一种具有蜂巢结构的树脂研磨垫的制作方法

文档序号:33020566发布日期:2023-01-20 18:30阅读:31来源:国知局
一种具有蜂巢结构的树脂研磨垫的制作方法

1.本申请涉及研磨工具技术领域,尤其涉及一种具有蜂巢结构的树脂研磨垫。


背景技术:

2.树脂研磨垫主要用于磁盘基板、光学透镜、和半导体晶片等的精密器件的平坦化处理,打磨精密,不易损伤精密器件的表面,树脂研磨垫一般通过模压成型。
3.在实现本申请过程中,发明人发现该技术中至少存在如下问题,树脂研磨垫在进行研磨时,通过在研磨垫与待打磨的器件表面添加适量的研磨液,树脂研磨垫通过旋转配合研磨液中的磨粒作用,实现对精密器件表面的打磨,而现在的树脂研磨垫为了提高研磨质量,通常会设置微孔结构,通过微孔一方面可以存储研磨液,另一方面可以储存打磨下来的颗粒,但是微孔虽然具备一定的研磨效果,但是研磨液和打磨下来的颗粒积聚在微孔内部,一方面流通不便,一旦微孔内颗粒积聚过多,则易导致颗粒硬性刮擦精密器件表面,导致出现过度磨损,且微孔内清理不便,导致研磨垫使用寿命较短,因此,提出一种具有蜂巢结构的树脂研磨垫。


技术实现要素:

4.本申请的目的是为了解决现有技术中树脂研磨垫为了提高研磨质量,通常会设置微孔结构,通过微孔一方面可以存储研磨液,另一方面可以储存打磨下来的颗粒,但是微孔虽然具备一定的研磨效果,但是研磨液和打磨下来的颗粒积聚在微孔内部,一方面流通不便,一旦微孔内颗粒积聚过多,则易导致颗粒硬性刮擦精密器件表面,导致出现过度磨损,且微孔内清理不便,导致研磨垫使用寿命较短的问题,而提出的一种具有蜂巢结构的树脂研磨垫。
5.为了实现上述目的,本申请采用了如下技术方案:
6.一种具有蜂巢结构的树脂研磨垫,包括树脂垫,所述树脂垫的上端一体设有多个研磨柱,各个所述研磨柱均为正六边形设置,所述树脂垫的端面为圆形设置,且各个研磨柱均位于树脂垫的端面均匀分布设置,所述树脂垫的外侧壁固定套接有海绵套,所述海绵套的上端高于多个研磨柱的上端设置。
7.优选的,所述树脂垫的下端开设有安装槽,所述安装槽的槽底固定设有安装圆盘,所述安装圆盘的侧壁一体设置有多个卡接块,且安装槽的槽壁开设有多个与卡接块相匹配的卡接槽。
8.优选的,所述海绵套的侧壁下端固定套接有环形橡胶条。
9.优选的,各个所述研磨柱的下端均固定套接有加强凸起,所述加强凸起位于树脂垫的上端固定设置,各个所述加强凸起的外缘处侧壁均为弧形设置。
10.优选的,所述研磨柱的柱长位于2.0mm至3.0mm范围内设置,所述树脂垫的厚度位于4.0mm至6.0mm范围内设置。
11.优选的,所述海绵套的上端比研磨柱的上端高出距离位于0.4mm至0.8mm范围内设
置,所述海绵套的厚度位于2.0mm至2.5mm范围内设置。
12.与现有技术相比,本申请提供了一种具有蜂巢结构的树脂研磨垫,具备以下有益效果:
13.1、该具有蜂巢结构的树脂研磨垫,通过设有的树脂垫和多个研磨柱,通过研磨柱可以作为精密器件表面的研磨使用,通过多个研磨柱构成蜂巢结构,可以确保研磨时保持足够的稳定性,且通过多个研磨柱之间形成的可流通的通道,配合海绵套,既可以确保研磨液的存续,使研磨液可以得到充分使用,而且打磨下来的颗粒也有足够的空间可以移动,不易对器件表面造成过度损伤,后续清理也相对方便,间接提高研磨垫的使用寿命。
14.2、该具有蜂巢结构的树脂研磨垫,通过设有的安装槽、安装圆盘、卡接块和卡接槽的相互配合,通过安装圆盘、卡接块形成键槽的卡接结构,可以确保树脂垫与研磨驱动件之间的连接稳定性,受力效果好。
15.该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现,本申请可以确保研磨液的存续,使研磨液可以得到充分使用,而且打磨下来的颗粒也有足够的空间可以移动,不易对器件表面造成过度损伤,后续清理也相对方便,间接提高研磨垫的使用寿命,同时可以确保树脂垫与研磨驱动件之间的连接稳定性,受力效果好。
附图说明
16.图1为本申请提出的一种具有蜂巢结构的树脂研磨垫的结构示意图;
17.图2为图1的俯视结构放大图;
18.图3为图1的仰视结构示意图。
19.图中:1、树脂垫;2、研磨柱;3、海绵套;4、安装槽;5、安装圆盘;6、卡接块;7、卡接槽;8、环形橡胶条;9、加强凸起。
具体实施方式
20.下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。
21.参照图1-3,一种具有蜂巢结构的树脂研磨垫,包括树脂垫1,树脂垫1的上端一体设有多个研磨柱2,研磨柱2的柱长位于2.0mm至3.0mm范围内设置,树脂垫1的厚度位于4.0mm 至6.0mm范围内设置,各个研磨柱2均为正六边形设置,树脂垫1为pet树脂纤维含浸于聚氨酯树脂制成,研磨柱2与树脂垫1的材料相同,树脂垫1的端面为圆形设置,且各个研磨柱2均位于树脂垫1的端面均匀分布设置,树脂垫1的外侧壁固定套接有海绵套3,海绵套3的上端高于多个研磨柱2的上端设置,海绵套3的上端比研磨柱2的上端高出距离位于0.4mm至0.8mm范围内设置,海绵套3的厚度位于2.0mm至2.5mm范围内设置。
22.树脂垫1的下端开设有安装槽4,安装槽4的槽底固定设有安装圆盘5,安装圆盘5的侧壁一体设置有多个卡接块6,且安装槽4的槽壁开设有多个与卡接块6相匹配的卡接槽7,通过安装圆盘5配合卡接块6和安装槽4和卡接槽7,可以形成键槽的卡接结构,从而可以提高树脂垫1与研磨驱动件之间的连接稳定性,受力效果好。
23.海绵套3的侧壁下端固定套接有环形橡胶条8,通过此种设置,可以提高海绵套3与树脂垫1之间的连接稳定性。
24.各个研磨柱2的下端均固定套接有加强凸起9,加强凸起9位于树脂垫1的上端固定设置,各个加强凸起9的外缘处侧壁均为弧形设置,通过此种设置,可以对各个研磨柱2进行受力支撑,从而可以提高研磨柱2与树脂垫1之间的连接强度,防止研磨柱2研磨时过度变形。
25.本申请中,使用时,通过在树脂垫1上的多个研磨柱2,研磨柱2的柱端与精密器件的表面接触,在研磨前,将研磨液置于树脂垫1与器件表面之间,然后通过树脂垫1旋转,此时可以带动多个研磨柱2转动,从而可以对器件表面进行研磨处理,由于海绵套3在树脂垫1的外缘处对研磨液的阻挡作用,故配合多个研磨柱2之间形成的流动通道,可以积蓄研磨液,且研磨液以及打磨去除的颗粒可以在流动通道内部随意流动,可动空间大,故确保对研磨液存续效果的同时,可以防止颗粒积聚对器件表面造成磨损,通过研磨液存续可以确保充分的使用研磨液。
26.以上所述,仅为本申请较佳的具体实施方式,但本申请的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内,根据本申请的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本申请的保护范围之内。


