一种用于MOCVD系统的水冷盘翻转工装结构的制作方法

一种用于mocvd系统的水冷盘翻转工装结构
技术领域
1.本实用新型涉及用于mocvd系统的水冷盘领域，具体涉及一种用于mocvd系统的水冷盘翻转工装结构。


背景技术：

2.mocvd是金属有机化合物化学气相淀积(metal-organic chemical vapor deposition)的英文缩写。mocvd是在气相外延生长(vpe)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术，用于led和功率器件外延片批量生产。它以ⅲ族、ⅱ族元素的有机化合物和v、ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种
ⅲ‑
v族、
ⅱ‑ⅵ
族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。通常mocvd系统中的晶体生长都是在常压或低压(10-100torr)下通h2的冷壁石英(不锈钢)反应室中进行，衬底温度为500-1200℃,用射频感应加热石墨基座(衬底基片在石墨基座上方)，h2通过温度可控的液体源鼓泡携带金属有机物到生长区。
3.mocvd技术具有下列优点:
4.(l)适用范围广泛，几乎可以生长所有化合物及合金半导体；
5.(2)非常适合于生长各种异质结构材料；
6.(3)可以生长超薄外延层，并能获得很陡的界面过渡；
7.(4)生长易于控制；
8.(5)可以生长纯度很高的材料；
9.(6)外延层大面积均匀性良好；
10.(7)可以进行大规模生产。
11.因为mocvd生长使用的原料是易燃、易爆、毒性很大的物质，并且要生长多组分、大面积、薄层和超薄层异质材料。因此在mocvd系统的设计思想上，通常要考虑系统密封性，流量、温度控制要精确，组分变换要迅速，系统要紧凑等，而水冷盘是mocvd系统中的关键零部件，在制作水冷盘的过程中，需要做到灵活翻转，以便加工、修磨、清洗、吊装、搬运，故有此翻转工装结构的需求。


技术实现要素：

12.本实用新型目的是提供一种用于mocvd系统的水冷盘翻转工装结构，能够对mocvd水冷盘进行翻转，省时省力，提高工作效率。
13.为了实现上述技术目的，达到上述的技术要求，本实用新型所采用的技术方案是：一种用于mocvd系统的水冷盘翻转工装结构，包括连接水冷盘的旋转块，所述旋转块由横块和竖块组成，所述横块和竖块相连形成l型结构，所述横块与水冷盘紧固连接，所述竖块上设有螺杆，所述螺杆的一端设有凸块，所述螺杆的另一端与竖块连接，所述凸块上还设有吊耳。
14.作为优选的技术方案，所述凸块为六角螺母。
15.作为优选的技术方案，所述六角螺母与螺杆之间设有垫片，所述六角螺母与垫片的一个侧面连接，所述螺杆与垫片的另一个侧面连接。
16.作为优选的技术方案，所述吊耳包括吊耳部和连接部，所述连接部为圆柱形，所述连接部插设在六角螺母中。
17.作为优选的技术方案，所述连接部的一端设有连接板，所说连接板与垫片连接。
18.作为优选的技术方案，所述吊耳部上连接有吊环。
19.本实用新型的有益效果是：
20.1)横块与水冷盘紧固连接，将水冷盘与旋转块连接，再将水冷盘往螺杆的旋松方向翻转，水冷盘即可完成翻转，结构简单，省时省力；
21.2)优选的，六角螺母便于安装和拆卸。
附图说明
22.图1是本实用新型的结构爆炸图；
23.图2是本实用新型的吊装爆炸图；
24.在图1-2，1、旋转块；101、横块；102、竖块；2、螺杆；3、凸块；4、垫片；5、吊耳；501、吊耳部；502、连接部；503、连接板；6、吊环；7、水冷盘。
具体实施方式
25.下面结合附图对本实用新型进一步描述。
26.本实用新型实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本实用新型的描述中，需要理解的是，若出现术语“头”、“尾”、“顶”、“底”、“左”、“右”、“前”、“后”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。
27.请参阅图1-2，实用新型一个实施例提供的一种用于mocvd系统的水冷盘翻转工装结构，包括连接水冷盘7的旋转块1，所述旋转块1是由横块101和竖块102相连而成的l型结构，所述横块101与水冷盘7紧固连接，所述竖块102上设有螺杆2，所述螺杆2的一端设有凸块3，所述凸块3上还设有吊耳5，进一步的，凸块3为六角螺母，进一步的，所述六角螺母与垫片4的一个侧面连接，所述螺杆2穿过垫片4和竖块102，横块101上设有光孔，光孔中设置内六角螺钉，光孔与水冷盘7上的安装孔对应；用内六角螺钉将旋转块1与水冷盘7紧固连接，然后六角螺母上通过焊接等连接方式将六角螺母与垫片4固定连接，竖块102上设有螺纹孔，螺杆2插在螺纹孔中，以螺杆2作为旋转轴，旋转六角螺母，将螺杆2拧到竖块102上，一般采用两个翻转工装结构对称安装在水冷盘7上，并处于水冷盘7的中心线上，将六角螺母固定住，操作人员旋转水冷盘7，水冷盘7以螺杆2为轴进行旋转，从而完成对水冷盘7的翻转，结构简单实用，省时省力，能够提高工作效率。
28.如图1-2示，所述连接板503和垫片4均为圆形，圆形易于定位，并且无尖角。
29.如图1-2示，吊耳5由圆柱形的连接部502和吊耳部501组成，连接部502插入六角螺母中，可以旋转六角螺母来调节吊耳部501的角度，使得吊耳部501便于吊装。
30.如图1-2示，所述吊耳上套设有吊环6，吊环6上穿设吊绳用于吊装。
31.实施例
32.一种用于mocvd系统的水冷盘翻转工装结构，包括连接水冷盘7的旋转块1，所述旋转块1位l型，所述旋转块1由横块101和竖块102组成，所述横块101和竖块102相连形成l型结构，所述横块101与水冷盘7紧固连接，所述竖块102上设有螺杆2，所述螺杆2的一端设有圆形的垫片4，所述螺杆2的另一端与竖块102相连，所述垫片4的背离螺杆2的一面连接有六角螺母，所述六角螺母中插设有吊耳，所述吊耳包括吊耳部501和连接部502，所述连接部502为圆柱形，所述连接部502设在六角螺母中，所述连接部502的一端连接有圆形的连接板503，所说连接板503与垫片4连接，所述吊耳部501上连接有吊环6。
33.上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的描述，而并非对实施方式的限定，对于所属领域的技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举，而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之中。


