化学气相喷淋进气装置及镀膜设备的制作方法

本技术涉及化学气相沉积镀膜，尤其涉及一种化学气相喷淋进气装置及镀膜设备。

背景技术：

1、原子层沉积(ald，atomic layer deposition)是利用气相前驱物通入反应器并沉积于待镀基体上通过化学吸附及反应形成沉积膜，具有镀膜厚度均匀、一致性高的特点，相关技术中，前驱物通过进气结构中的气道及气孔喷淋至待镀基体，进气结构为一整块板状构件，并通过钻孔等整体机加工的方式加工出气道与气孔，气道及气孔内壁的表面质量差，导致气体以及气体反应产生的颗粒残留于进气结构内，气孔及气道容易堵塞，增加了进气结构的维护频率。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种化学气相喷淋进气装置，能够减小进气装置的维护频率并缩短维护时间。

2、本实用新型还提出一种具有上述化学气相喷淋进气装置的镀膜设备。

3、根据本实用新型的第一方面实施例的化学气相喷淋进气装置，包括：

4、底板，内部设有进气通道，所述进气通道用于通入前驱气体，所述底板具有进气孔与出气孔，所述进气孔和所述出气孔均与所述进气通道连通；

5、喷淋组件，可拆卸连接于所述底板，所述喷淋组件包括喷淋总管与多个喷淋支管，所述喷淋总管的一端连通至所述出气孔，每一所述喷淋支管均与所述喷淋总管连通，多个所述喷淋支管平铺于所述底板朝向所述喷淋组件的表面，每一所述喷淋支管均设有喷淋孔，所述喷淋孔位于所述喷淋支管背向所述底板的一侧。

6、根据本实用新型实施例的化学气相喷淋进气装置，至少具有如下有益效果：

7、本实用新型中，喷淋组件为多个具有内腔的气管组合形成的管组，喷淋组件可以直接利用管件内腔通气，无需额外加工气道，不易形成毛刺，气体残留少，由于喷淋组件与底板可拆卸连接，只需将喷淋组件从底板上拆除即可对喷淋组件进行维护，维护便利度高，并且拆除原喷淋组件的同时可以向底板装入新的喷淋组件，无需等待原喷淋组件清洗完成，可以有效提高进气装置的工作效率。

8、根据本实用新型的一些实施例，所述喷淋支管沿所述喷淋总管的延伸方向间隔排布，所述底板设置有多个所述出气孔，其中两个所述出气孔分别连通于所述喷淋总管的两端，并能够同时向所述喷淋总管通入前驱气体。

9、根据本实用新型的一些实施例，所述喷淋支管沿所述喷淋总管的延伸方向间隔排布，所述底板设置有多个所述出气孔，多个所述出气孔沿所述喷淋总管的延伸方向间隔排布。

10、根据本实用新型的一些实施例，所述底板包括多个进气通道与多个所述进气孔，每一所述出气孔均通过一个所述进气通道与所述进气孔连通，其中两个所述进气孔沿所述喷淋总管的延伸方向分别位于所述底板相对的两侧。

11、根据本实用新型的一些实施例，所述喷淋组件还包括固定件，所述固定件可拆卸连接于所述底板，所述喷淋支管沿所述固定件的延伸方向间隔排布，并穿设于所述固定件。

12、根据本实用新型的一些实施例，所述底板设有多个所述进气孔，其中两个所述进气孔分别用于通入不同类型的前驱气体，所述喷淋组件设置有至少两组，其中一组所述喷淋组件内的所述喷淋总管与两个所述进气孔中的其中一个连通，另一组所述喷淋组件内的所述喷淋总管与两个所述进气孔中的另一个连通，两组所述喷淋组件内的所述喷淋支管交替排布。

13、根据本实用新型的一些实施例，其中一组所述喷淋组件中的所述喷淋支管伸出至所述固定件的一侧，并与相应的所述喷淋总管连接，另一组所述喷淋组件中的所述喷淋支管伸出至所述固定件的另一侧，并与相应的所述喷淋总管连接。

