一种可提高平面靶材利用率的装置的制作方法

1.本实用新型涉及平面靶技术领域，尤其涉及一种可提高平面靶材利用率的装置。


背景技术：

2.平面靶材主要是指具有一定厚度的圆形靶材及矩形靶材，靶材主要应用于镀膜技术中，通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。
3.现有技术中，由于平面靶材大多为固定式，靶材无法移动位置，磁控溅射时无法控制靶材的消耗量，导致靶材的利用率较低，容易造成资源的浪费。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种可提高平面靶材利用率的装置，通过设置移动机构，实现对靶材的位置进行调节，避免靶材采用固定式，消耗范围无法控制，导致消耗量增加，利用率较低，通过设置驱动机构以及夹持机构，实现对靶材进行有效的夹持，便于靶材的更换，提高装置实用性。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种可提高平面靶材利用率的装置，包括固定管，所述固定管的内顶部与内底部上均开设有滑槽，两个所述滑槽内均滑动连接有滑块，两个所述滑块之间共同固定连接有移动块，所述固定管内设置有用于对移动块进行移动的移动机构，所述移动块的侧壁上开设有放置槽，所述放置槽内设置有两个用于对靶材进行夹持的夹持机构，所述移动块内还开设有两个对称设置的腔体，两个所述腔体内均设置有用于对同侧的夹持机构进行驱动的驱动机构。
7.优选地，所述移动机构包括固定连接在固定管侧壁上的动力电机，所述动力电机的输出轴末端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆上螺纹套接有螺纹套管，所述螺纹套管远离动力电机的一端固定连接在移动块的侧壁上。
8.优选地，所述夹持机构包括滑动连接在腔体内壁上的移动杆，所述移动杆延伸至放置槽内，所述移动杆位于放置槽内的一端固定连接有夹板。
9.优选地，所述驱动机构包括滑动连接在腔体内的活塞，所述活塞的侧壁上固定连接有梯形块,所述腔体的内壁上螺纹连接有螺栓，所述螺栓转动连接在活塞的侧壁上。
10.优选地，两个所述夹板相对的侧壁上均设置有防滑垫，所述防滑垫的材质为橡胶。
11.优选地，两个所述移动杆位于腔体内的侧壁上固定套接有限位块，两个所述限位块与同侧腔体的内壁之间通过弹簧弹性连接。
12.本实用新型与现有技术相比，其有益效果为：
13.1、通过设置移动机构，驱动动力电机的输出轴转动，带动螺纹杆转动，使得与其螺纹连接的螺纹套管移动，带动移动块以及靶材移动，实现对靶材的位置进行调节，避免靶材采用固定式，消耗范围无法控制，导致消耗量增加，利用率较低。
14.2、通过设置驱动机构以及夹持机构，转动螺栓使其向腔体内移动，带动活塞以及梯形块移动，使得梯形块的斜面与移动杆接触，持续挤压移动杆使其向放置槽内移动，带动两个夹板向中间靠拢，从而实现对靶材进行有效的夹持，便于靶材的更换，提高装置实用性。
附图说明
15.图1为本实用新型提出的一种可提高平面靶材利用率的装置的立体图；
16.图2为本实用新型提出的一种可提高平面靶材利用率的装置的结构示意图；
17.图3为图2中的a处结构放大图。
18.图中：1固定管、2滑槽、3动力电机、4螺纹杆、5螺纹套管、6移动块、7滑块、8放置槽、9螺栓、10腔体、11梯形块、12移动杆、13活塞、14夹板、15限位块。
具体实施方式
19.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施的限制。
20.需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
21.参照图1-3，一种可提高平面靶材利用率的装置，包括固定管1，固定管1的内顶部与内底部上均开设有滑槽2，两个滑槽2内均滑动连接有滑块7，两个滑块7之间共同固定连接有移动块6，固定管1内设置有用于对移动块6进行移动的移动机构，移动块6的侧壁上开设有放置槽8，放置槽8内设置有两个用于对靶材进行夹持的夹持机构，移动块6内还开设有两个对称设置的腔体10，两个腔体10内均设置有用于对同侧的夹持机构进行驱动的驱动机构。