技术特征：
1.一种用于mocvd系统的水冷盘翻转工装结构，其特征在于，包括连接水冷盘(7)的旋转块(1)，所述旋转块(1)由横块(101)和竖块(102)组成，所述横块(101)和竖块(102)相连形成l型结构，所述横块(101)与水冷盘(7)紧固连接，所述竖块(102)上设有螺杆(2)，所述螺杆(2)的一端设有凸块(3)，所述螺杆(2)的另一端与竖块(102)连接，所述凸块(3)上设有吊耳(5)。2.根据权利要求1所述的一种用于mocvd系统的水冷盘翻转工装结构，其特征在于，所述凸块(3)为六角螺母。3.根据权利要求2所述的一种用于mocvd系统的水冷盘翻转工装结构，其特征在于，所述六角螺母与螺杆(2)之间设有垫片(4)，所述六角螺母与垫片(4)的一个侧面连接，所述螺杆(2)与垫片(4)的另一个侧面连接。4.根据权利要求2所述的一种用于mocvd系统的水冷盘翻转工装结构，其特征在于，所述吊耳(5)包括吊耳部(501)和连接部(502)，所述连接部(502)为圆柱形，所述连接部(502)插设在六角螺母中。5.根据权利要求4所述的一种用于mocvd系统的水冷盘翻转工装结构，其特征在于，所述连接部(502)的一端设有连接板(503)。6.根据权利要求4所述的一种用于mocvd系统的水冷盘翻转工装结构，其特征在于，所述吊耳部(501)上连接有吊环(6)。

技术总结
本实用新型公开了一种用于MOCVD系统的水冷盘翻转工装结构，包括连接水冷盘(7)的旋转块(1)，所述旋转块(1)由横块(101)和竖块(102)组成，所述横块(101)和竖块(102)相连形成L型结构，所述横块(101)与水冷盘(7)紧固连接，所述竖块(102)上设有螺杆(2)，所述螺杆(2)的一端设有凸块(3)，所述螺杆(2)的另一端与竖块(102)连接，所述凸块(3)上设有吊耳(5)。本实用新型紧固效果好，能够对水冷盘进行翻转，省时省力，提高工作效率。提高工作效率。提高工作效率。


技术研发人员：杨蔡磊 游利 管明月 沈明江
受保护的技术使用者：靖江先锋半导体科技有限公司
技术研发日：2021.11.11
技术公布日：2022/4/21