一种金属化学气相沉积装置的制作方法

本发明涉及化学气相沉积，具体涉及一种金属化学气相沉积装置。

背景技术：

1、金属有机化学气相沉积是制备混合半导体器件、金属及金属氧化物薄膜材料的一种技术。金属有机化学气相沉积通常以iii族金属有机源和v族氢化物源作为反应气体，用氢气、氮气或氩气作为载气，以热分解反应方式在基片上进行气相外延生长，从而生长各种iii-v族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料，如氮化镓gan、砷化镓gaas、磷化铟inp等。

2、针对现有技术存在以下问题：

3、1、化学气相沉积装置在进行排出的废料颗粒时，由于废料颗粒过多，容易导致排料口堵塞，从而影响装置正常运作，使得降低装置的工作效率问题；

4、2、装置内部的部分废料颗粒粘连在收集箱的底部，从而无法便捷的倒出废料，导致需要人工清理，造成人工劳动力增加的问题。

技术实现思路

1、本发明提供一种金属化学气相沉积装置，其中一种目的是为了具备防堵塞的功能，解决由于装置内部的废料颗粒过多，容易导致排料口堵塞，从而影响装置正常运作，使得降低装置的工作效率问题；其中另一种目的是为了解决部分废料颗粒粘连在收集箱的底部，导致装置无法便捷的倒出废料，从而需要人工清理，造成人工劳动力增加的问题，以达到便捷的清理废料效果。

2、为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是：

3、一种金属化学气相沉积装置，包括化学气相沉积装置本体、控制台、底台、反应炉和支撑台，所述化学气相沉积装置本体的一侧固定安装有控制台，所述控制台的底部固定安装有底台，所述控制台的侧面固定连接有反应炉，所述反应炉的一侧固安装有进气管，所述反应炉另一侧的底部开设有出料口，所述反应炉的底部固定安装有支撑台，所述反应炉的内部固定安装有反应层，所述反应层的底部固定安装有过滤层，所述过滤层的底部固定安装有收集箱。

4、所述过滤层的底部固定安装有防堵机构，所述防堵机构的顶部固定安装有旋转机构，所述防堵机构的底部设置有收集口。

5、所述收集箱的内部固定安装有清理机构，所述清理机构的一侧设置有推板，所述推板的底部活动安装有吸附柱。

6、本发明技术方案的进一步改进在于：所述旋转机构的顶部固定安装有动力电机，所述动力电机的底部固定安装有变速器，所述变速器的底部固定连接有转动柱，所述转动柱的底部固定安装有搅拌叶。

7、采用上述技术方案，该方案中的动力电机、变速器、转动柱和搅拌叶相互配合，达到搅拌防止堵塞的效果。

8、本发明技术方案的进一步改进在于：所述搅拌叶的顶部固定安装有连接杆，所述连接杆的顶部固定连接在转动柱的外侧。

9、采用上述技术方案，该方案中的连接杆和转动柱相互配合，达到固定连接的效果。

10、本发明技术方案的进一步改进在于：所述搅拌叶底部的一侧固定安装有刮板，所述刮板的顶部固定安装有橡胶垫，所述橡胶垫的底部固定安装有刮片。

11、采用上述技术方案，该方案中的橡胶垫和刮片相互配合，达到增加对装置内部保护的效果。

12、本发明技术方案的进一步改进在于：所述刮片的底部固定安装有连接块，所述连接块的底部固定安装有气囊块，所述气囊块的底部固定安装有缓冲弹簧。

13、采用上述技术方案，该方案中的气囊块和缓冲弹簧相互配合，达到缓冲保护的功能。

14、本发明技术方案的进一步改进在于：所述收集箱内部的一侧固定安装有固定板，所述固定板的侧面设置有伸缩杆，所述伸缩杆的另一端固定连接在推板的一侧。

15、采用上述技术方案，该方案中的固定板、伸缩杆和推板相互配合，达到便捷清理废料的功能。

16、本发明技术方案的进一步改进在于：所述吸附柱的表面固定安装有粘黏层，所述粘黏层的侧面固定安装有粘连块。

17、本发明技术方案的进一步改进在于：所述推板一侧的顶部开设有滑槽，所述滑槽的内部固定安装有伸缩柱，所述伸缩柱的顶部固定安装有伸缩板。

18、本发明技术方案的进一步改进在于：所述收集箱的另一侧开设有废料口，所述废料口远离收集箱的一侧固定连接在出料口的一侧。

19、采用上述技术方案，该方案中的废料口和出料口相互配合，达到便捷倒出废料的效果。

20、由于采用了上述技术方案，本发明相对现有技术来说，取得的技术进步是：

21、1、本发明提供一种金属化学气相沉积装置，通过动力电机和转动柱相互配合，使得动力电机带动转动柱进行转动，再由转动柱带动搅拌叶进行转动，达到转动废料的效果，解决了由于装置内部的废料颗粒过多，容易导致排料口堵塞的问题，有利于防止装置堵塞，从而增加装置的安全性能，提高装置的防护性能。

22、2、本发明提供一种金属化学气相沉积装置，通过伸缩杆和推板相互配合，使得伸缩杆伸缩带动推板进行移动，利用推板与收集箱底部相互触碰，达到移动刮除颗粒废料的效果，再利用吸附柱和粘黏层相互配合，从而使得吸附柱滚动的同时粘住收集箱底部的颗粒物，达到便捷的收集的效果，解决了部分废料颗粒粘连在收集箱的底部，导致装置无法便捷的倒出废料的问题，有利于装置便捷的倒出废料，使得节省人工劳动力，同时节省成本。