22.移动机构包括固定连接在固定管1侧壁上的动力电机3，动力电机3的输出轴末端固定连接有螺纹杆4，螺纹杆4上螺纹套接有螺纹套管5，螺纹套管5远离动力电机3的一端固定连接在移动块6的侧壁上。
23.夹持机构包括滑动连接在腔体10内壁上的移动杆12，两个移动杆12位于腔体10内的侧壁上固定套接有限位块15，两个限位块15与同侧腔体10的内壁之间通过弹簧弹性连接，移动杆12延伸至放置槽8内，移动杆12位于放置槽8内的一端固定连接有夹板14，两个夹板14相对的侧壁上均设置有防滑垫，防滑垫的材质为橡胶。
24.驱动机构包括滑动连接在腔体10内的活塞13，活塞13的侧壁上固定连接有梯形块11,腔体10的内壁上螺纹连接有螺栓9，螺栓9转动连接在活塞13的侧壁上。
25.本实用新型使用时，转动螺栓9使其向腔体10内移动，带动活塞13以及梯形块11移动，使得梯形块11的斜面与移动杆12接触，持续挤压移动杆12使其向放置槽8内移动，带动
两个夹板14向中间靠拢，从而实现对靶材进行有效的夹持，便于靶材的更换，提高装置实用性，驱动动力电机3的输出轴转动，带动螺纹杆4转动，使得与其螺纹连接的螺纹套管5移动，带动移动块6以及靶材移动，实现对靶材的位置进行调节，避免靶材采用固定式，消耗范围无法控制，导致消耗量增加，利用率较低。
26.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种可提高平面靶材利用率的装置，包括固定管(1)，其特征在于，所述固定管(1)的内顶部与内底部上均开设有滑槽(2)，两个所述滑槽(2)内均滑动连接有滑块(7)，两个所述滑块(7)之间共同固定连接有移动块(6)，所述固定管(1)内设置有用于对移动块(6)进行移动的移动机构，所述移动块(6)的侧壁上开设有放置槽(8)，所述放置槽(8)内设置有两个用于对靶材进行夹持的夹持机构，所述移动块(6)内还开设有两个对称设置的腔体(10)，两个所述腔体(10)内均设置有用于对同侧的夹持机构进行驱动的驱动机构。2.根据权利要求1所述的一种可提高平面靶材利用率的装置，其特征在于，所述移动机构包括固定连接在固定管(1)侧壁上的动力电机(3)，所述动力电机(3)的输出轴末端固定连接有螺纹杆(4)，所述螺纹杆(4)上螺纹套接有螺纹套管(5)，所述螺纹套管(5)远离动力电机(3)的一端固定连接在移动块(6)的侧壁上。3.根据权利要求2所述的一种可提高平面靶材利用率的装置，其特征在于，所述夹持机构包括滑动连接在腔体(10)内壁上的移动杆(12)，所述移动杆(12)延伸至放置槽(8)内，所述移动杆(12)位于放置槽(8)内的一端固定连接有夹板(14)。4.根据权利要求3所述的一种可提高平面靶材利用率的装置，其特征在于，所述驱动机构包括滑动连接在腔体(10)内的活塞(13)，所述活塞(13)的侧壁上固定连接有梯形块(11),所述腔体(10)的内壁上螺纹连接有螺栓(9)，所述螺栓(9)转动连接在活塞(13)的侧壁上。5.根据权利要求4所述的一种可提高平面靶材利用率的装置，其特征在于，两个所述夹板(14)相对的侧壁上均设置有防滑垫，所述防滑垫的材质为橡胶。6.根据权利要求5所述的一种可提高平面靶材利用率的装置，其特征在于，两个所述移动杆(12)位于腔体(10)内的侧壁上固定套接有限位块(15)，两个所述限位块(15)与同侧腔体(10)的内壁之间通过弹簧弹性连接。

技术总结
本实用新型公开了一种可提高平面靶材利用率的装置，包括固定管，所述固定管的内顶部与内底部上均开设有滑槽，两个所述滑槽内均滑动连接有滑块，两个所述滑块之间共同固定连接有移动块，所述固定管内设置有用于对移动块进行移动的移动机构，所述移动块的侧壁上开设有放置槽，所述放置槽内设置有两个用于对靶材进行夹持的夹持机构，所述移动块内还开设有两个对称设置的腔体。本实用新型结构合理，通过设置移动机构，实现对靶材的位置进行调节，避免靶材采用固定式，消耗范围无法控制，导致消耗量增加，利用率较低，通过设置驱动机构以及夹持机构，实现对靶材进行有效的夹持，便于靶材的更换，提高装置实用性。提高装置实用性。提高装置实用性。


技术研发人员：杨懿 杨荣春
受保护的技术使用者：上海博译金属有限公司
技术研发日：2021.12.09
技术公布日：2022/10/20