一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备的制作方法

1.本实用新型涉及柔性金属加工技术领域，具体为一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备。


背景技术：

2.蚀刻是指通过曝光制版、显影后，将要蚀刻区域的保护膜去除，在蚀刻时接触化学溶液，达到溶解腐蚀的作用，形成凹凸或者镂空成型的效果。在对柔性金属进行蚀刻加工时，需要不断对蚀刻存在的瑕疵进行检测，柔性金属的蚀刻操作不具备连续性，蚀刻效率低。因此，急需设计一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备。


技术实现要素：

3.(一)解决的技术问题
4.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备，具备连续性蚀刻和效率高等优点，解决了柔性金属蚀刻加工时，需要不断对蚀刻存在的瑕疵进行检测，柔性金属的蚀刻操作不具备连续性，蚀刻效率低的问题。
5.(二)技术方案
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备，包括上料机构，所述上料机构的输出端安装有原材料清洗设备，所述原材料清洗设备的右侧设置有连续曝光设备，所述连续曝光设备的右侧设置有显影设备，所述显影设备的输出端安装有蚀刻设备，所述蚀刻设备的输出端安装有脱干膜清洗设备，所述脱干膜清洗设备的输出端安装有线扫激光全检设备，所述线扫激光全检设备的右侧设置有uv固化设备，所述uv固化设备的右侧设置有成品收卷机构。
7.优选的，所述原材料清洗设备和连续曝光设备之间设置有第一贴合装置，柔性金属从上料机构处上料后进行清洗，清洗后贴合干膜并连续曝光。
8.优选的，所述连续曝光设备和显影设备之间设置有第二贴合装置，柔性金属连续曝光后贴合uv减弱膜并进行显影。
9.优选的，所述线扫激光全检设备和uv固化设备之间设置有第三贴合装置，柔性金属蚀刻后线扫激光检测断线瑕疵，检测结束后贴低粘保护膜并进行固化。
10.优选的，所述uv固化设备和成品收卷机构之间设置有撕膜设备和第四贴合装置，uv固化后撕uv减弱膜并贴低粘保护膜，最后对柔性金属进行收卷下料。
11.与现有技术相比，本实用新型提供了一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备，具备以下有益效果：
12.1、该适用于柔性材料的连续性蚀刻设备，通过连续曝光设备、显影设备、蚀刻设备、脱干膜清洗设备和线扫激光全检设备的配合，可使柔性金属的蚀刻加工具备连续性，且柔性金属蚀刻后的线扫激光检测断线瑕疵效果较好，从而提高柔性金属的蚀刻效率，进而便于柔性材料的连续性蚀刻操作。
13.2、该适用于柔性材料的连续性蚀刻设备，通过柔性金属从上料机构处上料后进行清洗，清洗后贴合干膜并连续曝光，连续曝光后贴合uv减弱膜并依次经过显影、蚀刻和清洗脱干膜操作，然后输送至线扫激光全检设备进行检测，检测结束后贴低粘保护膜并进行固化，再撕uv减弱膜并贴低粘保护膜，最后对柔性金属进行收卷下料。
附图说明
14.图1为本实用新型连续性蚀刻流程图；
15.图2为本实用新型连续蚀刻设备结构示意图。
16.其中：1、上料机构；2、原材料清洗设备；3、连续曝光设备；4、显影设备；5、蚀刻设备；6、脱干膜清洗设备；7、线扫激光全检设备；8、uv固化设备；9、成品收卷机构；10、第一贴合装置；11、第二贴合装置；12、第三贴合装置；13、撕膜设备；14、第四贴合装置。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.