一种溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板的制作方法

本实用新型涉及溅射机光学成膜治具技术领域，尤其涉及一种溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板。

背景技术：

目前在溅射机镀膜8寸窄带产品片时会产生均匀性不良或均匀性范围太小，增大了成本。

为了保证溅射机能够在基板上溅射均匀，溅射点子良好，需要治具的底座进行自转来维持镀膜均匀。底座自转时，为了保证夹具不会在自转和大盘公转的同时被甩飞出去而导致镀膜机损坏，底座需要加磁铁来对夹具进行吸附。由于溅射机本身原理就是磁场溅射，所以在底座加了磁铁后会对原本的磁场造成或多或少的破坏，进而对溅射磁场产生影响，从而导致镀膜均匀性不良，进而导致产品品质下降，材料成本、人工成本投入加大等不良影响。

另外，目前窄带干涉滤光片可替代如光栅那样昂贵的分光器件，广泛应用于光学实验和工业领域。所以窄带滤光片的需求增大，若不改善磁场均匀性问题会造成很大成本上的浪费。

因此，急需在底座和夹具之间加一个特殊设计的消磁隔板进行改进，从而保证不影响原本的镀膜磁场或者将影响降到最小，以便最大程度的保证镀膜均匀性良好，降低投入成本，增大产出。

技术实现要素：

为解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型提供一种溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，置于所述夹具与底座之间，包括隔板本体，所述隔板本体整体呈圆形，所述隔板本体的边缘均匀固定有至少三个凸沿，所述凸沿上均开设有透磁通孔，所述隔板本体上开设有若干用于透过底座对所述夹具位置检测的检测信号的信号透过孔。

优选地，各所述凸沿与所述隔板本体一体成型。

优选地，所述隔板本体为金属材质。

优选地，所述隔板本体的厚度为0.3～0.8mm，更优选厚度为0.5mm。

优选地，所述隔板本体的直径小于所述夹具的直径。

优选地，所述隔板本体的直径≥150mm，所述隔板本体的直径大小是所述透磁通孔直径大小的30～40倍。

优选地，所述夹具与所述隔板本体的直径之差为10mm～30mm。

优选地，所述信号透过孔为胶囊状椭圆孔。

优选地，所述信号透过孔为盲孔，开设在所述隔板本体的底面。

优选地，所述信号透过孔为通孔。

本实用新型的有益效果是：本实用新型通过在底座与夹具之间设置本消磁隔板，从而减小或消除因底座上磁铁吸附夹具而产生的过盛磁场，进而避免对溅射镀膜的磁场产生干扰，从而使溅射机对基板镀膜更加均匀，免受干扰，从而提高成品质量，节省材料，提高效率。

附图说明

图1是消磁隔板的结构示意图。

图2是夹具的底面结构示意图。

图3是底座的部分结构示意图。

图4是夹具、隔板以及底座的爆炸示意图。

其中：1-隔板本体，2-凸沿，3-透磁通孔，4-信号透过孔，5-磁铁，6-检测定位装置，101-夹具，102-底座。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步说明。

实施例1

一种溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，如图1到图4所示，该隔板置于所述夹具101与底座102之间，并可通过高温胶带粘附在底座102正上方，用于阻隔该底座102上放置的用于通过磁力来对夹具101进型固定的磁铁的磁场，包括隔板本体1，该隔板本体1整体呈圆形，隔板本体1的边缘沿周向均匀固定有至少三个凸沿2，所述凸沿2上均开设有透磁通孔3，该透磁通孔3能够使底座102上固定的磁铁5的磁力通过，以便对隔板上方的夹具101进行吸附、固定，从而避免底座在转动过程中夹具101被甩出。通常的，底座102上会设有用于检测夹具101放置位置的检测定位装置6，如位置传感器、感应器等，当夹具101放置到底座102上方的正确位置时，检测定位装置即可检测到夹具101的存在，进而对夹具101上的基板进型溅射镀膜。在该隔板本体1上还开设有若干信号透过孔4，该信号透过孔4可供底座102上的检测定位装置的检测信号透过，以便检测上方夹具101的放置位置是否正确，当夹具101放置正确后，即可对夹具101上的基板进行溅射镀膜。