14、根据本实用新型的一些实施例，所述喷淋组件还包括转接管，所述转接管的一端连通于所述喷淋总管，所述转接管的另一端插接于所述出气孔内，并与所述进气通道连通。

15、根据本实用新型的一些实施例，所述喷淋组件还包括压板，所述压板和/或所述底板设有供所述转接管嵌入的安装槽，所述压板贴附于所述底板表面，以将所述转接管压接于所述压板与所述底板之间。

16、根据本实用新型的第二方面实施例的镀膜设备，包括：

17、第一方面实施例的化学气相喷淋进气装置；

18、载物平台，用于承载待镀件，所述喷淋孔朝向所述载物平台设置。

19、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.化学气相喷淋进气装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的化学气相喷淋进气装置，其特征在于，所述喷淋支管沿所述喷淋总管的延伸方向间隔排布，所述底板设置有多个所述出气孔，其中两个所述出气孔分别连通于所述喷淋总管的两端，并能够同时向所述喷淋总管通入前驱气体。

3.根据权利要求1所述的化学气相喷淋进气装置，其特征在于，所述喷淋支管沿所述喷淋总管的延伸方向间隔排布，所述底板设置有多个所述出气孔，多个所述出气孔沿所述喷淋总管的延伸方向间隔排布。

4.根据权利要求2所述的化学气相喷淋进气装置，其特征在于，所述底板包括多个进气通道与多个所述进气孔，每一所述出气孔均通过一个所述进气通道与所述进气孔连通，其中两个所述进气孔沿所述喷淋总管的延伸方向分别位于所述底板相对的两侧。

5.根据权利要求1所述的化学气相喷淋进气装置，其特征在于，所述喷淋组件还包括固定件，所述固定件可拆卸连接于所述底板，所述喷淋支管沿所述固定件的延伸方向间隔排布，并穿设于所述固定件。

6.根据权利要求5所述的化学气相喷淋进气装置，其特征在于，所述底板设有多个所述进气孔，其中两个所述进气孔分别用于通入不同类型的前驱气体，所述喷淋组件设置有至少两组，其中一组所述喷淋组件内的所述喷淋总管与两个所述进气孔中的其中一个连通，另一组所述喷淋组件内的所述喷淋总管与两个所述进气孔中的另一个连通，两组所述喷淋组件内的所述喷淋支管交替排布。

7.根据权利要求6所述的化学气相喷淋进气装置，其特征在于，其中一组所述喷淋组件中的所述喷淋支管伸出至所述固定件的一侧，并与相应的所述喷淋总管连接，另一组所述喷淋组件中的所述喷淋支管伸出至所述固定件的另一侧，并与相应的所述喷淋总管连接。

8.根据权利要求1所述的化学气相喷淋进气装置，其特征在于，所述喷淋组件还包括转接管，所述转接管的一端连通于所述喷淋总管，所述转接管的另一端插接于所述出气孔内，并与所述进气通道连通。

9.根据权利要求8所述的化学气相喷淋进气装置，其特征在于，所述喷淋组件还包括压板，所述压板和/或所述底板设有供所述转接管嵌入的安装槽，所述压板贴附于所述底板表面，以将所述转接管压接于所述压板与所述底板之间。

10.镀膜设备，其特征在于，包括：

技术总结
本技术公开了一种化学气相喷淋进气装置及镀膜设备，进气装置包括底板与喷淋组件，壁板内部设有进气通道，喷淋组件可拆卸连接于底板，喷淋组件包括喷淋总管与多个喷淋支管，喷淋总管的一端连通出气孔，喷淋支管与喷淋总管连通，喷淋支管设有喷淋孔；镀膜设备包括上述的化学气相喷淋进气装置。本技术中，喷淋组件可以直接利用管件内腔通气，无需额外加工气道，不易形成毛刺，气体残留少，由于喷淋组件与底板可拆卸连接，只需将喷淋组件从底板上拆除即可对喷淋组件进行维护，维护便利度高，并且拆除原喷淋组件的同时可以向底板装入新的喷淋组件，无需等待原喷淋组件清洗完成，可以有效提高进气装置的工作效率。

技术研发人员：余仲,李学文,廖凯,刘兵吉,李致文
受保护的技术使用者：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
技术研发日：20220927
技术公布日：2024/1/13