一种新型拍舟装置的制作方法

文档序号:28829552发布日期:2022-02-09 12:11阅读:364来源:国知局
一种新型拍舟装置的制作方法

1.本发明属于pecvd镀膜及自动插片机装取片技术领域,尤其涉及一种新型拍舟装置。


背景技术:

2.石墨制品是一种以天然石墨为原料制造的不同用途的物品,其优良的物理特性和化学特性使其在各行业中被广泛的运用。尤其在管式pecvd中,利用石墨舟优良的导热及导电性能来作为硅片的载体。在pecvd自动插片机装取片时,硅片与舟叶及卡点存在接触不佳的情况,需要人工轻拍石墨舟,利用硅片自身的重力与拍舟时震荡的原理将硅片与石墨舟叶及卡点接触充分,从而减少因硅片与卡点/舟叶未接触充分造成的打火返工片甚至硅片脱落破碎等问题,但是人工拍舟会存在安全隐患,同时人力成本高,效率却低,没办法适应流水线生产强度。


技术实现要素:

3.鉴于以上,本发明提供一种新型拍舟装置,该装置充分利用机械原理设计,可以完全弥补人工拍舟过程中的不足,可直接安装到pecvd自动插片机或其他需要拍舟的装置内使用,便捷、安全可靠,取代人工,节约成本,高效的实现拍舟操作,减少返工及碎片情况,进而充分提升机台利用率,和电池的成品率,应用前景广阔。具体技术方案如下:
4.一种新型拍舟装置,用于拍打石墨舟,其特征在于,包括动力模块和拍舟臂,拍舟臂设置在动力模块的活动端,可在动力模块的带动下进行朝向石墨舟方向的运动,拍舟臂包括双层拍舟板和拍舟滚轮,双层拍舟板分别为上层拍舟板和下层拍舟板,拍舟滚轮设置于下层拍舟板下方,下层拍舟板直接与动力模块的活动端连接,在上层拍舟板设置有震动器。
5.进一步,上层拍舟板通过连接轴与下层拍舟板上的直线轴承连接,连接轴穿过直线轴承向下延伸连接拍舟滚轮的端点处。
6.进一步,下层拍舟板下方的连接轴外围套设有减震弹簧。
7.进一步,所述直线轴承与上层拍舟板的交界处设置有减震垫圈。
8.进一步,所述拍舟滚轮两端设置旋转轴,所述旋转轴与所述连接轴固定连接。
9.进一步,所述动力模块为气缸。
10.本发明附加的方面和优点将在下面的描述中进一步给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本发明的实践了解到。
附图说明
11.本发明的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:
12.图1所示为新型拍舟装置的结构示意图;
13.其中,1-动力模块,2-上层拍舟板,3-下层拍舟板,4-拍舟滚轮,5-震动器,6-连接轴,7-轴承,8-减震弹簧,9-旋转轴,10-减震垫圈。
具体实施方式
14.下面详细描述本发明的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本发明,而不能解释为对本发明的限制。
15.在本发明的描述中,需要理解的是,术语
ꢀ“
上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
16.参照图1所示,本实施例优选提供的一种新型拍舟装置,用于拍打石墨舟,包括动力模块1和拍舟臂,拍舟臂设置在动力模块1的活动端,可在动力模块1的带动下进行朝向石墨舟方向的运动,拍舟臂包括双层拍舟板和拍舟滚轮4,双层拍舟板分别为上层拍舟板2和下层拍舟板3,拍舟滚轮4设置于下层拍舟板3下方,下层拍舟板3直接与动力模块1的活动端连接,在上层拍舟板2设置有震动器5。在本实施例中,动力模块1优选带导向的smc标准气缸,通过电磁阀控制,拍舟臂设置在动力模块1的活动端,即气缸的活塞端,增加拍舟的稳定性与时效性。震动器5优选gt8标准震动器,增加震动的稳定性与时效性。
17.进一步,上层拍舟板2通过连接轴6与下层拍舟板3上的直线轴承7连接,连接轴6穿过直线轴承7向下延伸连接拍舟滚轮4的端点处,下层拍舟板3下方的连接轴外围套设有减震弹簧8。拍舟滚轮4两端设置旋转轴9,拍舟滚轮4外套有橡胶圈,旋转轴9与连接轴6固定连接。在本实施例中可优选固定销轴作为直线轴承7的连接轴6从上层拍舟板2穿入直线轴承7。
18.进一步,直线轴承7与上层拍舟板2的交界处设置有减震垫圈10,起到减震、防碰撞的作用。本实施例中的拍舟臂整体结构可以采用铝型材材质,减轻自身重量,保护石墨舟。
19.另外,本发明装置中还具有电气控制单元,包括进出舟感应器和控制器,进出舟感应器用以自动检测有无石墨舟运动到本拍舟装置工作范围内,控制器用于接收感应器信号并控制动力模块2和拍舟臂进行拍舟运动,当进出舟感应器检测到石墨舟时,作为动力模块2的气缸带动整个拍舟臂向石墨舟运动,石墨舟通常从拍舟装置的下方运动传输,即气缸带动整个拍舟臂向下运动至拍舟滚轮4碰到石墨舟体停止,此时设置在气缸上的位磁敏传感器亮起,震动器5开始震动,带动上层拍舟板2和拍舟滚轮4同步震动,从而形成连贯的拍舟动作。拍舟过程中,在上层拍舟板2、震动器5、连接轴6、直线轴承7与减震弹簧8的组合共同作用下,既保证对石墨舟拍舟的力度和效果,震荡石墨舟使硅片能更好的滑落进卡点内,同时又能起到减震效果,对石墨舟叶起到保护作用。
20.在本实施例中电气控制器可以为基于可编程控制器plc(programmable logic controller)的工控机,利用进出舟感应器及气缸磁敏作为输入信号,电磁阀、震动器作为输出信号,信号写入plc,利用plc自带辅助计时器对拍舟节奏进行控制,因其为成熟技术且不影响本发明的理解,图示中并没有对电气控制单元做具体的展示,同时在此也不作具体展开说明。
21.本实施例的新型拍舟装置结构合理,可直接配置于自动化插片机中使用,可以完全取代人为拍舟中的不足,屏蔽掉人为反复开关接驳台进行人工拍舟的缺陷,大大节约人力,减少返工及碎片且充分提升机台利用率。pe工序碎片率安装拍舟器前是0.4%,安装本新型拍舟器后可降至0.1%,对于公司成本控制有很大益处。同时,自动化拍舟装置安全可靠、杜绝人为有不拍舟及漏拍舟的现象,工作效率高,应用前景广阔,故而能够达成本发明的目的。
22.本发明未详述之处,均为本领域技术人员的公知技术。
23.尽管参照本发明的示意性实施例对本发明的具体实施方式进行了详细的描述,但是必须理解,本领域技术人员可以设计出多种其他的改进和实施例,这些改进和实施例将落在本发明原理的精神和范围之内。具体而言,在前述公开、附图以及权利要求的范围之内,可以在零部件和/或者从属组合布局的布置方面作出合理的变型和改进,而不会脱离本发明的精神。


