一种沉积炉用气体预热装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种沉积炉用气体预热装置，属于碳碳复合材料技术领域。


背景技术：

2.碳碳复合材料在使用化学气相沉积方法制备的过程中，需要通入天然气到沉积炉，沉积炉内的温度为1000～1100℃，为气体裂解反应的温度。通入的天然气通常是常温，从沉积炉的底部进入，从沉积炉的上部抽离。由于刚进入沉积炉的天然气温度与炉内温差较大，需要有一定的时间气体温度才能升至炉内温度。在天然气升温的过程中，天然气不断的从底部往顶部走，由于没达到裂解温度，刚进来的天然气没有在底部进行裂解，对于底部需要沉积的工件来说沉积效果较差。所以需要一个预热装置先将天然气进行预加热，控制其进入到工件内部时的温差，提高沉积效果。


技术实现要素：

3.本实用新型要解决的技术问题是提供一种沉积炉用气体预热装置，以解决背景技术中提出的问题。
4.为了解决上述技术问题，本实用新型的方案为：一种沉积炉用气体预热装置，包括上石墨盘、下石墨盘以及中部石墨盘，所述上石墨盘与下石墨盘之间通过反向扣合的方式连接，所述上石墨盘与下石墨盘被均分为六块扇形盘，所述中部石墨盘置于所述上石墨盘与下石墨盘的中部，且所述上石墨盘、下石墨盘以及中部石墨盘之间组合成一个整体的大圆盘。
5.所述上石墨盘中设置出气孔和上气道，所述下石墨盘中设置进气孔和下气道。
6.所述上气道和下气道均为直径为30mm的半圆槽，两者扣合起来组成完整的圆管形气道。
7.所述气道的长度为1600mm，采用光滑过度的圆形加直线形设置。
8.所述上气道的边缘设置有气道凸起，所述下气道的边缘设置有气道凹槽，所述气道凹槽与所述气道凸起匹配设置。
9.与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：
10.本实用新型在使用时，天然气从进气孔进入之后，流过气道的过程中被加热到900℃左右，从出气孔流出进入沉积炉内。由于整个圆形石墨盘体积较大、所以将整个圆形石墨盘分成六个扇形的石墨盘加中部圆形石墨盘，目的是为了制作、安装、检修和更换的方便。
附图说明
11.图1为本实用新型的整体结构示意图；
12.图2为本实用新型的下石墨盘的结构示意图；
13.图3为本实用新型的上石墨盘的结构示意图；
14.图4为本实用新型的气道凸起的结构示意图；
15.图5为本实用新型的气道凹槽的结构示意图。
具体实施方式
16.下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本实用新型，但并不构成对本实用新型的限定。此外，下面所描述的本实用新型各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
17.参照图1-5，本实用新型的一种沉积炉用气体预热装置，包括上石墨盘1、下石墨盘2以及中部石墨盘3，所述上石墨盘1与下石墨盘2之间通过反向扣合的方式连接，所述上石墨盘1与下石墨盘2被均分为六块扇形盘，六个扇形的上、下石墨盘围起来形成一个圆环，所述中部石墨盘3置于所述上石墨盘1与下石墨盘2的中部，且所述上石墨盘1、下石墨盘2以及中部石墨盘3之间组合成一个整体的大圆盘。
18.所述上石墨盘1中设置出气孔4和上气道6，所述下石墨盘2中设置进气孔7和下气道5。
19.所述上气道6和下气道5均为直径为30mm的半圆槽，两者扣合起来组成完整的圆管形气道。
20.所述气道的长度为1600mm，采用光滑过度的圆形加直线形设置。气道的长度为1600mm，采用光滑过度的圆形加直线形设置，使得气体能够顺畅的流过。(经过有限元仿真分析，在石墨盘900℃的条件下，天然气在直径30mm的管道中，经过1500mm的行程，温度能够从常温升到接近900℃，所以设置气道的长度为1600mm)。
21.为了提高气道的密封性，所述上气道6的边缘设置有气道凸起9，所述下气道5的边缘设置有气道凹槽8，所述气道凹槽8与所述气道凸起9匹配设置。
22.具体的，使用时，本实用新型在使用时，天然气从进气孔进入之后，流过气道的过程中被加热到900℃左右，从出气孔流出进入沉积炉内。由于整个圆形石墨盘体积较大、所以将整个圆形石墨盘分成六个扇形的石墨盘加中部圆形石墨盘，目的是为了制作、安装、检修和更换的方便。
23.以上结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明，但本实用新型不限于所描述的实施方式。对于本领域的技术人员而言，在不脱离本实用新型原理和精神的情况下，对这些实施方式进行多种变化、修改、替换和变型，仍落入本实用新型的保护范围内。


技术特征：
1.一种沉积炉用气体预热装置，其特征在于：包括上石墨盘(1)、下石墨盘(2)以及中部石墨盘(3)，所述上石墨盘(1)与下石墨盘(2)之间通过反向扣合的方式连接，所述上石墨盘(1)与下石墨盘(2)被均分为六块扇形盘，所述中部石墨盘(3)置于所述上石墨盘(1)与下石墨盘(2)的中部，且所述上石墨盘(1)、下石墨盘(2)以及中部石墨盘(3)之间组合成一个整体的大圆盘。2.根据权利要求1所述的沉积炉用气体预热装置，其特征在于：所述上石墨盘(1)中设置出气孔(4)和上气道(6)，所述下石墨盘(2)中设置进气孔(7)和下气道(5)。3.根据权利要求2所述的沉积炉用气体预热装置，其特征在于：所述上气道(6)和下气道(5)均为直径为30mm的半圆槽，两者扣合起来组成完整的圆管形气道。4.根据权利要求3所述的沉积炉用气体预热装置，其特征在于：所述气道的长度为1600mm，采用光滑过度的圆形加直线形设置。5.根据权利要求2所述的沉积炉用气体预热装置，其特征在于：所述上气道(6)的边缘设置有气道凸起(9)，所述下气道(5)的边缘设置有气道凹槽(8)，所述气道凹槽(8)与所述气道凸起(9)匹配设置。

技术总结
本实用新型涉及一种沉积炉用气体预热装置，属于碳碳复合材料技术领域。包括上石墨盘、下石墨盘以及中部石墨盘，所述上石墨盘与下石墨盘之间通过反向扣合的方式连接，所述上石墨盘与下石墨盘被均分为六块扇形盘，所述中部石墨盘置于所述上石墨盘与下石墨盘的中部，且所述上石墨盘、下石墨盘以及中部石墨盘之间组合成一个整体的大圆盘。本实用新型在使用时，天然气从进气孔进入之后，流过气道的过程中被加热到900℃左右，从出气孔流出进入沉积炉内。由于整个圆形石墨盘体积较大、所以将整个圆形石墨盘分成六个扇形的石墨盘加中部圆形石墨盘，目的是为了制作、安装、检修和更换的方便。检修和更换的方便。检修和更换的方便。


技术研发人员：朱文志 何留阳 范磊
受保护的技术使用者：贵州省紫安新材料科技有限公司
技术研发日：2022.08.10
技术公布日：2023/1/13