一种溅射炉用防绕射夹具的制作方法

本申请涉及溅射炉领域，尤其是一种溅射炉用防绕射夹具。

背景技术：

1、溅射镀膜技术是用离子轰击靶材表面，把靶材的原子被击出的现象称为溅射，溅射产生的原子沉积在基板表面成膜称为溅射镀膜，溅射夹具是用来固定基板的装置，将基板进行限位，保证在溅射的过程中基板不会跑偏移位，所以经常需要一种溅射炉用防绕射夹具。

2、但是现有的防绕射夹具结构比较简单，导致部分溅射炉在溅射镀膜时不便于调节，溅射镀膜时存在有一定的局限性；另外部分夹具不便于对不同大小的基板进行夹持固定。因此，针对上述问题提出一种溅射炉用防绕射夹具。

技术实现思路

1、在本实施例中提供了一种溅射炉用防绕射夹具用于解决现有技术中的部分溅射炉在溅射镀膜时不便于调节的问题。

2、根据本申请的一个方面，提供了一种溅射炉用防绕射夹具，包括固定底板以及设置在固定底板一侧的升降调节机构、固定座、安装板、安装壳、螺纹滑杆和防绕射板，所述固定底板顶部固定连接固定座，所述升降调节机构包括第一螺纹杆，所述固定座顶部转动连接第一螺纹杆，所述第一螺纹杆表面螺纹连接调节杆，所述调节杆顶部固定连接安装板，所述安装板顶部固定连接安装壳，所述安装壳内部转动连接第二螺纹杆，所述第二螺纹杆左侧固定连接第二电机的输出端，所述第二电机固定连接在安装壳左侧，所述第二螺纹杆表面对称螺纹连接螺纹滑杆，所述螺纹滑杆底部与防绕射板固定连接。

3、进一步地，所述第一螺纹杆底部固定连接第一锥齿轮，所述第一锥齿轮一侧啮合连接第二锥齿轮，所述第二锥齿轮左侧固定连接第一电机的输出端，所述第一电机一侧固定连接固定座。

4、进一步地，所述固定座顶部固定连接限位杆，所述限位杆表面滑动连接限位块，所述限位块右侧固定连接调节杆。

5、进一步地，所述螺纹滑杆贯穿且滑动连接安装板，所述安装板内部开设有与螺纹滑杆相适配的限位槽。

6、进一步地，每个所述防绕射板顶部对称固定连接l型固定块，所述防绕射板顶部搭接有基板，所述l型固定块顶部螺纹连接第二固定螺栓，所述第二固定螺栓底部与基板顶部相抵接。

7、进一步地，所述固定底板内部螺纹连接第一固定螺栓，所述第一固定螺栓的数量为四个，且所述第一固定螺栓均匀的分布在固定底板内部四端。

8、通过本申请上述实施例，采用了升降调节机构，解决了部分溅射炉在溅射镀膜时不便于调节的问题，同时保证了装置的便于调节性。

技术特征：

1.一种溅射炉用防绕射夹具，其特征在于：包括固定底板(1)以及设置在固定底板(1)一侧的升降调节机构、固定座(3)、安装板(11)、安装壳(12)、螺纹滑杆(15)和防绕射板(17)，所述固定底板(1)顶部固定连接固定座(3)，所述升降调节机构包括第一螺纹杆(4)，所述固定座(3)顶部转动连接第一螺纹杆(4)，所述第一螺纹杆(4)表面螺纹连接调节杆(10)，所述调节杆(10)顶部固定连接安装板(11)，所述安装板(11)顶部固定连接安装壳(12)，所述安装壳(12)内部转动连接第二螺纹杆(14)，所述第二螺纹杆(14)左侧固定连接第二电机(13)的输出端，所述第二电机(13)固定连接在安装壳(12)左侧，所述第二螺纹杆(14)表面对称螺纹连接螺纹滑杆(15)，所述螺纹滑杆(15)底部与防绕射板(17)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种溅射炉用防绕射夹具，其特征在于：所述第一螺纹杆(4)底部固定连接第一锥齿轮(5)，所述第一锥齿轮(5)一侧啮合连接第二锥齿轮(6)，所述第二锥齿轮(6)左侧固定连接第一电机(7)的输出端，所述第一电机(7)一侧固定连接固定座(3)。

3.根据权利要求1所述的一种溅射炉用防绕射夹具，其特征在于：所述固定座(3)顶部固定连接限位杆(8)，所述限位杆(8)表面滑动连接限位块(9)，所述限位块(9)右侧固定连接调节杆(10)。

4.根据权利要求1所述的一种溅射炉用防绕射夹具，其特征在于：所述螺纹滑杆(15)贯穿且滑动连接安装板(11)，所述安装板(11)内部开设有与螺纹滑杆(15)相适配的限位槽(16)。

5.根据权利要求1所述的一种溅射炉用防绕射夹具，其特征在于：每个所述防绕射板(17)顶部对称固定连接l型固定块(18)，所述防绕射板(17)顶部搭接有基板(19)，所述l型固定块(18)顶部螺纹连接第二固定螺栓(20)，所述第二固定螺栓(20)底部与基板(19)顶部相抵接。

6.根据权利要求1所述的一种溅射炉用防绕射夹具，其特征在于：所述固定底板(1)内部螺纹连接第一固定螺栓(2)，所述第一固定螺栓(2)的数量为四个，且所述第一固定螺栓(2)均匀的分布在固定底板(1)内部四端。

技术总结
本申请公开了一种溅射炉用防绕射夹具，包括固定底板以及设置在固定底板一侧的升降调节机构、固定座、安装板、安装壳、螺纹滑杆和防绕射板，所述固定底板顶部固定连接固定座，所述升降调节机构包括第一螺纹杆当需要调节溅射镀膜时基板的高度时，第一电机的输出端带动与其固接的第二锥齿轮转动，第二锥齿轮带动一侧啮合的第一锥齿轮转动，第一锥齿轮带动顶部固接的第一螺纹杆转动，第一螺纹杆带动表面螺纹连接的调节杆上下移动，调节杆同时带动左侧固接的限位块在限位杆上下滑动，限位杆对调节杆进行限位，调节杆同时带动顶部固接的安装板上下移动，进而实现了带动基板上下移动的功能，进而实现了便于调节的功能。

技术研发人员：彭海
受保护的技术使用者：无锡元核芯微电子有限责任公司
技术研发日：20221027
技术公布日：2024/1/11