减薄机研磨轮及减薄机的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆研磨设备领域，具体地，涉及减薄机研磨轮及减薄机。


背景技术：

2.现在的减薄机最大的缺点就是压力过大，会对晶圆造成暗纹或者破片；同时污染过于严重，在一般的无尘车间，都会将此设备单独隔离，防止对其他机台造成污染，单独隔离既占用无尘室较大空间，同时工作人员以及日常检察人员在平时工作时有一定的不便等。
3.专利文献cn202479951u公开了一种晶片减薄研磨机，包括铸铁机架以及排列在铸铁机架上的工件进给平台和摇摆平台，所述的工件进给平台上依次固定有工件旋转轴以及驱动工件旋转轴的工件旋转电机，工件旋转轴上安装有工件吸附盘，所述的摇摆平台上依次固定有砂轮轴以及安装在砂轮轴上的砂轮，铸铁机架上还设有驱动工件进给平台的工件进给电机和驱动砂轮轴的砂轮电机。
4.专利文献cn112548883a提供了一种研磨砂轮及研磨设备，属于半导体技术领域。研磨砂轮，包括：砂轮基体；位于所述砂轮基体一侧的表面上的研磨层，所述研磨层由研磨颗粒、粘结剂、气孔和添加剂组成，所述研磨颗粒的硬度小于金刚石颗粒，且所述研磨颗粒能够与二氧化硅和/或硅发生化学反应。研磨设备安装使用本研磨砂轮，研磨过程中通过机械摩擦能、化学能、热能的综合作用对硅片表面进行去除减薄。
5.专利文献cn203330895u公开了一种研磨轮，其特征在于：所述的砂轮包括有基座、壁和中空部，壁有外部二和内侧；所述的砂轮通过轮毂固定在基座的外部的中心，且砂轮可放入壁待研磨的部分的槽中；所述的砂轮的上有中心盘，其叶片根部的槽上有边。所述的砂轮上有底部区域和顶部区域。所述的砂轮上有侧部一和侧部二，侧部一上有端部一和端部二，侧部二上有端部三和端部四。所述的砂轮上有研磨槽的基体，基体可研磨成槽。


