一种抛光台温度控制装置的制作方法

1.本实用新型涉及机械加工技术领域，尤其涉及一种抛光台温度控制装置。


背景技术：

2.由于抛光机理是通过化学作用后，对抛除材料形成络合物，后对络合物进行机械作用去除，所以化学作用是抛光过程中的重要作用。目前在抛光过程中大多采用的抛光液进行抛光，抛光液是分别加入了纳米级磨料的酸性或碱性的化学液体，在化学反应过程中具有热量的释放，从而造成温度的上升；
3.抛光台上基板表面的抛光率不仅受到抛光面上接触压力的影响，还受到抛光面温度的影响。抛光温度是影响半导体晶圆抛光速率与质量的一个重要参数，因此对抛光台进行合理控温可提升抛光质量，传统对抛光台温度控制方式大多采用浇水的方式进行降温，抛光碎屑或抛光液等材料与水混合流淌，会严重影响工作台洁净度，其次也易稀释抛光液的浓度，由此造成抛光的质量也不够稳定。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的抛光台温度控制方式易污染工作台且不适用于使用抛光液抛光的缺点，而提出的一种抛光台温度控制装置。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种抛光台温度控制装置，包括柜体、固定设置在柜体顶端外侧壁上的抛光台，所述抛光台的侧壁内开设有空腔，所述柜体的内侧壁上分别固定安装有冷水箱与水泵，所述水泵的一端与冷水箱之间通过水管a相连接，所述水泵的另一端固定连接有水管b，所述水管b的末端固定连接有导流盒，所述导流盒远离水管b的一侧固定连接有水管c，所述水管c的末端固定连接在抛光台的侧壁上，所述导流盒的内侧壁上转动连接有叶轮，所述叶轮的侧壁上固定连接有转杆a，所述转杆a的输出轴末端贯穿导流盒的侧壁并延伸至导流盒的外部，所述柜体的顶端外侧壁上固定连接有支架，所述支架的侧壁上转动连接有转杆b，所述转杆b靠近抛光台的一端固定安装有风扇扇叶，所述柜体的侧壁上贯穿设置有传动件，所述转杆a与转杆b之间通过传动件相连接。
7.上述技术方案进一步包括：
8.所述传动件包括贯穿设置在柜体顶端侧壁上的转杆c，所述转杆c的顶端侧壁与底端侧壁均固定安装有锥齿轮b，所述转杆a的末端固定安装有锥齿轮a，所述转杆b的侧壁上固定安装有锥齿轮c。
9.所述锥齿轮a与转杆c底端侧壁上的锥齿轮b相互啮合，所述锥齿轮c与转杆c顶端侧壁上的锥齿轮b相互啮合。
10.所述水管b的内部与导流盒的内部相互连通，所述导流盒的内部与水管c的内部相互连通，所述水管c的内部与空腔的内部相互连通。
11.所述抛光台的侧壁上贯穿连接有排水管，所述冷水箱的侧壁上贯穿连接有冷水
管。
12.相比现有技术，本实用新型的有益效果为：
13.本实用新型中，通过冷水箱、水泵、导流盒、空腔、叶轮、风扇扇叶以及传动件之间的配合使用，通过启动水泵可将冷水箱中的冷水不断送入到抛光台内部的空腔中，通过热传导作用，可有效吸收抛光台的表面热量，同时冷水在输送过程中，由水流的流动带动侧对着抛光台的风扇扇叶进行转动，可加快抛光台表面的空气流动，配合冷水的热传导吸热，综合降低抛光台的表面温度，提升抛光效果。
附图说明
14.图1为本实用新型提出的一种抛光台温度控制装置的结构示意图；
15.图2为本实用新型提出的一种抛光台温度控制装置的结构仰视图；
16.图3为本实用新型提出的一种抛光台温度控制装置的部分结构剖视图；
17.图4为本实用新型提出的一种抛光台温度控制装置的图3中的a部分放大图；
18.图5为本实用新型提出的一种抛光台温度控制装置的图2中的b部分放大图。
19.图中：1、柜体；2、抛光台；3、冷水箱；4、水泵；5、空腔；6、水管a；7、水管b；8、导流盒；9、水管c；10、排水管；11、叶轮；12、转杆a；13、锥齿轮a；14、支架；15、转杆b；16、风扇扇叶；17、转杆c；18、锥齿轮b；19、锥齿轮c。
具体实施方式
20.下文结合附图和具体实施例对本实用新型的技术方案做进一步说明。
21.实施例一
22.如图1-5所示，本实用新型提出的一种抛光台温度控制装置，包括柜体1、固定设置在柜体1顶端外侧壁上的抛光台2，抛光台2的侧壁内开设有空腔5，柜体1的内侧壁上分别固定安装有冷水箱3与水泵4，水泵4的一端与冷水箱3之间通过水管a6相连接，水泵4的另一端固定连接有水管b7，水管b7的末端固定连接有导流盒8，导流盒8远离水管b7的一侧固定连接有水管c9，水管c9的末端固定连接在抛光台2的侧壁上，水管b7的内部与导流盒8的内部相互连通，导流盒8的内部与水管c9的内部相互连通，水管c9的内部与空腔5的内部相互连通，导流盒8的内侧壁上转动连接有叶轮11，叶轮11的侧壁上固定连接有转杆a12，转杆a12的输出轴末端贯穿导流盒8的侧壁并延伸至导流盒8的外部，柜体1的顶端外侧壁上固定连接有支架14，支架14的侧壁上转动连接有转杆b15，转杆b15靠近抛光台2的一端固定安装有风扇扇叶16，柜体1的侧壁上贯穿设置有传动件，转杆a12与转杆b15之间通过传动件相连接，传动件包括贯穿设置在柜体1顶端侧壁上的转杆c17，转杆c17的顶端侧壁与底端侧壁均固定安装有锥齿轮b18，转杆a12的末端固定安装有锥齿轮a13，转杆b15的侧壁上固定安装有锥齿轮c19，锥齿轮a13与转杆c17底端侧壁上的锥齿轮b18相互啮合，锥齿轮c19与转杆c17顶端侧壁上的锥齿轮b18相互啮合。
