一种超精密低损伤磨削硅片的软磨料砂轮的制作方法

1.本实用新型涉及砂轮技术领域，具体为一种超精密低损伤磨削硅片的软磨料砂轮。


背景技术：

2.砂轮又称固结磨具，砂轮是由结合剂将普通磨料固结成一定形状，并具有一定强度的固结磨具，其一般由磨料、结合剂和气孔构成，这三部分常称为固结磨具的三要素，按照结合剂的不同分类，常见的有陶瓷砂轮、树脂砂轮、橡胶砂轮，砂轮是磨具中用量最大、使用面最广的一种，使用时高速旋转，可对金属或非金属工件的外圆、内圆、平面和各种型面等进行粗磨、半精磨和精磨以及开槽和切断等；
3.现有的软磨料砂轮，存在以下不便之处：
4.砂轮在持续打磨的过程中，其温度会逐渐升高，而砂轮温度过高的话会影响硅片的打磨，从而导致硅片出现损坏，同时砂轮在长时间的打磨过程中，会出现磨损，此时需要对砂轮进行更换，而现有的更换方式都较为繁琐，沿着影响更换的效率。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种超精密低损伤磨削硅片的软磨料砂轮，以解决上述背景技术中提出打磨的过程中无法进行降温以及更换的效率低的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种超精密低损伤磨削硅片的软磨料砂轮，包括连接盘a，所述连接盘a底部的一侧设有连接盘b，所述连接盘b的内部设有插杆，所述插杆的顶部转动连接有内套杆，所述内套杆的底部套设有弹簧，所述弹簧的顶部套设有外套管，所述外套管一侧的底部设有锁块，所述连接盘b的顶部设有连接筒，所述连接筒的内侧设有限位槽，所述连接盘b内部的一侧设有滑槽，所述滑槽与限位槽相通，所述插杆的底部设有安装盘，所述安装盘的底部均匀设有多组磨片，两组所述磨片之间设有斜板。
7.优选的，所述连接盘b的内部设有梯形槽，且插杆截面呈梯形，所述插杆与梯形槽相互适配。
8.优选的，所述插杆的顶部设有轴承，且内套杆的底部位于轴承的内部。
9.优选的，所述斜板斜向设于安装盘的底部。
10.优选的，所述连接盘a的顶部设有套管，且套管的一端设有锁孔。
11.优选的，所述锁块由l型结构制成。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该超精密低损伤磨削硅片的软磨料砂轮；
13.通过斜板的作用下，在磨片对硅片进行打磨的过程中，能提高砂轮表面的空气流速，使得磨片在打磨的过程中，其温度不易升高，进而控制磨片的温度，防止影响硅片的打磨，通过外套管、内套杆、弹簧、限位槽、锁块的配合下，当砂轮出现损坏后，能够快速的对其
进行更换，保证后续设备能以最快的速度再次运行。
附图说明
14.图1为本实用新型的主视图；
15.图2为本实用新型的连接盘b处的主视剖视图；
16.图3为本实用新型的图2的a处放大图；
17.图4为本实用新型的安装盘处的仰视图；
18.图5为本实用新型的连接筒处的立体图。
19.图中：1、连接盘a；2、连接盘b；3、磨片；4、斜板；5、安装盘；6、连接筒；7、滑槽；8、限位槽；9、外套管；10、内套杆；11、弹簧；12、插杆；13、锁块。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1-5，本实用新型提供的实施例：一种超精密低损伤磨削硅片的软磨料砂轮，包括连接盘a1，连接盘a1底部的一侧设有连接盘b2，连接盘b2的内部设有插杆12，插杆12的顶部转动连接有内套杆10，内套杆10的底部套设有弹簧11，弹簧11的顶部套设有外套管9，外套管9一侧的底部设有锁块13，连接盘b2的顶部设有连接筒6，连接筒6的内侧设有限位槽8，连接盘b2内部的一侧设有滑槽7，滑槽7与限位槽8相通，插杆12的底部设有安装盘5，安装盘5的底部均匀设有多组磨片3，能进行打磨两组磨片3之间设有斜板4，起到一定的降温作用。
22.进一步的，连接盘b2的内部设有梯形槽，且插杆12截面呈梯形，插杆12与梯形槽相互适配，便于安装，提高连接的效果。
23.进一步的，插杆12的顶部设有轴承，且内套杆10的底部位于轴承的内部，方便内套杆10进行旋转。
24.进一步的，斜板4斜向设于安装盘5的底部，在斜板4旋转的过程中，能吹出一定的风。
25.进一步的，连接盘a1的顶部设有套管，且套管的一端设有锁孔，方便与设备进行连接。
26.进一步的，锁块13由l型结构制成，便于进行连接。
27.工作原理：进行打磨的过程中，设备带动连接盘a1进行旋转，连接盘a1再带动连接盘b2进行旋转，使得连接盘b2对硅片进行磨削作业，在磨削的过程中斜板4加快安装盘5底部的空气流速，进而产生一定的风，对磨片3的表面进行降温，防止其过热；
28.在需要对砂轮进行更换时，首先旋转外套管9，进而带动内套杆10进行旋转，当锁块13与滑槽7重合后，解除外套管9的限位状态，此时再向下拉动安装盘5，即可将安装盘5整体进行取出，进行更换。
29.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而
且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
30.在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
31.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。