在本实施例中，各凸沿2与隔板本体1一体成型，结构更加结实耐用，加工方便。

在本实施例中，所述隔板本体1为金属材质，优先为铁金属材质，能够更好的阻隔下方底座102上磁铁的磁场。

在本实施例中，所述隔板本体1的厚度为0.3～0.8mm，更优选厚度为0.5mm。

在本实施例中，所述隔板本体1的直径小于夹具101的直径。所述隔板本体1的直径≥150mm，所述隔板本体1的直径大小是所述透磁通孔3直径大小的30～40倍，优选35倍，这样底座102上的磁铁能够透过适量的透磁通孔3对上方的夹具101进行吸附固定，而且由于透磁通孔3设于隔板本体1的边缘，对应于夹具101的边缘，故而下方磁铁能够夹具101起到更好的固定作用，而且大大减少了对夹具101上基板镀膜区域溅射镀膜磁场的影响。

在本实施例中，所述夹具101与所述隔板本体1的直径之差为10mm～30mm。

在本实施例中，所述信号透过孔4为胶囊状的椭圆孔。该信号透过孔4可以为盲孔，开设在隔板本体1的底面，使开设盲孔位置的隔板本体1的厚度变薄，从而不仅能够使检测定位装置的检测信号通过，而且还不影响隔板本体1上表面的平整度。或者该信号透过孔4为通孔。

实施例2

一种溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，本隔板由一片0.5mm厚度的消磁铁片加工而成，具体地，可以是对一片直径为205mm的圆片进行切割，切割成一块整体直径为190mm、边缘处凸出有三块均匀分布于圆周的凸沿2的异型圆片，该异形圆片即为消磁隔板，在三个凸沿2上均开设直径为5mm的圆孔(即透磁通孔3)，以保证底座102上的磁铁能在吸附夹具101的时候仍然有效，再在消磁隔板的中部直径为60mm的位置周向均匀开设3个胶囊型的椭圆孔(即为信号透过孔4)，该孔的作用是保证底座的感应器(即检测定位装置6)可以检测到夹具是否放置完好，避免夹具未放好仍镀膜造成腔体损坏。将消磁隔板和底座102对孔放置后，在周围贴高温胶带进行固定，将夹具101固定完成后，即可对夹具101上的基板进行溅射镀膜。

以上实施方式仅用于说明本实用新型，而并非对本实用新型的限制，有关技术领域普通技术人员，在不脱离本实用新型精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属本实用新型的范畴，本实用新型专利保护范围应由权利要求限定。

技术特征：

1.一种溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，置于所述夹具(101)与底座(102)之间，包括隔板本体(1)，其特征在于，所述隔板本体(1)整体呈圆形，所述隔板本体(1)的边缘均匀固定有至少三个凸沿(2)，所述凸沿(2)上均开设有透磁通孔(3)，所述隔板本体(1)上开设有若干用于透过底座(102)对所述夹具(101)位置检测的检测信号的信号透过孔(4)。

2.根据权利要求1所述的溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，其特征在于，各所述凸沿(2)与所述隔板本体(1)一体成型。

3.根据权利要求1所述的溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，其特征在于，所述隔板本体(1)为金属材质。

4.根据权利要求1所述的溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，其特征在于，所述隔板本体(1)的厚度为0.3～0.8mm。

5.根据权利要求1所述的溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，其特征在于，所述隔板本体(1)的直径小于所述夹具(101)的直径。

6.根据权利要求1或5所述的溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，其特征在于，所述隔板本体(1)的直径≥150mm，所述隔板本体(1)的直径大小是所述透磁通孔(3)直径大小的30～40倍。

7.根据权利要求6所述的溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，其特征在于，所述夹具(101)与所述隔板本体(1)的直径之差为10mm～30mm。

8.根据权利要求1所述的溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，其特征在于，所述信号透过孔(4)为胶囊状椭圆孔。

9.根据权利要求1或8所述的溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，其特征在于，所述信号透过孔(4)为盲孔，开设在所述隔板本体(1)的底面。

10.根据权利要求1或8所述的溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，其特征在于，所述信号透过孔(4)为通孔。

技术总结
本实用新型涉及溅射机光学成膜治具技术领域，尤其涉及一种溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，置于所述夹具与底座之间，包括隔板本体，其特征在于，所述隔板本体整体呈圆形，所述隔板本体的边缘均匀固定有至少三个凸沿，所述凸沿上均开设有透磁通孔，所述隔板本体上开设有若干用于透过底座对所述夹具位置检测的检测信号的信号透过孔。本实用新型通过在底座与夹具之间设置本消磁隔板，从而减小或消除因底座上磁铁吸附夹具而产生的过盛磁场，进而避免对溅射镀膜的磁场产生干扰，从而使溅射机对基板镀膜更加均匀，免受干扰，从而提高成品质量，节省材料，提高效率。

技术研发人员：陈林帆;王刚
受保护的技术使用者：浙江美迪凯光学半导体有限公司
技术研发日：2020.11.25
技术公布日：2021.07.02