一种支撑化学气相沉积用石墨盘的工装的制作方法

1.本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，具体为一种支撑化学气相沉积用石墨盘的工装。


背景技术：

2.化学气相沉积以热分解反应方式在衬底上进行化学沉积反应生成各种半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料的方法，该反应过程是以石墨盘作为衬底的承载平台。
3.目前，化学气相沉积过程中需要将石墨盘悬空放置，而现有的支撑放置石墨盘的工装只能支撑放置单片石墨盘，且现有的支撑放置石墨盘的工装存在由于影响气流流向造成石墨盘两面沉积不均匀的问题。


技术实现要素：

4.一种支撑化学气相沉积用石墨盘的工装，包括连接件和两个对称设置的侧板；所述侧板包括支撑座和设置在支撑座上的支撑杆；所述支撑杆为由两个横杆和一个竖杆组成的工字型状；所述支撑杆中心位置设有通孔作为连接孔；连接件穿过两个侧板的连接孔将两个侧板连接紧固。
5.进一步，所述支撑座与支撑杆一体成型。
6.进一步，所述连接件包括两个以插接的方式连接的第一连接杆和第二连接杆，所述第一连接杆和第二连接杆分别为t字形杆，t字形杆的头部直径大于连接孔的直径；所述第一连接杆的端部设有槽，将第二连接杆的插入第一连接杆的槽内。
7.进一步，所述第二连接杆的直径等于第一连接杆的直径，第二连接杆端部设有插头，所述插头的直径小于第二连接杆的直径、等于第一连接杆的槽的内径。
8.进一步，所述侧板下方设置有气体分散装置。
9.进一步，所述气体分散装置为圆盘状，设有若干个均匀分散布置的通孔作为进气孔。
10.有益效果：
11.使用本实用新型，将石墨盘竖立、夹装在工字型的支撑杆上，使用连接件将两个侧板连接，将侧板加紧固定，将工装放置在气体分散装置上，将工装放置在沉积炉内，进行沉积。将两个石墨盘分别夹装在工字型的支撑杆上，石墨盘仅与工字型的两条横杆接触，减小石墨盘与工装的接触面积，减少工装对沉积的影响；本实用新型的工装可以同时均匀的沉积两个石墨盘，提升生产效率，降低生产成本。
附图说明
12.图1是本实用新型的结构示意图；
13.图2是本实用新型的侧板的结构示意图；
14.图3是本实用新型的第一连接杆的结构示意图；
15.图4是本实用新型的第二连接杆的结构示意图；
16.1、侧板；2、支撑杆；3、支撑座；4、连接件；5、连接孔；6、横杆；7、竖杆；8、第一连接杆；9、第二连接杆；10、槽；11、插头；12、气体分散装置；13、进气孔；14、石墨盘。
17.具体实施方式：
18.以下结合具体实施例，对本实用新型做进一步说明。应理解，以下实施例仅用于说明本实用新型而非用于限制本实用新型的范围。
19.如图1
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4所示，一种支撑化学气相沉积用石墨盘的工装，包括连接件4和两个对称设置的侧板1；所述侧板1包括支撑座3和设置在支撑座3上的支撑杆2；所述支撑座3与支撑杆2一体成型；所述支撑杆2为由两个横杆6和一个竖杆7组成的工字型状；所述支撑杆2中心位置设有通孔作为连接孔5；连接件4穿过两个侧板1的连接孔5将两个侧板1连接紧固。所述连接件4包括两个以插接的方式连接的第一连接杆8和第二连接杆9，所述第一连接杆8和第二连接杆9分别为t字形杆，t字形杆的头部直径大于连接孔5的直径；所述第一连接杆8的端部设有槽10，将第二连接杆9的插入第一连接杆8的槽10内；所述第二连接杆9的直径等于第一连接杆8的直径，第二连接杆9端部设有插头11，所述插头11的直径小于第二连接杆9的直径、等于第一连接杆8的槽10的内径。所述侧板1下方设置有气体分散装置12；所述气体分散装置12为圆盘状，设有若干个均匀分散布置的通孔作为进气孔13。
20.工作过程：
21.将两个石墨盘14夹装在工字型的支撑杆2上，石墨盘14接触支撑杆2的上、下两个横杆6，将连接件4穿过两个侧板1的连接孔5，第一连接杆8穿过一个侧板1的连接孔5，第一连接杆8头部卡在侧板1的外侧，第二连接杆9穿过另一个侧板1的连接孔5，第二连接杆9头部卡在侧板1的外侧，将两个侧板1相对的一侧称为侧板1的内侧，侧板1的另一侧称为外侧；将第一连接杆8和第二连接杆9插接，将两侧板1连接紧固。将组装好的侧板1放置在气体分散装置12上。将工装和石墨盘14放置于化学气相沉积炉内进行沉积。
22.使用本实用新型所述的工装进行化学气相沉积，石墨盘14与工装接触面积小，减少因石墨盘14与工装的接触对沉积结果的影响。本实用新型所述的工装结构简单，可减少对化学气相沉积炉内气流的影响，可减轻因工装对气流影响造成的沉积不均匀的问题，工字型支撑杆2可支撑两片石墨盘14，提高生产效率，减低生产成本。


技术特征：
1.一种支撑化学气相沉积用石墨盘的工装，其特征在于：包括连接件和两个对称设置的侧板；所述侧板包括支撑座和设置在支撑座上的支撑杆；所述支撑杆为由两个横杆和一个竖杆组成的工字型状；所述支撑杆中心位置设有通孔作为连接孔；连接件穿过两个侧板的连接孔将两个侧板连接紧固。2.根据权利要求1所述的支撑化学气相沉积用石墨盘的工装，其特征在于：所述支撑座与支撑杆一体成型。3.根据权利要求1所述的支撑化学气相沉积用石墨盘的工装，其特征在于：所述连接件包括两个以插接的方式连接的第一连接杆和第二连接杆，所述第一连接杆和第二连接杆分别为t字形杆，t字形杆的头部直径大于连接孔的直径；所述第一连接杆的端部设有槽，将第二连接杆的插入第一连接杆的槽内。4.根据权利要求3所述的支撑化学气相沉积用石墨盘的工装，其特征在于：所述第二连接杆的直径等于第一连接杆的直径，第二连接杆端部设有插头，所述插头的直径小于第二连接杆的直径、等于第一连接杆的槽的内径。5.根据权利要求1所述的支撑化学气相沉积用石墨盘的工装，其特征在于：所述侧板下方设置有气体分散装置。6.根据权利要求5所述的支撑化学气相沉积用石墨盘的工装，其特征在于：所述气体分散装置为圆盘状，设有若干个均匀分散布置的通孔作为进气孔。

技术总结
一种支撑化学气相沉积用石墨盘的工装，包括连接件和两个对称设置的侧板；所述侧板包括支撑座和设置在支撑座上的支撑杆；所述支撑杆为由两个横杆和一个竖杆组成的工字型状；所述支撑杆中心位置设有通孔作为连接孔；连接件穿过两个侧板的连接孔将两个侧板连接紧固。将两个石墨盘分别夹装在工字型的支撑杆上，石墨盘仅与工字型的两条横杆接触，减小石墨盘与工装的接触面积，减少工装对沉积的影响；本实用新型的工装可以同时均匀的沉积两个石墨盘，提升生产效率，降低生产成本。降低生产成本。降低生产成本。


技术研发人员：黄文华 李江涛 张冰冰 刘帅 王长江 于佳成 张东生 吴恒
受保护的技术使用者：巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司
技术研发日：2021.01.20
技术公布日：2021/10/8