23、3、本发明提供一种金属化学气相沉积装置，通过橡胶垫和刮片相互配合，使得橡胶垫包裹在刮片的底部，方便装置内部的保护，然后利用气囊块的柔软性，从而增加装置的保护性能，再由缓冲弹簧的回弹性，达到缓冲刮片的作用力，解决了装置对刮板的作用力过大，容易导致刮片损坏的问题，有利于增加对刮片的保护，从而增加刮片的使用寿命。

24、4、本发明提供一种金属化学气相沉积装置，通过动力电机和变速器相互配合，使得动力电机在转动，由变速器进行保护作用，从而达到增加装置的防护性能，再配合连接杆和转动柱，使得增加搅拌叶的固定性，解决了防堵机构的固定性能较差，容易导致搅拌叶脱落损坏的问题，有利增加搅拌叶的固定性能，同时也增加了防堵机构的使用寿命。

技术特征：

1.一种金属化学气相沉积装置，包括化学气相沉积装置本体(1)、控制台(2)、底台(3)、反应炉(4)和支撑台(5)，所述化学气相沉积装置本体(1)的一侧固定安装有控制台(2)，所述控制台(2)的底部固定安装有底台(3)，所述控制台(2)的侧面固定连接有反应炉(4)，所述反应炉(4)的一侧固安装有进气管(41)，所述反应炉(4)另一侧的底部开设有出料口(42)，所述反应炉(4)的底部固定安装有支撑台(5)，其特征在于：所述反应炉(4)的内部固定安装有反应层(43)，所述反应层(43)的底部固定安装有过滤层(44)，所述过滤层(44)的底部固定安装有收集箱(45)；

2.根据权利要求1所述的一种金属化学气相沉积装置，其特征在于：所述旋转机构(442)的顶部固定安装有动力电机(4421)，所述动力电机(4421)的底部固定安装有变速器(4422)，所述变速器(4422)的底部固定连接有转动柱(4423)，所述转动柱(4423)的底部固定安装有搅拌叶(4424)。

3.根据权利要求2所述的一种金属化学气相沉积装置，其特征在于：所述搅拌叶(4424)的顶部固定安装有连接杆(44241)，所述连接杆(44241)的顶部固定连接在转动柱(4423)的外侧。

4.根据权利要求3所述的一种金属化学气相沉积装置，其特征在于：所述搅拌叶(4424)底部的一侧固定安装有刮板(44242)，所述刮板(44242)的顶部固定安装有橡胶垫(44243)，所述橡胶垫(44243)的底部固定安装有刮片(44244)。

5.根据权利要求4所述的一种金属化学气相沉积装置，其特征在于：所述刮片(44244)的底部固定安装有连接块(44245)，所述连接块(44245)的底部固定安装有气囊块(44246)，所述气囊块(44246)的底部固定安装有缓冲弹簧(44247)。

6.根据权利要求1所述的一种金属化学气相沉积装置，其特征在于：所述收集箱(45)内部的一侧固定安装有固定板(454)，所述固定板(454)的侧面设置有伸缩杆(4541)，所述伸缩杆(4541)的另一端固定连接在推板(452)的一侧。

7.根据权利要求1所述的一种金属化学气相沉积装置，其特征在于：所述推板(452)的底部开设有移动槽(4521)，所述移动槽(4521)的内部活动安装有转动轴(4522)，所述转动轴(4522)的外侧固定套接在吸附柱(453)的内侧。

8.根据权利要求1所述的一种金属化学气相沉积装置，其特征在于：所述吸附柱(453)的表面固定安装有粘黏层(4531)，所述粘黏层(4531)的侧面固定安装有粘连块(4532)。

9.根据权利要求1所述的一种金属化学气相沉积装置，其特征在于：所述推板(452)一侧的顶部开设有滑槽(4523)，所述滑槽(4523)的内部固定安装有伸缩柱(4524)，所述伸缩柱(4524)的顶部固定安装有伸缩板(4525)。

10.根据权利要求1所述的一种金属化学气相沉积装置，其特征在于：所述收集箱(45)的另一侧开设有废料口，所述废料口远离收集箱(45)的一侧固定连接在出料口(42)的一侧。

技术总结
本发明公开了一种金属化学气相沉积装置，涉及化学气相沉积技术领域，包括化学气相沉积装置本体、控制台、底台、反应炉和支撑台，所述化学气相沉积装置本体的一侧固定安装有控制台，所述控制台的底部固定安装有底台，所述控制台的侧面固定连接有反应炉。本发明通过伸缩杆和推板相互配合，使得伸缩杆伸缩带动推板进行移动，利用推板与收集箱底部相互触碰，达到移动刮除颗粒废料的效果，再利用吸附柱和粘黏层相互配合，从而使得吸附柱滚动的同时粘住收集箱底部的颗粒物，达到便捷的收集的效果，解决了部分废料颗粒粘连在收集箱的底部，导致装置无法便捷的倒出废料的问题，有利于装置便捷的倒出废料，使得节省人工劳动力，同时节省成本。

技术研发人员：何淑英,黄永钦,钟兴进,冯嘉荔,黄沛泉,何浩梁
受保护的技术使用者：广东鸿浩半导体设备有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15