技术特征:
1.一种新型拍舟装置,用于拍打石墨舟,其特征在于,包括动力模块和拍舟臂,拍舟臂设置在动力模块的活动端,可在动力模块的带动下进行朝向石墨舟方向的运动,拍舟臂包括双层拍舟板和拍舟滚轮,双层拍舟板分别为上层拍舟板和下层拍舟板,拍舟滚轮设置于下层拍舟板下方,下层拍舟板直接与动力模块的活动端连接,在上层拍舟板设置有震动器。2.根据权利要求1所述的新型拍舟装置,其特征在于,上层拍舟板通过连接轴与下层拍舟板上的直线轴承连接,连接轴穿过直线轴承向下延伸连接拍舟滚轮的端点处。3.根据权利要求2所述的新型拍舟装置,其特征在于,下层拍舟板下方的连接轴外围套设有减震弹簧。4.根据权利要求2所述的新型拍舟装置,其特征在于,所述直线轴承与上层拍舟板的交界处设置有减震垫圈。5.根据权利要求2所述的新型拍舟装置,其特征在于,所述拍舟滚轮两端设置旋转轴,所述旋转轴与所述连接轴固定连接。6.根据权利要求1所述的新型拍舟装置,其特征在于,所述动力模块为气缸。

技术总结
本申请提供一种新型拍舟装置,用于拍打石墨舟,其特征在于,包括动力模块和拍舟臂,拍舟臂设置在动力模块的活动端,可在动力模块的带动下进行朝向石墨舟方向的运动,拍舟臂包括双层拍舟板和拍舟滚轮,双层拍舟板分别为上层拍舟板和下层拍舟板,拍舟滚轮设置于下层拍舟板下方,下层拍舟板直接与动力模块的活动端连接,在上层拍舟板设置有震动器。该装置充分利用机械原理设计,可以完全弥补人工拍舟过程中的不足,可直接安装到PECVD自动插片机或其他需要拍舟的装置内使用,便捷、安全可靠,取代人工,节约成本,高效的实现拍舟操作,减少返工及碎片情况,进而充分提升机台利用率,和电池的成品率,应用前景广阔。应用前景广阔。应用前景广阔。


技术研发人员:梅余晶 王银 汪剑 蔡兆勇
受保护的技术使用者:江苏润阳世纪光伏科技有限公司
技术研发日:2021.07.01
技术公布日:2022/2/8
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