一种靶材背板的制作方法

本技术涉及溅射镀膜，具体为一种靶材背板。

背景技术：

1、众所周知，靶材是一种具有高附加价值的特种电子材料，最主要使用在微电子，显示器，存储器以及光学镀膜等产业上。

2、溅射镀膜是利用离子源产生的离子轰击在靶材表面，使靶原子离开靶被溅射出来，随后沉积在基体表面的过程。溅射镀膜具有以下显著的优点：膜层的结合力强，膜厚稳定性较好，而且膜层厚度不会变化，膜厚的稳定性可归结为膜厚良好的可控性和重复性。

3、目前，在进行靶材溅射镀膜时，高速度流的离子束流轰击靶材表面，会使靶材产生大量的热量，从而使靶材温度升高，会影响镀膜质量。

4、经检索cn201821044039.3公开的一种靶材背板结构和cn202022456979.7公开的靶材背板，均通过流道对靶材进行降温，流道在靶材背板的内部弯曲设置，不仅靶材背板内部的结构复杂，而且散热效果不佳。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种靶材背板，靶材背板内部的结构简单，并且具有良好的散热性。

3、(二)技术方案

4、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种靶材背板，包括靶材背板，靶材背板底部的中部设置有溅射靶材，靶材背板的内部设置有冷却槽，冷却槽的内部设置有数个导热块，靶材背板的顶端设置有散热片，散热片上设置有数个翅片，散热片顶部的一侧设置有进液接头，散热片顶部的另一侧设置有出液接头。

5、进一步的，靶材背板和导热块为一体成型，靶材背板和导热块的材质为同一种材质。

6、进一步的，散热片根据使用需求设置为可拆卸的或者不可拆卸的。

7、进一步的，进液接头和出液接头均和连接管连接。

8、(三)有益效果

9、与现有技术相比，本实用新型提供了一种靶材背板，具备以下有益效果：

10、该靶材背板，通过冷却槽的设置，冷却槽替代了传统的流道的设置，不仅提高了冷却面积，而且结构简单，具有良好的散热性，通过导热块的设置，导热块提高了靶材背板和冷却液体的接触面积，通过散热片和翅片的设置，提高了靶材背板背部的散热效率。

技术特征：

1.一种靶材背板，包括靶材背板(1)，其特征在于：所述靶材背板(1)底部的中部设置有溅射靶材(2)，所述靶材背板(1)的内部设置有冷却槽(3)，所述冷却槽(3)的内部设置有数个导热块(4)，所述靶材背板(1)的顶端设置有散热片(5)，所述散热片(5)上设置有数个翅片(6)，所述散热片(5)顶部的一侧设置有进液接头(7)，所述散热片(5)顶部的另一侧设置有出液接头(8)。

2.根据权利要求1所述的一种靶材背板，其特征在于：所述靶材背板(1)和导热块(4)为一体成型，所述靶材背板(1)和导热块(4)的材质为同一种材质。

3.根据权利要求1所述的一种靶材背板，其特征在于：所述散热片(5)根据使用需求设置为可拆卸的或者不可拆卸的。

4.根据权利要求1所述的一种靶材背板，其特征在于：所述进液接头(7)和出液接头(8)均和连接管连接。

技术总结
本技术涉及溅射镀膜技术领域，具体为一种靶材背板，其靶材背板内部的结构简单，并且具有良好的散热性，包括靶材背板，靶材背板底部的中部设置有溅射靶材，靶材背板的内部设置有冷却槽，冷却槽的内部设置有数个导热块，靶材背板的顶端设置有散热片，散热片上设置有数个翅片，散热片顶部的一侧设置有进液接头，散热片顶部的另一侧设置有出液接头，靶材背板和导热块为一体成型，靶材背板和导热块的材质为同一种材质，散热片根据使用需求设置为可拆卸的或者不可拆卸的，进液接头和出液接头均和连接管连接。

技术研发人员：白杨杨
受保护的技术使用者：北京贵金成科技有限公司
技术研发日：20220919
技术公布日：2024/1/11