技术实现要素：

6.针对现有技术中的缺陷，本实用新型的目的是提供一种减薄机研磨轮及减薄机。
7.根据本实用新型提供的一种减薄机研磨轮，包括：研磨轮、垫片和研磨面；
8.所述研磨轮一侧设置所述研磨面；
9.所述研磨轮一侧安装所述垫片；
10.所述垫片和所述研磨面安置于同一侧；
11.所述研磨面四周安置所述垫片。
12.优选地，所述研磨轮中间设置夹持孔并通过所述夹持孔夹持所述研磨轮。
13.优选地，所述研磨轮另一侧面安装底座。
14.优选地，所述夹持孔外侧设置所述研磨面；
15.所述研磨面外侧设置所述垫片。
16.优选地，所述研磨面包括研磨钻石。
17.优选地，所述垫片包括海绵垫片。
18.本实用新型还提供一种减薄机，所述减薄机使用所述减薄机研磨轮。
19.与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：
20.1、在研磨轮下降时，垫片起到缓冲作用，避免由于压力过大，使晶圆产生暗纹甚至破片等现象；
21.2、通过加装垫片可以对研磨过程起到清洁作用，避免残留的残渣或者研磨颗粒会对晶圆产生一定的损害，同时避免对无尘室内其他机台的污染。
附图说明
22.通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
23.图1为减薄机研磨轮主视图；
24.图2为减薄机研磨轮俯视图；
25.图中所示：
26.具体实施方式
27.下面结合具体实施例对本实用新型进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本实用新型，但不以任何形式限制本实用新型。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变化和改进。这些都属于本实用新型的保护范围。
28.实施例1
29.如图1和图2所示，一种减薄机研磨轮，其特征在于，包括：研磨轮1、垫片2和研磨面3，研磨轮1一侧设置研磨面3，研磨轮1一侧安装垫片2，垫片2和研磨面3安置于同一侧，研磨面3四周安置垫片2。研磨面3包括研磨钻石，垫片2包括海绵垫片。
30.研磨轮1中间设置夹持孔4并通过夹持孔4夹持研磨轮1研磨轮1另一侧面安装底座5，夹持孔4外侧设置研磨面3，研磨面3外侧设置垫片2，减薄机使用本实用新型中的减薄机研磨轮。
31.实施例2
32.实施例2作为实施例1的优选例。
33.如图1和图2所示，研磨轮1通过螺丝固定在机台主轴上，主轴通过真空装置升起或下降研磨轮1的同时，旋转研磨轮1，晶圆位于机台的研磨台上，在研磨轮1与研磨台上的晶圆接触时，研磨轮研磨钻石区域会对晶圆进行减薄研磨，同时在研磨轮1与晶圆接触时，研磨轮海绵垫片2会在接触的瞬间起到一定的缓冲作用，避免研磨轮1与晶圆接触时，由于高强度大力对晶圆造成破坏；在研磨轮1对晶圆减薄的过程中，研磨台上会有研磨后的残渣，此时研磨轮海绵垫片2会对研磨台上的残渣有一定的清扫作用，避免在减薄过程中残渣对
晶圆产生划伤以及污染。
34.本实用新型通过加装研磨轮海绵垫片2，可以在研磨轮1下降时起到一定的缓冲作用，避免由于压力过大，使晶圆产生暗纹甚至破片等现象；通过加装研磨轮海绵垫片2可以对研磨过程起到一定的清洁作用，残留的残渣或者研磨颗粒会对晶圆产生一定的损害，同时由于减薄机研磨后的残渣颗粒较小，有时会漂浮在空气中，造成无尘室内的其他生产机台污染，加装研磨轮海绵垫片2后，可以及时将研磨后的残渣或者是颗粒清扫至研磨台下方，通过机台内的循环水将其冲走，避免了残留的残渣或者研磨颗粒对晶圆的损害，同时也避免的对无尘室内其他机台的污染。
35.在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
36.以上对本实用新型的具体实施例进行了描述。需要理解的是，本实用新型并不局限于上述特定实施方式，本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变化或修改，这并不影响本实用新型的实质内容。在不冲突的情况下，本申请的实施例和实施例中的特征可以任意相互组合。


技术特征：
1.一种减薄机研磨轮，其特征在于，包括：研磨轮(1)、垫片(2)和研磨面(3)；所述研磨轮(1)一侧设置所述研磨面(3)；所述研磨轮(1)一侧安装所述垫片(2)；所述垫片(2)和所述研磨面(3)安置于同一侧；所述研磨面(3)四周安置所述垫片(2)。2.根据权利要求1所述减薄机研磨轮，其特征在于：所述研磨轮(1)中间设置夹持孔(4)并通过所述夹持孔(4)夹持所述研磨轮(1)。3.根据权利要求1所述减薄机研磨轮，其特征在于：所述研磨轮(1)另一侧面安装底座(5)。4.根据权利要求2所述减薄机研磨轮，其特征在于：所述夹持孔(4)外侧设置所述研磨面(3)；所述研磨面(3)外侧设置所述垫片(2)。5.根据权利要求1所述减薄机研磨轮，其特征在于：所述研磨面(3)包括研磨钻石。6.根据权利要求1所述减薄机研磨轮，其特征在于：所述垫片(2)包括海绵垫片。7.一种减薄机，其特征在于：所述减薄机使用权利要求1-6任一项所述减薄机研磨轮。

技术总结
本实用新型提供了一种减薄机研磨轮及减薄机，包括：研磨轮、垫片和研磨面；所述研磨轮一侧设置所述研磨面，所述研磨轮一侧安装所述垫片，所述垫片和所述研磨面安置于同一侧，所述研磨面四周安置所述垫片。在研磨轮下降时，垫片起到缓冲作用，避免由于压力过大，使晶圆产生暗纹甚至破片等现象。产生暗纹甚至破片等现象。产生暗纹甚至破片等现象。


技术研发人员：黄威
受保护的技术使用者：淄博绿能芯创电子科技有限公司
技术研发日：2021.06.17
技术公布日：2022/2/7