技术特征：
1.一种精密金属遮罩，其特征在于，包含：一板体，包含相对的一第一表面以及一第二表面，该第一表面具有至少一第一内缘，该第一内缘围绕而定义一第一开口，该第二表面具有至少一第二内缘，该第二内缘围绕而定义一第二开口，该第二开口对应并连通该第一开口，该板体还包含至少一第一弧面以及至少一第二弧面，该第一弧面位于该第一开口内并连接该第一表面，该第二弧面位于该第二开口内并连接该第二表面，该板体具有至少一第三内缘，该第一弧面与该第二弧面连接于该第三内缘，该第三内缘围绕而定义一第三开口，该第三开口小于该第一开口及该第二开口，该第三内缘包含一第一直边、一第二直边以及一圆弧边，该第一直边与该第二直边共同形成一夹角，该圆弧边连接于该第一直边与该第二直边之间，该圆弧边具有一半径，该半径小于或等于15微米。2.如权利要求1所述的精密金属遮罩，其特征在于，其中该第二开口大于该第一开口，该第三内缘与该第一内缘在垂直于该第一表面的方向上具有一高度，该高度小于或等于3微米，该第三内缘与该第一内缘在平行于该第一表面的方向上具有一宽度，该宽度小于或等于2微米。3.如权利要求1所述的精密金属遮罩，其特征在于，其中该第三内缘相对该第二表面更接近该第一表面。4.如权利要求1所述的精密金属遮罩，其特征在于，其中该第一表面与该第二表面之间定义一厚度，该厚度的范围为20微米与50微米之间。5.如权利要求1所述的精密金属遮罩，其特征在于，其中该第三内缘呈矩形。6.如权利要求1所述的精密金属遮罩，其特征在于，其中该第三内缘呈多边形。7.一种精密金属遮罩的制造方法，其特征在于，包含：提供一板材，包含相对的一第一表面以及一第二表面；于该第一表面设置一第一抗蚀剂膜；于该第一抗蚀剂膜设置一第一曝光掩模，该第一曝光掩模具有至少一第一图案，该第一图案具有一第一边缘，该第一边缘围绕而对应该板材上的一第一蚀刻范围，该第一边缘包含一第一直边、一第二直边以及一第三直边，该第一直边与该第二直边共同形成一第一夹角，该第三直边连接于该第一直边与该第二直边之间，该第三直边具有一长度，该长度小于或等于8微米；于该第二表面设置一第二抗蚀剂膜；以及于该第二抗蚀剂膜设置一第二曝光掩模，该第二曝光掩模具有至少一第二图案，该第二图案大于该第一图案且具有一第二边缘，该第二边缘围绕而对应该板材上的一第二蚀刻范围，该第二蚀刻范围对应该第一蚀刻范围，该第二边缘包含一第四直边、一第五直边以及一第六直边，该第四直边与该第五直边共同形成一第二夹角，该第六直边连接于该第四直边与该第五直边之间，并与该第三直边彼此平行，该第六直边与该第三直边在平行于该第一表面的方向上相隔一距离，该距离大于或等于5微米而小于或等于30微米。8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，其中该第一直边与该第四直边彼此平行，该第二直边与该第五直边彼此平行。9.如权利要求7所述的方法，其特征在于，其中该第一夹角相同于该第二夹角。10.如权利要求7所述的方法，其特征在于，还包含：
隔着该第一曝光掩模对该第一抗蚀剂膜进行曝光，以将该第一抗蚀剂膜显影，并于该第一抗蚀剂膜上形成该第一图案，以暴露出该第一蚀刻范围；以及隔着该第二曝光掩模对该第二抗蚀剂膜进行曝光，以将该第二抗蚀剂膜显影，并于该第二抗蚀剂膜上形成该第二图案，以暴露出该第二蚀刻范围。11.如权利要求7所述的方法，其特征在于，还包含：对该第一表面进行蚀刻以于该第一蚀刻范围形成一第一开口；以及对该第二表面进行蚀刻以于该第二蚀刻范围形成一第二开口，该第一开口与该第二开口彼此连通。12.如权利要求7所述的方法，其特征在于，其中该第一表面与该第二表面之间定义一厚度，该厚度的范围为20微米与50微米之间。
技术总结
一种精密金属遮罩包含板体。板体包含相对的第一表面及第二表面。第一表面具有第一内缘，围绕而定义第一开口。第二表面具有第二内缘，围绕而定义第二开口，第二开口连通第一开口。板体包含第一弧面及第二弧面，第一弧面位于第一开口并连接第一表面，第二弧面位于第二开口并连接第二表面。第一弧面与第二弧面连接于第三内缘，围绕而定义第三开口，第三开口小于第一开口及第二开口。第三内缘包含第一直边、第二直边以及圆弧边，第一直边与第二直边形成夹角，圆弧边连接于第一直边与第二直边之间，圆弧边具有半径，半径小于或等于15微米。半径小于或等于15微米。半径小于或等于15微米。
技术研发人员：方冠杰 林启维
受保护的技术使用者：达运精密工业股份有限公司
技术研发日：2022.02.09
技术公布日：2022/5/17