用新型的圆形盒体通过密封组件与水管密封转动连接，圆形盒体侧面设有多个路径为弧线的喷水孔，当水管进行高压供水时，壳体受到水压的作用会自旋转，能够无死角的冲刷研磨槽，达到冲刷干净的作用。

技术研发人员：胡旭南
受保护的技术使用者：深圳市方达研磨技术有限公司
技术研发日：2020.08.11
技术公布日：2021.03.23