一种退火炉用材料快速冷却装置的制作方法

1.本实用新型涉及材料热处理技术领域，具体为一种退火炉用材料快速冷却装置。


背景技术：

2.退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理，退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。
3.但是现有的装置在具体工作时往往会存在如下问题，首先，现有退火材料在进行退火工艺之后的冷却工作，大多是通过自然冷却的形式，这样的方式工作效率低下，影响工作的进度，其次，现有装置在冷却后会产生大量的高温气体，直接集中进行排放，可能会因为高温气体的喷发而造成人员受伤，不利于安全生产加工，为此，我们特提出一种退火炉用材料快速冷却装置来解决上述问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种退火炉用材料快速冷却装置，具备可以提高冷却效率和保证安全工作的优点，解决了现有装置工作效率低下，并且工作过程中容易发生安全事故的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种退火炉用材料快速冷却装置，包括冷却箱，所述冷却箱的左侧栓接有风箱，所述风箱的左侧开设有开口，所述风箱的内壁栓接有风机，所述风机与开口连通，所述风机的右侧连通有通管，所述通管的另一端与冷却箱连通，所述冷却箱的右侧连通有连接管，所述冷却箱的右侧栓接有降温箱，所述连接管延伸至降温箱内部的一端连通有分流盒，所述分流盒的右侧连通有三个出风管，所述出风管的另一端延伸至降温箱的右侧。
6.优选的，所述冷却箱内壁的底部开设有冷却槽，所述冷却槽通过通孔与冷却箱的内部连通，通过设置冷却槽，可以进一步提高冷却箱的冷却效果。
7.优选的，所述开口的内部卡接有滤网，所述滤网的底部卡接有卡块，所述卡块的底部栓接有弹簧，通过设置卡块和弹簧，可以方便固定滤网。
8.优选的，所述冷却箱的前侧铰接有门板，所述门板前侧的右侧栓接有把手，通过设置把手，可以方便打开门板。
9.优选的，所述门板的右侧栓接有锁块，所述冷却箱的右侧铰接有锁扣，所述锁块与锁扣卡接，通过设置锁块和锁扣，可以对门板进行固定。
10.优选的，所述冷却槽的前侧连通有出液口，所述出液口的表面转动连接有开关，通过设置出液口，可以对冷却槽中的冷却液进行排放。
11.优选的，所述降温箱的顶部连通有注液孔，所述注液孔的顶部插接有封盖，通过设置注液孔，可以方便对降温箱中注入冷却液。
12.与现有技术相比，本实用新型提供了一种退火炉用材料快速冷却装置，具备以下
有益效果：
13.通过风机连通开口进风，利用通管向冷却箱的内部进行吹风，形成快速的冷空气流通，可以有效加快退火材料的冷却速率，提高工作效率；
14.通过连接管将退火材料产生的高温气体引入分流盒中，通过注液孔向降温箱中添加冷却液或者其他降温液体，对分流盒中的气体进行降温后，并通过出风管进行排放，可以防止高温气体直接排放而造成人员伤害。
附图说明
15.图1为本实用新型结构立体示意图；
16.图2为本实用新型示结构剖视意图；
17.图3为本实用新型图2中a处局部放大示意图。
18.图中：1、冷却箱；2、风箱；3、开口；4、风机；5、通管；6、连接管；7、降温箱；8、分流盒；9、出风管；10、冷却槽；11、滤网；12、卡块；13、弹簧；14、门板；15、把手；16、锁块；17、锁扣；18、出液口；19、开关；20、注液孔；21、封盖。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.请参阅图1-3，一种退火炉用材料快速冷却装置，包括冷却箱1，冷却箱1的左侧栓接有风箱2，风箱2的左侧开设有开口3，风箱2的内壁栓接有风机4，风机4与开口3连通，风机4的右侧连通有通管5，通管5的另一端与冷却箱1连通，冷却箱1的右侧连通有连接管6，冷却箱1的右侧栓接有降温箱7，连接管6延伸至降温箱7内部的一端连通有分流盒8，分流盒8的右侧连通有三个出风管9，出风管9的另一端延伸至降温箱7的右侧。
21.通过风机4连通开口3进风，利用通管5向冷却箱1的内部进行吹风，形成快速的冷空气流通，通过连接管6将退火材料产生的高温气体引入分流盒8中，通过注液孔20向降温箱7中添加冷却液或者其他降温液体，对分流盒8中的气体进行降温后，并通过出风管9进行排放，可以有效加快退火材料的冷却速率，提高工作效率，可以防止高温气体直接排放而造成人员伤害。