技术特征:
1.一种具有蜂巢结构的树脂研磨垫,包括树脂垫(1),其特征在于,所述树脂垫(1)的上端一体设有多个研磨柱(2),各个所述研磨柱(2)均为正六边形设置,所述树脂垫(1)的端面为圆形设置,且各个研磨柱(2)均位于树脂垫(1)的端面均匀分布设置,所述树脂垫(1)的外侧壁固定套接有海绵套(3),所述海绵套(3)的上端高于多个研磨柱(2)的上端设置。2.根据权利要求1所述的一种具有蜂巢结构的树脂研磨垫,其特征在于,所述树脂垫(1)的下端开设有安装槽(4),所述安装槽(4)的槽底固定设有安装圆盘(5),所述安装圆盘(5)的侧壁一体设置有多个卡接块(6),且安装槽(4)的槽壁开设有多个与卡接块(6)相匹配的卡接槽(7)。3.根据权利要求1所述的一种具有蜂巢结构的树脂研磨垫,其特征在于,所述海绵套(3)的侧壁下端固定套接有环形橡胶条(8)。4.根据权利要求1所述的一种具有蜂巢结构的树脂研磨垫,其特征在于,各个所述研磨柱(2)的下端均固定套接有加强凸起(9),所述加强凸起(9)位于树脂垫(1)的上端固定设置,各个所述加强凸起(9)的外缘处侧壁均为弧形设置。5.根据权利要求1所述的一种具有蜂巢结构的树脂研磨垫,其特征在于,所述研磨柱(2)的柱长位于2.0mm至3.0mm范围内设置,所述树脂垫(1)的厚度位于4.0mm至6.0mm范围内设置。6.根据权利要求1所述的一种具有蜂巢结构的树脂研磨垫,其特征在于,所述海绵套(3)的上端比研磨柱(2)的上端高出距离位于0.4mm至0.8mm范围内设置,所述海绵套(3)的厚度位于2.0mm至2.5mm范围内设置。

技术总结
本申请涉及研磨工具技术领域,且公开了一种具有蜂巢结构的树脂研磨垫,包括树脂垫,所述树脂垫的上端一体设有多个研磨柱,各个所述研磨柱均为正六边形设置,所述树脂垫的端面为圆形设置,且各个研磨柱均位于树脂垫的端面均匀分布设置,所述树脂垫的外侧壁固定套接有海绵套,所述海绵套的上端高于多个研磨柱的上端设置。本申请可以确保研磨液的存续,使研磨液可以得到充分使用,而且打磨下来的颗粒也有足够的空间可以移动,不易对器件表面造成过度损伤,后续清理也相对方便,间接提高研磨垫的使用寿命,同时可以确保树脂垫与研磨驱动件之间的连接稳定性,受力效果好。受力效果好。受力效果好。


技术研发人员:陈斌 李浩杰
受保护的技术使用者:深圳中机新材料有限公司
技术研发日:2022.10.28
技术公布日:2023/1/19
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