一种蒸镀真空腔室加热装置

1.本实用新型涉及蒸镀腔室技术领域，具体为一种蒸镀真空腔室加热装置。


背景技术：

2.蒸镀的物理过程包括：沉积材料蒸发或升华为气态粒子
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气态粒子快速从蒸发源向基片表面输送
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气态粒子附着在基片表面形核、长大成固体薄膜
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薄膜原子重构或产生化学键合。将基片放入真空室内，以电阻、电子束、激光等方法加热膜料，使膜料蒸发或升华，气化为具有一定能量（0.1～0.3ev）的粒子（原子、分子或原子团）。气态粒子以基本无碰撞的直线运动飞速传送至基片，到达基片表面的粒子一部分被反射，另一部分吸附在基片上并发生表面扩散，沉积原子之间产生二维碰撞，形成簇团，有的可能在表面短时停留后又蒸发。粒子簇团不断地与扩散粒子相碰撞，或吸附单粒子，或放出单粒子。此过程反复进行，当聚集的粒子数超过某一临界值时就变为稳定的核，再继续吸附扩散粒子而逐步长大，最终通过相邻稳定核的接触、合并，形成连续薄膜，现有的蒸镀设备在真空蒸镀箱外侧设置有加热坩埚，对蒸镀镀材进行加热蒸发，通过输送管输送至真空蒸镀箱内，在输送过程中易发生热量损失、蒸镀材料蒸汽损耗等情况，降低了蒸镀效果以及材料的浪费。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种蒸镀真空腔室加热装置，蒸镀坩埚设置于真空蒸镀箱的腔内，蒸镀坩埚和盖体外侧设置有坩埚加热层和盖体加热层，将蒸镀原料进行加热蒸发，将蒸汽直接输送至真空蒸镀箱的腔内以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种蒸镀真空腔室加热装置，包括真空蒸镀箱和蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚通过螺丝固定于真空蒸镀箱的内腔下表面，所述蒸镀坩埚的外表面套接有坩埚加热层，所述坩埚加热层的外表面套接有隔热层，所述蒸镀坩埚的上端螺纹连接有盖体，所述蒸镀坩埚的盖体下表面设置有液位传感器和温度传感器；
5.所述盖体的下表面设置有盖体加热层，所述盖体加热层的上表面贴合有盖体隔热层，所述盖体的上表面螺纹连接有蒸汽电磁阀，所述蒸汽电磁阀的出口上方设置有蒸汽罩，所述蒸汽罩通过螺丝固定在盖体隔热层的上表面，所述蒸汽罩的侧面均匀分布有蒸汽引导孔；
6.所述真空蒸镀箱的内腔的上表面通过螺丝固定有电极板，所述电极板的下表面开设有燕尾槽，所述燕尾槽内插接有滑动插杆，所述滑动插杆的下表面螺纹连接有挂钩，所述真空蒸镀箱的一侧铰接有箱门。
7.所述盖体加热层和盖体隔热层的中间开设有蒸汽孔，所述蒸汽电磁阀通过螺纹垂直插接于蒸汽孔内。
8.所述真空蒸镀箱的腔内内壁覆盖有原子流反射挡板。
9.所述箱门与真空蒸镀箱接触处埋设有密封条。
10.所述液位传感器的上端设置有固定杆，所述液位传感器的下端设置为探头，所述液位传感器的固定杆设置有螺纹，所述液位传感器的固定杆通过螺纹插接于盖体。
11.所述盖体加热层与坩埚加热层设置为独立加热，所述盖体加热层与坩埚加热层之间互不干扰。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：将蒸镀坩埚设置于真空蒸镀箱的腔内，蒸镀坩埚和盖体外侧设置有坩埚加热层和盖体加热层，将蒸镀原料进行加热蒸发，将蒸汽直接输送至真空蒸镀箱的腔内，避免了输送过程中造成的热量损耗，提高了蒸镀镀料的利用率。
附图说明
13.图1为本实用新型正视结构示意图；
14.图2为本实用新型侧视结构示意图；
15.图3为本实用新型俯视结构示意图。
16.图中：1、真空蒸镀箱；2、蒸镀坩埚；3、坩埚加热层；4、隔热层；5、盖体加热层；6、盖体隔热层；7、温度传感器；8、液位传感器；9、蒸汽电磁阀；10、蒸汽罩；11、蒸汽引导孔；12、电极板；13、燕尾槽；14、滑动插杆；15、挂钩；16、箱门。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.请参阅图1～3，本实用新型提供一种技术方案：该一种蒸镀真空腔室加热装置，包括真空蒸镀箱1和蒸镀坩埚2，真空蒸镀箱1的腔内内壁覆盖有原子流反射挡板，提高了蒸镀镀材的利用率，蒸镀坩埚2通过螺丝固定于真空蒸镀箱1的内腔下表面，避免了使用传输管的连接造成的热量损失，蒸镀坩埚2的外表面套接有坩埚加热层3，对蒸镀坩埚2内的蒸镀镀材进行加热蒸发，坩埚加热层3的外表面套接有隔热层4，避免影响真空蒸镀箱内部的温度，蒸镀坩埚2的上端螺纹连接有盖体；
