一种蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置的制作方法

本申请涉及钨坩埚加热，具体地，涉及一种蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置。

背景技术：

1、在超导薄膜生产中，蒸发镀银工序作为重要一环，对带材的保护及带材性能具有非常重要的影响。目前蒸发镀银设备采用电子枪高能加热方式加热，具有加热速度快的优势，但所需电压要求较高，能耗大。

2、现有技术中，公开号为cn113621919a的一种蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置，包括真空腔室，真空腔室中固定有阻热坩埚支架，阻热坩埚支架上设有蒸发镀银用钨坩埚；对应蒸发镀银用钨坩埚，设有螺旋加热铜管；螺旋加热铜管用于对蒸发镀银用钨坩埚进行非接触式高频加热。避免采用高能加热方式加热造成蒸发镀银设备出现频繁高压报警停机的问题。

3、上述专利存在，对钨坩埚进行高频加热时，存在针对当不同高度的钨坩埚时需要更换螺旋加热铜管的问题，浪费资源；同时存在加热完毕后拿取更换钨坩埚时，不方便进行拿取的问题，因此亟需改进。

技术实现思路

1、本申请解决背景技术中提出的技术问题，克服现有技术缺点，提供一种蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置，升降加热加温更均匀，适应不同尺寸的钨坩埚加热，夹持后拿取更方便。

2、为解决上述技术问题，本申请提供的技术方案为：一种蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置，包括装置底座，所述装置底座的前侧设置有控制柜，所述控制柜的顶部设置有操作台，所述装置底座的顶部设置有高频加热仓，所述高频加热仓包括其外部的可拆真空防护罩，所述高频加热仓还包括其内部前侧的转动支撑盘，所述转动支撑盘上部放置有钨坩埚，所述转动支撑盘的后侧设置有高频加热器，所述高频加热器包括高频加热环，所述高频加热环上连接通线支撑管，所述通线支撑管的后侧连接电发生装置，所述高频加热器还包括其后侧用于控制其升降的往复装置，所述转动支撑盘的左右两侧分别设置有升降夹具，所述升降夹具用于夹持所述钨坩埚并控制升降。

3、进一步的，所述往复装置包括往复气缸，所述往复气缸的活塞杆端连接第一升降推板，所述第一升降推板连接所述电发生装置的上端。

4、进一步的，所述装置底座的顶部后侧设置有支撑架，所述支撑架的前侧固定所述往复气缸。

5、进一步的，所述转动支撑盘的中轴线和高频加热环的中轴线一致，所述高频加热环的直径大于所述钨坩埚的最大外径。

6、进一步的，所述升降夹具包括夹持气缸，所述夹持气缸的活塞杆水平设置且活塞杆端连接夹紧卡板，两个所述夹紧卡板相对侧的两端分别设置有三角夹件，所述夹持气缸的上方设置有升降气缸，所述升降气缸的活塞杆竖直设置且活塞杆端连接第二升降推板，所述第二升降推板固定在所述夹持气缸的顶部。

7、进一步的，所述升降气缸上一侧固定设置有同步定位板，所述升降气缸的前后两侧分别设置有调节立柱，所述调节立柱的下端固定在所述装置底座的上表面，所述调节立柱上分别套接有调节滑套，所述调节滑套上设置有紧固螺钉，所述同步定位板的两端分别固定在两侧的调节滑套上。

8、进一步的，所述装置底座内部的前侧设置有转动电机，所述转动电机的输出端连接减速器，减速器的输出端连接所述转动支撑盘的中心轴。

9、本申请具有如下优点：本申请通过对蒸发镀银用钨坩埚进行非接触式高频加热，同时配置了转动和升降的均匀加热方式，从而适应了多种尺寸钨坩埚的高频加热，加热更加的均匀；此外配置了夹持机构，夹持后拿取更方便，不用人工操作，减少放置误差，更换更便捷，适宜广泛推广使用。

技术特征：

1.一种蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置，其特征在于：包括装置底座(1)，所述装置底座(1)的前侧设置有控制柜(2)，所述控制柜(2)的顶部设置有操作台(3)，所述装置底座(1)的顶部设置有高频加热仓，所述高频加热仓包括其外部的可拆真空防护罩(4)，所述高频加热仓还包括其内部前侧的转动支撑盘(5)，所述转动支撑盘(5)上部放置有钨坩埚(6)，所述转动支撑盘(5)的后侧设置有高频加热器(7)，所述高频加热器(7)包括高频加热环(8)，所述高频加热环(8)上连接通线支撑管(9)，所述通线支撑管(9)的后侧连接电发生装置(10)，所述高频加热器(7)还包括其后侧用于控制其升降的往复装置，所述转动支撑盘(5)的左右两侧分别设置有升降夹具(11)，所述升降夹具(11)用于夹持所述钨坩埚(6)并控制升降。

2.根据权利要求1所述的蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置，其特征在于：所述往复装置包括往复气缸(12)，所述往复气缸(12)的活塞杆端连接第一升降推板(13)，所述第一升降推板(13)连接所述电发生装置(10)的上端。

3.根据权利要求2所述的蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置，其特征在于：所述装置底座(1)的顶部后侧设置有支撑架(23)，所述支撑架(23)的前侧固定所述往复气缸(12)。

4.根据权利要求3所述的蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置，其特征在于：所述转动支撑盘(5)的中轴线和高频加热环(8)的中轴线一致，所述高频加热环(8)的直径大于所述钨坩埚(6)的最大外径。

5.根据权利要求1所述的蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置，其特征在于：所述升降夹具(11)包括夹持气缸(14)，所述夹持气缸(14)的活塞杆水平设置且活塞杆端连接夹紧卡板(15)，两个所述夹紧卡板(15)相对侧的两端分别设置有三角夹件(16)，所述夹持气缸(14)的上方设置有升降气缸(17)，所述升降气缸(17)的活塞杆竖直设置且活塞杆端连接第二升降推板(18)，所述第二升降推板(18)固定在所述夹持气缸(14)的顶部。

6.根据权利要求5所述的蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置，其特征在于：所述升降气缸(17)上一侧固定设置有同步定位板(19)，所述升降气缸(17)的前后两侧分别设置有调节立柱(20)，所述调节立柱(20)的下端固定在所述装置底座(1)的上表面，所述调节立柱(20)上分别套接有调节滑套(21)，所述调节滑套(21)上设置有紧固螺钉(22)，所述同步定位板(19)的两端分别固定在两侧的调节滑套(21)上。

7.根据权利要求1所述的蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置，其特征在于：所述装置底座(1)内部的前侧设置有转动电机，所述转动电机的输出端连接减速器，减速器的输出端连接所述转动支撑盘(5)的中心轴。

技术总结
本发明涉及一种蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置，包括装置底座，装置底座的前侧设置有控制柜，控制柜的顶部设置有操作台，装置底座的顶部设置有高频加热仓，高频加热仓包括其外部的可拆真空防护罩，高频加热仓还包括其内部前侧的转动支撑盘，转动支撑盘上部放置有钨坩埚，转动支撑盘的后侧设置有高频加热器，高频加热器包括高频加热环，高频加热环上连接通线支撑管，通线支撑管的后侧连接电发生装置，高频加热器还包括其后侧用于控制其升降的往复装置，转动支撑盘的左右两侧分别设置有升降夹具，升降夹具用于夹持钨坩埚并控制升降。本申请克服现有技术缺点，升降加热加温更均匀，适应不同尺寸的钨坩埚加热，夹持后拿取更方便。

技术研发人员：陈景升
受保护的技术使用者：江苏微迈思半导体科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12