一种带有自动盖板的酸洗槽的制作方法

1.本实用新型属于清洗设备，具体涉及一种带有自动盖板的酸洗槽。


背景技术：

2.如今的半导体芯片制造过程中，国产大部分设备的酸洗槽和清洗槽以及腐蚀槽都是手动盖板，不能用于配合全自动清洗机和半自动清洗机机械手的自动控制生产工艺要求，人工操作不确定性因素高，人身安全系数低。


技术实现要素：

3.本申请的主要目的在于提供一种密封性好，且能自动盖合的带有自动盖板的酸洗槽。
4.为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
5.一种带有自动盖板的酸洗槽，包括酸洗槽本体，盖板，自动盖合装置，所述自动盖合装置控制盖板与所述酸洗槽本体相盖合：
6.所述盖板包括相互咬合的左盖板和右盖板；所述自动盖合装置包括用以控制左盖板的左自动盖合装置和用以控制右盖板的右自动盖合装置；
7.所述左自动盖合装置包括连接板、转动曲柄、连接杆和气缸，所述连接板的一端与所述左盖板固定连接，所述连接板的另一端与所述转动曲柄的一端固定连接，所述转动曲柄的另一端与所述气缸的伸缩端关节连接；所述连接板所在平面与所述左盖板所在平面之间的夹角≥90
°
，所述连接板所在平面与所述转动曲柄所在平面之间的夹角≥110
°
；所述连接杆的一端与所述连接板与所述转动曲柄的连接处转动连接，所述连接杆的另一端转动连接于固定装置上；
8.所述左自动盖合装置与所述右自动盖合装置的结构相同，并关于所述酸洗槽本体的中轴线对称设置。
9.在使用本申请所述带有自动盖板的酸洗槽时，启动气缸，气缸的伸缩端带动转动曲柄绕着连接杆进行转动，同时带动连接板运动进而控制盖板的开启与闭合。在使用时，左自动盖合装置和右自动盖合装置同时运行。
10.上述一种带有自动盖板的酸洗槽，作为一种优选的实施方案，所述连接板和所述转动曲柄的形状均为平板状，所述连接杆的形状为圆柱体状。
11.上述一种带有自动盖板的酸洗槽，作为一种优选的实施方案，所述连接板所在平面与所述左盖板所在平面之间的夹角为90
°‑
120
°
。
12.上述一种带有自动盖板的酸洗槽，作为一种优选的实施方案，所述连接板所在平面与所述转动曲柄所在平面之间的夹角为110
°‑
120
°
。
13.上述一种带有自动盖板的酸洗槽，作为一种优选的实施方案，所述连接板与所述转动曲柄的连接处开设有通孔，所述通孔贯穿所述连接板和所述转动曲柄，所述连接杆穿过通孔并在连接杆的端部设置限位板实现连接杆的转动连接。
14.上述一种带有自动盖板的酸洗槽，作为一种优选的实施方案，还包括酸洗槽外壳，所述酸洗槽外壳套设在所述酸洗槽本体上，所述酸洗槽外壳上表面与所述酸洗槽本体的上表面位于同一水平面上，所述酸洗槽外壳横截面的形状与所述酸洗槽本体横截面的形状相同。
15.优选地，所述连接杆的另一端转动连接于所述酸洗槽外壳上。其转动连接的方式也可为在酸洗槽外壳上开设通孔，连接杆穿过通孔，并在连接杆的端部设置防止其脱落的限位板。
16.本实用新型的有益效果为：本实用新型所述带有自动盖板的酸洗槽，其酸洗槽盖板可自动开启或闭合，密封性比较好，能有效配合酸洗槽内温度控制的要求，防止酸洗槽内液体的挥发，且保证了工作人员的安全。
附图说明
17.图1为本实用新型所述带有自动盖板的酸洗槽自动盖合装置的结构示意图；
18.图中：1、左盖板；2、右盖板；3、连接板；4、转动曲柄；5、气缸。
具体实施方式
19.为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合案例对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
20.在本申请中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本申请及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。
21.并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本申请中的具体含义。
22.一种带有自动盖板的酸洗槽，包括酸洗槽本体，盖板，自动盖合装置，所述自动盖合装置控制盖板与所述酸洗槽本体相盖合：
23.所述盖板包括相互咬合的左盖板1和右盖板2；所述自动盖合装置包括用以控制左盖板1的左自动盖合装置和用以控制右盖板2的右自动盖合装置，且所述左自动盖合装置与所述右自动盖合装置的结构相同，并关于所述酸洗槽本体的中轴线对称设置。