19.蒸镀坩埚2的盖体下表面设置有液位传感器8和温度传感器7，液位传感器8的上端设置有固定杆，液位传感器8的下端设置为探头，液位传感器8的固定杆设置有螺纹，液位传感器8的固定杆通过螺纹插接于盖体，保证了液位传感器8的安装稳定性；；
20.盖体的下表面设置有盖体加热层5，利于平衡蒸汽的温度，减少了热量的损失，盖体加热层5与坩埚加热层3设置为独立加热，盖体加热层5与坩埚加热层3之间互不干扰，提高了温度控制的灵活性，避免了蒸镀坩埚2的上部温度过高，盖体加热层5的上表面贴合有盖体隔热层6，盖体的上表面螺纹连接有蒸汽电磁阀9，用于控制蒸汽进入真空蒸镀箱1的量，盖体加热层5和盖体隔热层6的中间开设有蒸汽孔，蒸汽电磁阀9通过螺纹垂直插接于蒸汽孔内，提高了蒸汽电磁阀9的稳定性，蒸汽电磁阀9的出口上方设置有蒸汽罩10，利于蒸汽均匀分布于真空蒸镀箱1的内腔，蒸汽罩10通过螺丝固定在盖体隔热层6的上表面，利于蒸汽罩10的拆装，蒸汽罩10的侧面均匀分布有蒸汽引导孔11；
21.真空蒸镀箱1的内腔的上表面通过螺丝固定有电极板12，为产品提供电极，电极板12的下表面开设有燕尾槽13，用于固定滑动插杆14，燕尾槽13内插接有滑动插杆14，滑动插杆14的下表面螺纹连接有挂钩15，用于放置产品，真空蒸镀箱1的一侧铰接有箱门16，箱门16与真空蒸镀箱1接触处埋设有密封条，保证了蒸镀蒸汽不会泄露出去。
22.工作原理：将蒸镀坩埚2设置于真空蒸镀箱1的腔内，将产品放置于挂钩上，通过滑动插杆14插接于燕尾槽13内部，通过电极板连接有电极，蒸镀坩埚2和盖体外侧设置有坩埚加热层3和盖体加热层5，将蒸镀原料进行加热蒸发，将蒸汽直接输送至真空蒸镀箱1的腔内，利用电极板12，将蒸汽中的镀料附着在产品表面，避免了输送过程中造成的热量损耗，提高了蒸镀镀料的利用率。
23.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种蒸镀真空腔室加热装置，包括真空蒸镀箱（1）和蒸镀坩埚（2），其特征在于：所述蒸镀坩埚（2）通过螺丝固定于真空蒸镀箱（1）的内腔下表面，所述蒸镀坩埚（2）的外表面套接有坩埚加热层（3），所述坩埚加热层（3）的外表面套接有隔热层（4），所述蒸镀坩埚（2）的上端螺纹连接有盖体，所述蒸镀坩埚（2）的盖体下表面设置有液位传感器（8）和温度传感器（7）；所述盖体的下表面设置有盖体加热层（5），所述盖体加热层（5）的上表面贴合有盖体隔热层（6），所述盖体的上表面螺纹连接有蒸汽电磁阀（9），所述蒸汽电磁阀（9）的出口上方设置有蒸汽罩（10），所述蒸汽罩（10）通过螺丝固定在盖体隔热层（6）的上表面，所述蒸汽罩（10）的侧面均匀分布有蒸汽引导孔（11）；所述真空蒸镀箱（1）的内腔的上表面通过螺丝固定有电极板（12），所述电极板（12）的下表面开设有燕尾槽（13），所述燕尾槽（13）内插接有滑动插杆（14），所述滑动插杆（14）的下表面螺纹连接有挂钩（15），所述真空蒸镀箱（1）的一侧铰接有箱门（16）。2.根据权利要求1所述的一种蒸镀真空腔室加热装置，其特征在于：所述盖体加热层（5）和盖体隔热层（6）的中间开设有蒸汽孔，所述蒸汽电磁阀（9）通过螺纹垂直插接于蒸汽孔内。3.根据权利要求1所述的一种蒸镀真空腔室加热装置，其特征在于：所述真空蒸镀箱（1）的腔内内壁覆盖有原子流反射挡板。4.根据权利要求1所述的一种蒸镀真空腔室加热装置，其特征在于：所述箱门（16）与真空蒸镀箱（1）接触处埋设有密封条。5.根据权利要求1所述的一种蒸镀真空腔室加热装置，其特征在于：所述液位传感器（8）的上端设置有固定杆，所述液位传感器（8）的下端设置为探头，所述液位传感器（8）的固定杆设置有螺纹，所述液位传感器（8）的固定杆通过螺纹插接于盖体。6.根据权利要求1所述的一种蒸镀真空腔室加热装置，其特征在于：所述盖体加热层（5）与坩埚加热层（3）设置为独立加热，所述盖体加热层（5）与坩埚加热层（3）之间互不干扰。

技术总结
本实用新型公开了一种蒸镀真空腔室加热装置，属于蒸镀腔室领域，包括真空蒸镀箱和蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚通过螺丝固定于真空蒸镀箱的内腔下表面，所述蒸镀坩埚的外表面套接有坩埚加热层，所述坩埚加热层的外表面套接有隔热层，所述盖体的下表面设置有盖体加热层，所述盖体加热层的上表面贴合有盖体隔热层，所述盖体的上表面螺纹连接有蒸汽电磁阀，所述蒸汽电磁阀的出口上方设置有蒸汽罩，所述蒸汽罩通过螺丝固定在盖体隔热层的上表面，所述蒸汽罩的侧面均匀分布有蒸汽引导孔，本实用新型通过将蒸镀坩埚设置于真空蒸镀箱的腔内，将蒸汽直接输送至真空蒸镀箱的腔内，避免了输送过程中造成的热量损耗，提高了蒸镀镀料的利用率。提高了蒸镀镀料的利用率。提高了蒸镀镀料的利用率。


技术研发人员：张余 吴方强 王晓慧
受保护的技术使用者：浙江工贸职业技术学院
技术研发日：2021.05.17
技术公布日：2021/11/24