23.本实施例中，启动水泵4，将冷水箱3内部的冷水依次通过水管a6、水管b7、导流盒8、水管c9，输送到空腔5内，通过热传导作用，进而可对抛光台2的侧壁进行有效降温，而过程中，冷水在导流盒8内流动时，可带动导流盒8内部的叶轮11转动，使转杆a12同步转动，通过锥齿轮a13与转杆c17底端的锥齿轮b18的啮合，使转杆c17转动，进而使转杆c17顶端的锥
齿轮b18带动锥齿轮c19转动，可使转杆b15同步转动，转杆b15靠近抛光台2一端的风扇扇叶16随转杆b15转动过程中，可对抛光台2的上表面进行吹风，加速抛光台2表面的空气流动，配合空腔5内部冷水的吸热，可有效降低抛光台2的表面温度，提升抛光效果。
24.实施例二
25.如图1所示，基于实施例一的基础上，抛光台2的侧壁上贯穿连接有排水管10，冷水箱3的侧壁上贯穿连接有冷水管。
26.本实施例中，在空腔5内吸收了热量的水可通过排水管10排出抛光台2外，进行相应回收，另外，通过冷水管可向冷水箱3中及时补充冷水。
27.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种抛光台温度控制装置，包括柜体(1)、固定设置在柜体(1)顶端外侧壁上的抛光台(2)，其特征在于，所述抛光台(2)的侧壁内开设有空腔(5)，所述柜体(1)的内侧壁上分别固定安装有冷水箱(3)与水泵(4)，所述水泵(4)的一端与冷水箱(3)之间通过水管a(6)相连接，所述水泵(4)的另一端固定连接有水管b(7)，所述水管b(7)的末端固定连接有导流盒(8)，所述导流盒(8)远离水管b(7)的一侧固定连接有水管c(9)，所述水管c(9)的末端固定连接在抛光台(2)的侧壁上，所述导流盒(8)的内侧壁上转动连接有叶轮(11)，所述叶轮(11)的侧壁上固定连接有转杆a(12)，所述转杆a(12)的输出轴末端贯穿导流盒(8)的侧壁并延伸至导流盒(8)的外部，所述柜体(1)的顶端外侧壁上固定连接有支架(14)，所述支架(14)的侧壁上转动连接有转杆b(15)，所述转杆b(15)靠近抛光台(2)的一端固定安装有风扇扇叶(16)，所述柜体(1)的侧壁上贯穿设置有传动件，所述转杆a(12)与转杆b(15)之间通过传动件相连接。2.根据权利要求1所述的一种抛光台温度控制装置，其特征在于，所述传动件包括贯穿设置在柜体(1)顶端侧壁上的转杆c(17)，所述转杆c(17)的顶端侧壁与底端侧壁均固定安装有锥齿轮b(18)，所述转杆a(12)的末端固定安装有锥齿轮a(13)，所述转杆b(15)的侧壁上固定安装有锥齿轮c(19)。3.根据权利要求2所述的一种抛光台温度控制装置，其特征在于，所述锥齿轮a(13)与转杆c(17)底端侧壁上的锥齿轮b(18)相互啮合，所述锥齿轮c(19)与转杆c(17)顶端侧壁上的锥齿轮b(18)相互啮合。4.根据权利要求1所述的一种抛光台温度控制装置，其特征在于，所述水管b(7)的内部与导流盒(8)的内部相互连通，所述导流盒(8)的内部与水管c(9)的内部相互连通，所述水管c(9)的内部与空腔(5)的内部相互连通。5.根据权利要求1所述的一种抛光台温度控制装置，其特征在于，所述抛光台(2)的侧壁上贯穿连接有排水管(10)，所述冷水箱(3)的侧壁上贯穿连接有冷水管。

技术总结
本实用新型公开了一种抛光台温度控制装置，涉及机械加工技术领域，包括柜体、固定设置在柜体顶端外侧壁上的抛光台，抛光台的侧壁内开设有空腔，柜体的内侧壁上分别固定安装有冷水箱与水泵，水泵的一端与冷水箱之间通过水管a相连接，水泵的另一端固定连接有水管b，水管b的末端固定连接有导流盒，导流盒远离水管b的一侧固定连接有水管c，水管c的末端固定连接在抛光台的侧壁上，导流盒的内侧壁上转动连接有叶轮，叶轮的侧壁上固定连接有转杆a，转杆a的输出轴末端贯穿导流盒的侧壁并延伸至导流盒的外部，本实用新型可加快抛光台表面的空气流动，配合冷水的热传导吸热，综合性降低抛光台的表面温度，提升抛光效果。提升抛光效果。提升抛光效果。


技术研发人员：符智慧 符张波 史博鑫
受保护的技术使用者：无锡智慧桃园模具有限公司
技术研发日：2021.09.22
技术公布日：2022/3/22