一种适用于12寸半导体晶棒粘接缓存台装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体抛光片制造技术领域，具体为一种适用于12寸半导体晶棒粘接缓存台装置。


背景技术：

2.在半导体硅抛光片制造领域中,粘棒工序(将线切用料座与晶棒粘接到一起)是整个加工过程中十分重要的一环。在此工序中，最重要的一环就是预固化时间的控制，若固化时间不足则在线切割过程中，晶棒易与料座脱离造成品质及机台事故。若固化时间过长，则影响生产效率。目前粘棒工序操作人员采用常规桌台进行预固化缓存，人工搬运物料入出桌台，整个过程均由人工手动搬运，存在极高的物料风险及安全风险。固化时间的记录也由人工进行记录，易产生人为错误，为此我们提出一种适用于12寸半导体晶棒粘接缓存台装置用于解决上述问题。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种适用于12寸半导体晶棒粘接缓存台装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种适用于12寸半导体晶棒粘接缓存台装置，包括工作台，所述工作台的底部四角固定安装有四根支撑腿，所述支撑腿的底部转动安装有万向轮，所述支撑腿之间分别固定安装有侧板和后板，所述两根支撑腿相同的侧面分别固定安装有铰链，所述铰链远离支撑腿的端部转动安装有两个门板，所述门板的一侧分别固定安装有把手；
5.所述工作台的顶部一侧固定安装有后挡板，所述后挡板的一侧固定安装有若干天线支架，所述天线支架远离后挡板的一侧设有若干晶棒粘接缓存组件，所述晶棒粘接缓存组件靠近天线支架的一侧顶部固定安装有rfid读取装置，所述晶棒粘接缓存组件之间固定安装有隔料架，所述隔料架远离后挡板的一侧固定设有工作指示灯。
6.优选的，所述支撑腿的下段固定安装有四根底部固定架，所述底部固定架之间固定安装有底板。
7.优选的，所述隔料架为匚型结构并且固定安装在相邻的两个晶棒粘接缓存组件之间。
8.优选的，所述晶棒粘接缓存组件包括料座，所述料座固定安装在工作台的顶部，所述料座之间转动安装有若干包胶辊筒，所述包胶辊筒的一侧端部内凹设有储物槽、另一端转动安装有挡料板，所述挡料板转动安装在料座的顶部一侧。
9.优选的，所述料座内单独设有料座id并且每个料座的料座id均不相同，所述料座的料座id与rfid读取装置电性连接，所述料座远离后挡板的端部与工作台的端部竖直位置重合。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：保证了预固化过程中物料的准确计
时并便于人工搬运，整个过程无人工介入干预，有效降低了人为干预的风险。
附图说明
11.图1为本实用新型结构示意图；
12.图2为本实用新型底部结构结构示意图；
13.图3为本实用新型晶棒粘接缓存组件结构示意图。
14.图中：工作台1、底部固定架2、支撑腿3、万向轮4、侧板5、rfid读取装置6、后板7、底板8、门板9、把手10、后挡板11、晶棒粘接缓存组件 12、料座121、包胶辊筒122、储物槽123、挡料板124、天线支架13、隔料架14、铰链15、工作指示灯16。
具体实施方式
15.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
16.请参阅图1
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3，本实用新型提供一种技术方案：一种适用于12寸半导体晶棒粘接缓存台装置，包括工作台1，工作台1的底部四角固定安装有四根支撑腿3，支撑腿3的底部转动安装有万向轮4，支撑腿3之间分别固定安装有侧板5和后板7，两根支撑腿3相同的侧面分别固定安装有铰链15，铰链15 远离支撑腿3的端部转动安装有两个门板9，门板9的一侧分别固定安装有把手10；
17.如图1所示，工作台1的顶部一侧固定安装有后挡板11，后挡板11的一侧固定安装有若干天线支架13，天线支架13远离后挡板11的一侧设有若干晶棒粘接缓存组件12，晶棒粘接缓存组件12靠近天线支架13的一侧顶部固定安装有rfid读取装置6，晶棒粘接缓存组件12之间固定安装有隔料架14，隔料架14远离后挡板11的一侧固定设有工作指示灯16，工作指示灯16用于显示料座121及单晶的预固化状态。
18.如图2所示，支撑腿3的下段固定安装有四根底部固定架2，底部固定架 2之间固定安装有底板8。
19.如图1所示，隔料架14为匚型结构并且固定安装在相邻的两个晶棒粘接缓存组件12之间，隔料架14可阻挡相邻物料倾斜碰撞。