技术特征：
1.一种超精密低损伤磨削硅片的软磨料砂轮，包括连接盘a(1)，其特征在于：所述连接盘a(1)底部的一侧设有连接盘b(2)，所述连接盘b(2)的内部设有插杆(12)，所述插杆(12)的顶部转动连接有内套杆(10)，所述内套杆(10)的底部套设有弹簧(11)，所述弹簧(11)的顶部套设有外套管(9)，所述外套管(9)一侧的底部设有锁块(13)，所述连接盘b(2)的顶部设有连接筒(6)，所述连接筒(6)的内侧设有限位槽(8)，所述连接盘b(2)内部的一侧设有滑槽(7)，所述滑槽(7)与限位槽(8)相通，所述插杆(12)的底部设有安装盘(5)，所述安装盘(5)的底部均匀设有多组磨片(3)，两组所述磨片(3)之间设有斜板(4)。2.根据权利要求1所述的一种超精密低损伤磨削硅片的软磨料砂轮，其特征在于：所述连接盘b(2)的内部设有梯形槽，且插杆(12)截面呈梯形，所述插杆(12)与梯形槽相互适配。3.根据权利要求1所述的一种超精密低损伤磨削硅片的软磨料砂轮，其特征在于：所述插杆(12)的顶部设有轴承，且内套杆(10)的底部位于轴承的内部。4.根据权利要求1所述的一种超精密低损伤磨削硅片的软磨料砂轮，其特征在于：所述斜板(4)斜向设于安装盘(5)的底部。5.根据权利要求1所述的一种超精密低损伤磨削硅片的软磨料砂轮，其特征在于：所述连接盘a(1)的顶部设有套管，且套管的一端设有锁孔。6.根据权利要求1所述的一种超精密低损伤磨削硅片的软磨料砂轮，其特征在于：所述锁块(13)由l型结构制成。

技术总结
本实用新型公开了一种超精密低损伤磨削硅片的软磨料砂轮，包括连接盘A，所述连接盘A底部的一侧设有连接盘B，所述连接盘B的内部设有插杆，所述插杆的顶部转动连接有内套杆，所述内套杆的底部套设有弹簧，所述弹簧的顶部套设有外套管，所述外套管一侧的底部设有锁块，所述连接盘B的顶部设有连接筒；本实用新型通过斜板的作用下，在磨片对硅片进行打磨的过程中，能提高砂轮表面的空气流速，使得磨片在打磨的过程中，其温度不易升高，进而控制磨片的温度，防止影响硅片的打磨，通过外套管、内套杆、弹簧、限位槽、锁块的配合下，当砂轮出现损坏后，能够快速的对其进行更换，保证后续设备能以最快的速度再次运行。能以最快的速度再次运行。能以最快的速度再次运行。


技术研发人员：潘金平 肖世豪 张立安 苏文霞 程富荣 许琴 夏卢晨 余天威 白超 王志雄
受保护的技术使用者：浙江海纳半导体股份有限公司
技术研发日：2022.04.13
技术公布日：2022/9/9