22.进一步的，冷却箱1内壁的底部开设有冷却槽10，冷却槽10通过通孔与冷却箱1的内部连通，通过设置冷却槽10，可以进一步提高冷却箱1的冷却效果。
23.进一步的，开口3的内部卡接有滤网11，滤网11的底部卡接有卡块12，卡块12的底部栓接有弹簧13，通过设置卡块12和弹簧13，可以方便固定滤网11。
24.进一步的，冷却箱1的前侧铰接有门板14，门板14前侧的右侧栓接有把手15，通过设置把手15，可以方便打开门板14。
25.进一步的，门板14的右侧栓接有锁块16，冷却箱1的右侧铰接有锁扣17，锁块16与锁扣17卡接，通过设置锁块16和锁扣17，可以对门板14进行固定。
26.进一步的，冷却槽10的前侧连通有出液口18，出液口18的表面转动连接有开关19，
通过设置出液口18，可以对冷却槽10中的冷却液进行排放。
27.进一步的，降温箱7的顶部连通有注液孔20，注液孔20的顶部插接有封盖21，通过设置注液孔20，可以方便对降温箱7中注入冷却液。
28.使用时，首先将整个装置安置在合适的工作位置，打开门板14，在冷却槽10中加入冷却液，打开封盖21利用注液孔20向降温箱7中添加合适的降温液体，将待冷却的退火材料放入冷却箱1中，之后将滤网11卡紧固定在开口3的内部，利用风机4连通开口3进风，通过通管5对冷却箱1进行高效快速的吹风，形成冷却效果，并通过连接管6将退火材料产生的高温气体引入分流盒8中，利用降温箱7中的降温液体对分流盒8进行降温，并通过吹风管9进行分散排放，即可完成工作。
29.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种退火炉用材料快速冷却装置，包括冷却箱(1)，其特征在于：所述冷却箱(1)的左侧栓接有风箱(2)，所述风箱(2)的左侧开设有开口(3)，所述风箱(2)的内壁栓接有风机(4)，所述风机(4)与开口(3)连通，所述风机(4)的右侧连通有通管(5)，所述通管(5)的另一端与冷却箱(1)连通，所述冷却箱(1)的右侧连通有连接管(6)，所述冷却箱(1)的右侧栓接有降温箱(7)，所述连接管(6)延伸至降温箱(7)内部的一端连通有分流盒(8)，所述分流盒(8)的右侧连通有三个出风管(9)，所述出风管(9)的另一端延伸至降温箱(7)的右侧。2.根据权利要求1所述的一种退火炉用材料快速冷却装置，其特征在于：所述冷却箱(1)内壁的底部开设有冷却槽(10)，所述冷却槽(10)通过通孔与冷却箱(1)的内部连通。3.根据权利要求1所述的一种退火炉用材料快速冷却装置，其特征在于：所述开口(3)的内部卡接有滤网(11)，所述滤网(11)的底部卡接有卡块(12)，所述卡块(12)的底部栓接有弹簧(13)。4.根据权利要求1所述的一种退火炉用材料快速冷却装置，其特征在于：所述冷却箱(1)的前侧铰接有门板(14)，所述门板(14)前侧的右侧栓接有把手(15)。5.根据权利要求4所述的一种退火炉用材料快速冷却装置，其特征在于：所述门板(14)的右侧栓接有锁块(16)，所述冷却箱(1)的右侧铰接有锁扣(17)，所述锁块(16)与锁扣(17)卡接。6.根据权利要求2所述的一种退火炉用材料快速冷却装置，其特征在于：所述冷却槽(10)的前侧连通有出液口(18)，所述出液口(18)的表面转动连接有开关(19)。7.根据权利要求1所述的一种退火炉用材料快速冷却装置，其特征在于：所述降温箱(7)的顶部连通有注液孔(20)，所述注液孔(20)的顶部插接有封盖(21)。

技术总结
本实用新型涉及材料热处理技术领域，且公开了一种退火炉用材料快速冷却装置，包括冷却箱，所述冷却箱的左侧栓接有风箱，所述风箱的左侧开设有开口，所述风箱的内壁栓接有风机，所述风机与开口连通，所述风机的右侧连通有通管，所述通管的另一端与冷却箱连通；通过风机连通开口进风，利用通管向冷却箱的内部进行吹风，形成快速的冷空气流通，通过连接管将退火材料产生的高温气体引入分流盒中，通过注液孔向降温箱中添加冷却液或者其他降温液体，对分流盒中的气体进行降温后，并通过出风管进行排放，可以有效加快退火材料的冷却速率，提高工作效率，可以防止高温气体直接排放而造成人员伤害。伤害。伤害。


技术研发人员：胡洪建
受保护的技术使用者：浙江皓元实业有限公司
技术研发日：2021.11.15
技术公布日：2022/3/25