一种用于原子层沉积装置的管路连接装置的制作方法

1.本实用新型涉及原子层沉积装置设备技术领域，具体涉及一种用于原子层沉积装置的管路连接装置。


背景技术：

2.银饰品是一种以金属银打造的饰品，质地光滑，富有色泽。但银饰品在保存中容易氧化导致变色甚至发黑。而用电镀、无机钝化膜、有机钝化膜等常规处理方法会破坏银饰品的色泽，也存在污染问题。原子层沉积是一种可以实现将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。
3.现有的沉积装置，前驱体源喷射管都是固定在壳体上的，一来不方便料架的放入，二来也不方便清理。
4.为此，我们提出一种用于原子层沉积装置的管路连接装置。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于解决或者至少缓解现有技术中存在的问题。
6.为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：
7.一种用于原子层沉积装置的管路连接装置，包括沉积反应筒，所述沉积反应筒内设置有匀气环，匀气环的两端贯通连接有连接装置，且连接装置穿过沉积反应筒后并与同一个前驱体源输入管的两端相连接；
8.所述连接装置包括第一连接管和第二连接管，第一连接管与前驱体源输入管贯通连接，第二连接管与匀气环贯通连接，第一连接管和第二连接管均开设有相互对应的阶梯状坡口，且第一连接管和第二连接管通过相对应的阶梯状坡口能够形成密封管道，第一连接管和第二连接管通过扣件和螺丝相互固定。
9.可选地，所述沉积反应筒上还盖设有用于密封的顶盖。
10.可选地，所述匀气环的内侧环设有多排对银饰品喷射前驱体源的喷射孔。
11.可选地，所述第一连接管上的阶梯状坡口方向朝上，且第二连接管上的阶梯状坡口方向朝下。
12.可选地，所述连接装置与沉积反应筒的连接处设置有密封圈。
13.可选地，所述第一连接管和前驱体源输入管焊接成型，且第二连接管和匀气环一体成型。
14.本实用新型实施例提供了一种用于原子层沉积装置的管路连接装置。具备以下有益效果：
15.1、通过采用可拆卸的连接装置，能够方便匀气环与前驱体源输入管的连接，同时由于第一连接管和第二连接管方便连接和拆除，当料架较大时，可以快速拆装，同时也方便清理。
附图说明
16.图1为本实用新型剖视结构示意图；
17.图2为本实用新型立体结构及其爆炸示意图。
18.图中：沉积反应筒1、顶盖11、前驱体源输入管2、匀气环3、连接装置4、第一连接管41、第二连接管42、扣件43。
具体实施方式
19.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.参照附图1-2，一种用于原子层沉积装置的管路连接装置，包括沉积反应筒1，沉积反应筒1上还盖设有用于密封的顶盖11，提高沉积反应筒1的密封效果，所述沉积反应筒1内设置有匀气环3，匀气环3的两端贯通连接有连接装置4，且连接装置4穿过沉积反应筒1后并与同一个前驱体源输入管2的两端相连接；
21.所述连接装置4包括第一连接管41和第二连接管42，第一连接管41与前驱体源输入管2贯通连接，第二连接管42与匀气环3贯通连接，第一连接管41和第二连接管42均开设有相互对应的阶梯状坡口，采用阶梯状坡口能够更大限度的避免泄露，同时配合上扣件43，能够提高密封效果，且第一连接管41和第二连接管42通过相对应的阶梯状坡口能够形成密封管道，第一连接管41和第二连接管42通过扣件43和螺丝相互固定，第一连接管41上的阶梯状坡口方向朝上，且第二连接管42上的阶梯状坡口方向朝下，方便快速将匀气环3从上方快速的取下，以便于配合大料架，或者单独对匀气环3进行清洗更换零部件。
22.本实施例中，所述匀气环3的内侧环设有多排对银饰品喷射前驱体源的喷射孔，方便对银饰品进行快速喷射。
23.本实施例中，所述连接装置4与沉积反应筒1的连接处设置有密封圈，提高沉积反应筒1的密封效果。
24.本实施例中，所述第一连接管41和前驱体源输入管2焊接成型，且第二连接管42和匀气环3一体成型，减少连接的缝隙，继而提高前驱体源的输送效果，提高使用寿命。
25.工作时，打开顶盖11，将挂有银饰品的料架放入沉积反应筒1内，当料架较大时，可以通过连接装置4拆下匀气环3，继而方便放入料架，当料架放入后，通过第一连接管41和第二连接管42配合扣件43的快速组装，继而达到密封的效果，能够从多角度对银饰品进行喷洒，达到沉积的效果，整体更加灵活多变，适合不同的银饰品或料架的加工。
26.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在
包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
27.以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。


技术特征：
1.一种用于原子层沉积装置的管路连接装置，包括沉积反应筒，其特征在于：所述沉积反应筒内设置有匀气环，匀气环的两端贯通连接有连接装置，且连接装置穿过沉积反应筒后并与同一个前驱体源输入管的两端相连接；所述连接装置包括第一连接管和第二连接管，第一连接管与前驱体源输入管贯通连接，第二连接管与匀气环贯通连接，第一连接管和第二连接管均开设有相互对应的阶梯状坡口，且第一连接管和第二连接管通过相对应的阶梯状坡口能够形成密封管道，第一连接管和第二连接管通过扣件和螺丝相互固定。2.如权利要求1所述的一种用于原子层沉积装置的管路连接装置，其特征在于：所述沉积反应筒上还盖设有用于密封的顶盖。3.如权利要求1所述的一种用于原子层沉积装置的管路连接装置，其特征在于：所述匀气环的内侧环设有多排对银饰品喷射前驱体源的喷射孔。4.如权利要求1所述的一种用于原子层沉积装置的管路连接装置，其特征在于：所述第一连接管上的阶梯状坡口方向朝上，且第二连接管上的阶梯状坡口方向朝下。5.如权利要求1所述的一种用于原子层沉积装置的管路连接装置，其特征在于：所述连接装置与沉积反应筒的连接处设置有密封圈。6.如权利要求1所述的一种用于原子层沉积装置的管路连接装置，其特征在于：所述第一连接管和前驱体源输入管焊接成型，且第二连接管和匀气环一体成型。

技术总结
本实用新型提供了一种用于原子层沉积装置的管路连接装置，包括沉积反应筒，所述沉积反应筒内设置有匀气环，匀气环的两端贯通连接有连接装置，且连接装置穿过沉积反应筒后并与同一个前驱体源输入管的两端相连接；所述连接装置包括第一连接管和第二连接管，第一连接管与前驱体源输入管贯通连接，第二连接管与匀气环贯通连接，第一连接管和第二连接管均开设有相互对应的阶梯状坡口。本实用新型克服了现有技术的不足，设计合理，结构紧凑，通过采用可拆卸的连接装置，能够方便匀气环与前驱体源输入管的连接，同时由于第一连接管和第二连接管方便连接和拆除，当料架较大时，可以快速拆装，同时也方便清理。时也方便清理。时也方便清理。


技术研发人员：ꢀ(74)专利代理机构
受保护的技术使用者：江苏迈纳德微纳技术有限公司
技术研发日：2021.08.02
技术公布日：2022/2/8