请参阅图1-2，一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备，包括上料机构1，上料机构1的输出端安装有原材料清洗设备2，原材料清洗设备2的右侧设置有连续曝光设备3，原材料清洗设备2和连续曝光设备3之间设置有第一贴合装置10，连续曝光设备3的右侧设置有显影设备4，连续曝光设备3和显影设备4之间设置有第二贴合装置11，显影设备4的输出端安装有蚀刻设备5，蚀刻设备5的输出端安装有脱干膜清洗设备6，脱干膜清洗设备6的输出端安装有线扫激光全检设备7，通过连续曝光设备3、显影设备4、蚀刻设备5、脱干膜清洗设备6和线扫激光全检设备7的配合，可使柔性金属的蚀刻加工具备连续性，且柔性金属蚀刻后的线扫激光检测断线瑕疵效果较好，从而提高柔性金属的蚀刻效率，进而便于柔性材料的连续性蚀刻操作，线扫激光全检设备7的右侧设置有uv固化设备8，线扫激光全检设备7和uv固化设备8之间设置有第三贴合装置12，uv固化设备8的右侧设置有成品收卷机构9，uv固化设备8和成品收卷机构9之间设置有撕膜设备13和第四贴合装置14，柔性金属从上料机构1处上料后进行清洗，清洗后贴合干膜并连续曝光，连续曝光后贴合uv减弱膜并依次经过显影、蚀刻和清洗脱干膜操作，然后输送至线扫激光全检设备7进行检测，检测结束后贴低粘保护膜并进行固化，再撕uv减弱膜并贴低粘保护膜，最后对柔性金属进行收卷下料。
19.在使用时，柔性金属从上料机构1处上料后进行清洗，清洗后贴合干膜并连续曝光，连续曝光后贴合uv减弱膜并依次经过显影、蚀刻和清洗脱干膜操作，然后输送至线扫激光全检设备7进行检测，检测结束后贴低粘保护膜并进行固化，再撕uv减弱膜并贴低粘保护膜，最后对柔性金属进行收卷下料，该适用于柔性材料的连续性蚀刻设备，可使柔性金属的蚀刻加工具备连续性，且柔性金属蚀刻后的线扫激光检测断线瑕疵效果较好，从而提高柔性金属的蚀刻效率，进而便于柔性材料的连续性蚀刻操作。
20.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修
改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备，包括上料机构(1)，其特征在于：所述上料机构(1)的输出端安装有原材料清洗设备(2)，所述原材料清洗设备(2)的右侧设置有连续曝光设备(3)，所述连续曝光设备(3)的右侧设置有显影设备(4)，所述显影设备(4)的输出端安装有蚀刻设备(5)，所述蚀刻设备(5)的输出端安装有脱干膜清洗设备(6)，所述脱干膜清洗设备(6)的输出端安装有线扫激光全检设备(7)，所述线扫激光全检设备(7)的右侧设置有uv固化设备(8)，所述uv固化设备(8)的右侧设置有成品收卷机构(9)。2.根据权利要求1所述的一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备，其特征在于：所述原材料清洗设备(2)和连续曝光设备(3)之间设置有第一贴合装置(10)。3.根据权利要求1所述的一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备，其特征在于：所述连续曝光设备(3)和显影设备(4)之间设置有第二贴合装置(11)。4.根据权利要求1所述的一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备，其特征在于：所述线扫激光全检设备(7)和uv固化设备(8)之间设置有第三贴合装置(12)。5.根据权利要求1所述的一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备，其特征在于：所述uv固化设备(8)和成品收卷机构(9)之间设置有撕膜设备(13)和第四贴合装置(14)。

技术总结
本实用新型涉及柔性金属加工技术领域，且公开了一种适用于柔性材料的连续性蚀刻设备，包括上料机构，所述上料机构的输出端安装有原材料清洗设备，所述原材料清洗设备的右侧设置有连续曝光设备，所述连续曝光设备的右侧设置有显影设备，所述显影设备的输出端安装有蚀刻设备，所述蚀刻设备的输出端安装有脱干膜清洗设备。该适用于柔性材料的连续性蚀刻设备，通过原材料清洗设备、连续曝光设备、显影设备、蚀刻设备、脱干膜清洗设备和线扫激光全检设备的配合，可使柔性金属的蚀刻加工具备连续性，且柔性金属蚀刻后的线扫激光检测断线瑕疵效果较好，从而提高柔性金属的蚀刻效率，进而便于柔性材料的连续性蚀刻操作。柔性材料的连续性蚀刻操作。柔性材料的连续性蚀刻操作。


技术研发人员：陈萍
受保护的技术使用者：深圳臻金精密科技有限公司
技术研发日：2022.09.06
技术公布日：2022/12/13