20.如图1和图3所示，晶棒粘接缓存组件12包括料座121，料座121固定安装在工作台1的顶部，料座121之间转动安装有若干包胶辊筒122，包胶辊筒122的一侧端部内凹设有储物槽123、另一端转动安装有挡料板124，挡料板124转动安装在料座121的顶部一侧。
21.料座121内单独设有料座id并且每个料座121的料座id均不相同，料座121的料座id与rfid读取装置6电性连接，rfid读取装置6主要用于读取料座id，记录物料信息，方便上层系统进行预固化计时；料座121远离后挡板11的端部与工作台1的端部竖直位置重合，方便晶棒粘接缓存组件12 对接上料小车。
22.工作原理：本实用新型在使用时人工把本实用新型对接上料小车，并且晶棒粘接缓存组件12的料座121与上料小车的进出料口对接，可以实现晶棒的出入库，半导体晶棒粘接好后进入到料座121，经过包胶辊筒122带动进入到储物槽123内暂存，操作人员把挡料板
124翻转，从而阻挡粘接好的半导体晶棒从入口处反向滑出，粘接好的半导体晶棒进入到储物槽123后，rfid 读取装置6自动读取料座id，工作指示灯16做出常亮显示，并通过天线支架 13把相关数据上传到上层系统，当粘棒固化完成后，上层系统下发指令驱动对应晶棒粘接缓存组件12位置的工作指示灯16进行闪烁，提示操作人员取料进行下一道工序的加工，保证了预固化过程中物料的准确计时并便于人工搬运，整个过程无人工介入干预，有效降低了人为干预的风险。
23.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种适用于12寸半导体晶棒粘接缓存台装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的底部四角固定安装有四根支撑腿(3)，所述支撑腿(3)的底部转动安装有万向轮(4)，所述支撑腿(3)之间分别固定安装有侧板(5)和后板(7)，所述两根支撑腿(3)相同的侧面分别固定安装有铰链(15)，所述铰链(15)远离支撑腿(3)的端部转动安装有两个门板(9)，所述门板(9)的一侧分别固定安装有把手(10)；所述工作台(1)的顶部一侧固定安装有后挡板(11)，所述后挡板(11)的一侧固定安装有若干天线支架(13)，所述天线支架(13)远离后挡板(11)的一侧设有若干晶棒粘接缓存组件(12)，所述晶棒粘接缓存组件(12)靠近天线支架(13)的一侧顶部固定安装有rfid读取装置(6)，所述晶棒粘接缓存组件(12)之间固定安装有隔料架(14)，所述隔料架(14)远离后挡板(11)的一侧固定设有工作指示灯(16)。2.根据权利要求1所述的一种适用于12寸半导体晶棒粘接缓存台装置，其特征在于：所述支撑腿(3)的下段固定安装有四根底部固定架(2)，所述底部固定架(2)之间固定安装有底板(8)。3.根据权利要求1所述的一种适用于12寸半导体晶棒粘接缓存台装置，其特征在于：所述隔料架(14)为匚型结构并且固定安装在相邻的两个晶棒粘接缓存组件(12)之间。4.根据权利要求1所述的一种适用于12寸半导体晶棒粘接缓存台装置，其特征在于：所述晶棒粘接缓存组件(12)包括料座(121)，所述料座(121)固定安装在工作台(1)的顶部，所述料座(121)之间转动安装有若干包胶辊筒(122)，所述包胶辊筒(122)的一侧端部内凹设有储物槽(123)、另一端转动安装有挡料板(124)，所述挡料板(124)转动安装在料座(121)的顶部一侧。5.根据权利要求4所述的一种适用于12寸半导体晶棒粘接缓存台装置，其特征在于：所述料座(121)内单独设有料座id并且每个料座(121)的料座id均不相同，所述料座(121)的料座id与rfid读取装置(6)电性连接，所述料座(121)远离后挡板(11)的端部与工作台(1)的端部竖直位置重合。

技术总结
本实用新型公开了一种适用于12寸半导体晶棒粘接缓存台装置，包括工作台，工作台的底部四角固定安装有四根支撑腿，支撑腿的底部转动安装有万向轮，支撑腿之间分别固定安装有侧板和后板，两根支撑腿相同的侧面分别固定安装有铰链，铰链远离支撑腿的端部转动安装有两个门板，门板的一侧分别固定安装有把手；工作台的顶部一侧固定安装有后挡板，后挡板的一侧固定安装有若干天线支架，天线支架远离后挡板的一侧设有若干晶棒粘接缓存组件，晶棒粘接缓存组件靠近天线支架的一侧顶部固定安装有RFID读取装置，晶棒粘接缓存组件之间固定安装有隔料架，隔料架远离后挡板的一侧固定设有工作指示灯。示灯。示灯。


技术研发人员：齐风 陈健华 张淳 李伦 张丰 王彦君 孙晨光
受保护的技术使用者：中环领先半导体材料有限公司
技术研发日：2020.12.14
技术公布日：2021/9/7