24.在酸洗槽上还套设有酸洗槽外壳，酸洗槽外壳套设在所述酸洗槽本体上，酸洗槽外壳的上表面与所述酸洗槽本体的上表面位于同一水平面上，且所述酸洗槽外壳横截面的形状与所述酸洗槽本体横截面的形状相同。
25.所述左自动盖合装置包括形状为平板状的连接板3、形状为平板状的转动曲柄4、形状为圆柱状的连接杆和气缸5，所述连接板3的一端与所述左盖板1固定连接，所述连接板3的另一端与所述转动曲柄4的一端固定连接，所述转动曲柄4的另一端与所述气缸5的伸缩端关节连接。在使用时，气缸5的伸缩端推动转动曲柄4转动，转动曲柄4进而推动连接板3带
动盖板的开启或闭合。
26.为使连接板3和转动曲柄4能正常运转，给其提供相应的支撑力，在所述连接板3与所述转动曲柄4的连接处转动连接设置有圆柱状连接杆，所述连接杆的另一端转动连接于所述酸洗槽外壳上。
27.本实施例所采用的转动连接方式为：在连接板3与所述转动曲柄4的连接处开设通孔，所述通孔贯穿所述连接板3和所述转动曲柄4，所述连接杆穿过通孔并在连接杆的端部设置防止连接杆脱落的限位板实现连接杆的转动连接。
28.为使连接板3与转动曲柄4在运动过程中，盖板能顺利地盖合和开启，所述连接板3所在平面与所述左盖板1所在平面之间的夹角可为100
°
110
°
、120
°
，所述连接板3所在平面与所述转动曲柄4所在平面之间的夹角可为110
°
、120
°
。
29.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型方法的前提下，还可以做出若干改进和补充，这些改进和补充也应视为本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.一种带有自动盖板的酸洗槽，其特征在于，包括酸洗槽本体，盖板，自动盖合装置，所述自动盖合装置控制盖板与所述酸洗槽本体相盖合：所述盖板包括相互咬合的左盖板和右盖板；所述自动盖合装置包括用以控制左盖板的左自动盖合装置和用以控制右盖板的右自动盖合装置；所述左自动盖合装置包括连接板、转动曲柄、连接杆和气缸，所述连接板的一端与所述左盖板固定连接，所述连接板的另一端与所述转动曲柄的一端固定连接，所述转动曲柄的另一端与所述气缸的伸缩端关节连接；所述连接板所在平面与所述左盖板所在平面之间的夹角≥90
°
，所述连接板所在平面与所述转动曲柄所在平面之间的夹角≥110
°
；所述连接杆的一端与所述连接板与所述转动曲柄的连接处转动连接，所述连接杆的另一端转动连接于固定装置上；所述左自动盖合装置与所述右自动盖合装置的结构相同，并关于所述酸洗槽本体的中轴线对称设置。2.根据权利要求1所述一种带有自动盖板的酸洗槽，其特征在于，所述连接板和所述转动曲柄的形状均为平板状，所述连接杆的形状为圆柱状。3.根据权利要求1所述一种带有自动盖板的酸洗槽，其特征在于，所述连接板所在平面与所述左盖板所在平面之间的夹角为90
°‑
120
°
。4.根据权利要求1所述一种带有自动盖板的酸洗槽，其特征在于，所述连接板所在平面与所述转动曲柄所在平面之间的夹角为110
°‑
120
°
。5.根据权利要求1所述一种带有自动盖板的酸洗槽，其特征在于，所述连接板与所述转动曲柄的连接处开设有通孔，所述通孔贯穿所述连接板和所述转动曲柄，所述连接杆穿过通孔并在连接杆的端部设置限位板实现连接杆的转动连接。6.根据权利要求1所述一种带有自动盖板的酸洗槽，其特征在于，还包括酸洗槽外壳，所述酸洗槽外壳套设在所述酸洗槽本体上，所述酸洗槽外壳上表面与所述酸洗槽本体的上表面位于同一水平面上，所述酸洗槽外壳横截面的形状与所述酸洗槽本体横截面的形状相同。7.根据权利要求6所述一种带有自动盖板的酸洗槽，其特征在于，所述连接杆的另一端转动连接于所述酸洗槽外壳上。

技术总结
本实用新型公开了一种带有自动盖板的酸洗槽，包括酸洗槽本体，盖板，自动盖合装置，所述自动盖合装置控制盖板与所述酸洗槽本体相盖合：所述盖板包括相互咬合的左盖板和右盖板；所述自动盖合装置包括用以控制左盖板的左自动盖合装置和用以控制右盖板的右自动盖合装置；所述左自动盖合装置包括连接板、转动曲柄、连接杆和气缸；所述左自动盖合装置与所述右自动盖合装置的结构相同，并关于所述酸洗槽本体的中轴线对称设置。本实用新型的有益效果为：本实用新型所述带有自动盖板的酸洗槽，其酸洗槽盖板可自动开启或闭合，密封性比较好，能有效配合酸洗槽内温度控制的要求，防止酸洗槽内液体的挥发，且保证了工作人员的安全。且保证了工作人员的安全。且保证了工作人员的安全。


技术研发人员：施先众 高君 钟红海 赵艳
受保护的技术使用者：广东凡林装备科技有限公司
技术研发日：2022.09.26
技术公布日：2023/1/31