技术特征：
1.一种磁控溅射真空镀膜机，包括，所述包括镀膜机室(10)，以及固定连接在镀膜机室(10)底部的底座(3)，还有铰链方式连接在镀膜机室(10)侧的室门(9)，镀膜机室(10)的右侧位置固定连接有闭门器(9a)，通过闭门器(9a)闭合室门(9)，其特征在于：所述磁控溅射真空镀膜机还包括：靶材溅射机构，用于镀膜靶材的溅射，所述靶材溅射机构包括若干磁控靶(11)，磁控靶(11)包括由真空镀膜机顶部安装延伸到镀膜机室(10)及室门(9)内部的旋转阴极和靶材，磁控靶(11)设置为若干组，所述镀膜机室(10)中心设置两组，所述镀膜机室(10)内部侧边对称设置两组，所述室门(9)内侧设置一组；以及物件装持机构，设在镀膜机室(10)底部，用于镀膜物件的装持，所述物件装持机构包括转动连接在镀膜机室(10)底部的工件底架(6)，工件底架(6)的转动部位设有传动组件(5)，用于控制工件底架(6)转动，所述工件底架(6)的顶部外缘边设置若干物件转架(8)，物件转架(8)设有自转组件，用于控制物件转架(8)绕自身轴线转动；以及真空抽取机构，连接设在镀膜机室(10)远离室门(9)的一侧，用于对镀膜机室(10)内部进行抽真空处理。2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射真空镀膜机，其特征在于：所述传动组件(5)包括驱动件，驱动件为电机，驱动件固定设在镀膜机室(10)外侧底部，驱动件的输出端和工件转架的转动部位底端均固定设有皮带轮，两个所述皮带轮之间设置同步带。3.根据权利要求1或2所述的一种磁控溅射真空镀膜机，其特征在于：所述自转组件包括固定连接在镀膜机室(10)底部的中心齿轮，中心齿轮中心穿过工件底架(6)的转动部位，中心齿轮的外缘啮合连接若干成圆周分布的齿轮，单个所述齿轮的顶面固定连接物件转架(8)的底端，物件转架(8)底部转动连接工件底架(6)。4.根据权利要求3所述的一种磁控溅射真空镀膜机，其特征在于：所述真空抽取机构包括连接在镀膜机室(10)侧壁上的mv主抽阀(13)，mv主抽阀(13)顶部设置有vv进气阀(12)和srv防湍阀(14)，mv主抽阀(13)底部设置分子泵(2)，分子泵(2)固定连接在底座(3)上，所述mv主抽阀(13)远离镀膜机箱(10)的另一端设有弯管，弯管管道连接在主抽气管上，主抽气管顶部设置有rv粗抽阀(15)，所述主抽气管靠近镀膜机箱(10)的一端端部设置有波纹管，波纹管的另一端管道连接srv防湍阀(14)，所述主抽气管底部连接有hv高抽阀(1)，所述主抽气管远离镀膜机箱(10)的一端端部管道连接mp罗茨泵(16)，mp罗茨泵(16)底部管道连接rp机械泵(17)，mp罗茨泵(16)固定连接在rp机械泵(17)上部。5.根据权利要求4所述的一种磁控溅射真空镀膜机，其特征在于：所述镀膜机室(10)连接有深冷设备(18)和稳压设备(21)，深冷设备(18)为单级蒸汽压缩制冷机，用于镀膜机室(10)内部的水气捕集，稳压设备(21)用于稳定镀膜机的电压，所述靶材溅射机构、物件装持机构和真空抽取机构中的电器元件电性连接电控柜(19)。6.根据权利要求5所述的一种磁控溅射真空镀膜机，其特征在于：所述底座(3)底部、rp机械泵(17)底部、深冷设备(18)底部、电控柜(19)底部和稳压设备(21)底部均设置有若干移动轮(4)，移动轮(4)为带有刹车的万向轮。7.根据权利要求6所述的一种磁控溅射真空镀膜机，其特征在于：所述镀膜机室(10)内部侧壁设有若干清洗靶(20)，用于对镀膜物件的镀前表面清洗。8.根据权利要求7所述的一种磁控溅射真空镀膜机，其特征在于：所述室门(9)上设有
视窗(7)，用于观察镀膜的工作进度。
技术总结
本发明公开了一种磁控溅射真空镀膜机，包括箱式镀膜机室，固定连接在镀膜机底部的底座，还有铰链连接的镀膜机室门，镀膜机右侧位置固定连接有闭门器，闭门器压紧室门，所述磁控溅射真空镀膜机还包括：靶材溅射机构包括若干磁控靶，磁控靶包括安装在镀膜机上的靶材和旋转阴极，磁控靶设置为若干组，所述镀膜机室中心设置两组磁控靶，所述镀膜机室内部侧边对称设置两组磁控靶。通过本发明设计的一种磁控溅射真空镀膜机，采用真空溅射镀膜原理对物件进行镀膜，镀膜均匀，同时镀膜工作效率高，并且真空抽取速度较快，室内压强稳定，使用安全便捷，在镀膜技术领域有可利用价值。在镀膜技术领域有可利用价值。在镀膜技术领域有可利用价值。
技术研发人员：谢学东
受保护的技术使用者：丹阳市宝来利真空机电有限公司
技术研发日：2022.02.09
技术公布日：2022/6/17