一种用于玻璃基板真空蒸镀冷却板的制作方法

本技术涉及玻璃基板蒸镀，尤其涉及一种用于玻璃基板真空蒸镀冷却板。

背景技术：

1、中国专利文献cn 107740048 a，公开/公告日：2018年02月27日, 公开一种冷却板和蒸镀装置，包括冷却板主体，所述冷却板主体包括具有冷却作用的冷却面，所述冷却面上设置有凸起。解决了在冷却板和玻璃基板对位叠加时，冷却板和玻璃基板之间会产生静电吸附力，从而导致冷却板容易划伤玻璃基板的问题。其不足在于：在冷却面的一侧设置半球凸起，加工难度较大。

2、因此，业内对此作了进一步的改进，例如中国专利文献cn 213113469 u，公开/公告日：2021年05月04日，公开了一种用于蒸镀机的对位系统玻璃冷却机构，包括承载架、抬片侧板、抬片底板和冷却板，所述承载架的内部安装有冷却板，且冷却板内部的承载架上固定有磁板，所述冷却板的内部安装有铝合金散热管，其特点在于，通过铝合金散热管为冷却板降温，其不足在于：其铝合金散热管是一端进水，一端出水，靠近进水一侧温度较低，靠近出水一侧温度较高，造成冷却板上的温度不均匀，并且在铝合金散热管进行折弯时，其折弯处易出现变形，导致冷却水流的内径变小，影响冷却效果。

技术实现思路

1、本实用新型要解决的技术问题是：解决上述背景技术中存在的问题，提供一种用于玻璃基板真空蒸镀冷却板，通过两个回形散热通道进行散热，冷却板温度更加均衡，散热效果好。另外采用底板和盖板密封压合流道板的结构形成散热冷却通道，转折处内径不会变小，冷却水流均匀，进一步提升了冷却效果。

2、为了实现上述的技术特征，本实用新型的目的是这样实现的：一种用于玻璃基板真空蒸镀冷却板，包括底板、盖板以及流道板，所述流道板位于底板和盖板之间，多个螺钉穿过盖板和流道板后与底板连接，使底板和盖板密封压合在和流道板两侧，所述底板的两侧分别设有进液口和回液口，进液口和回液口分别与流道板内的两个回形散热通道连通，回形散热通道上设有流量阀。

3、所述底板上设有用于连接螺钉的螺纹孔，以及位于底板上侧面的进液导流孔和出液导流孔，进液导流孔和出液导流孔分别与底板侧面的进液口和回液口连通。

4、所述流道板设有第一回形散热通道和第二回形散热通道，第一回形散热通道和第二回形散热通道的进液通道分别与底板的进液导流孔连通，出液通道分别与底板的出液导流孔连通，用于冷却的冷却液能够从进液通道流入回形散热通道的中部，再环绕向外流动，从出液通道流出；所述流道板上还设有用于螺钉穿过定位孔。

5、所述流量阀包括设置在盖板上的上导孔、底板上的下导孔，以及阀芯，所述上导孔内设有第一环槽，第一环槽内安装有第一密封圈，所述下导孔内设有第二环槽，第二环槽内安装有第二密封圈，下导孔的下侧的还设有调节内螺纹，所述阀芯包括上导柱，上导柱的一侧设有下导柱，上导柱与下导柱之间设有颈部，上导柱另一侧设有调节孔，下导柱远离颈部的一侧设有螺杆，阀芯滑动安装在上导孔和下导孔内，上导柱与第一密封圈形成水密封，下导柱与第二密封圈形成水密封，螺杆与调节内螺纹配合，所述颈部的直径小于上导柱和下导柱的直径，下导柱的长度小于下导孔的深度。

6、所述底板和盖板在分别位于流道板的一侧，在安装螺钉的外侧设有密封环槽，密封环槽内设有密封圈。

7、本实用新型有如下有益效果：

8、1、通过两个回形散热通道进行散热，冷却板温度更加均衡，散热效果好。采用底板和盖板密封压合流道板的结构形成散热冷却通道，转折处内径不会变小，冷却水流均匀，冷却效果好。两个进液口和回液口分别位于底板的两侧，从两个方向通入冷却水，进一步提升了冷却效果。分别在回形散热通道上设有流量阀，分别调节两个回形散热通内的冷却水流量，使冷却板温度均衡。

9、2、冷却水从进液通道流入回形散热通道的中部，再环绕向外流动，从出液通道流出，提高冷却板中部的冷却效果。

10、3、安装螺钉的外侧设有密封环槽，密封环槽内设有密封圈，防止冷却水从安装螺钉处渗漏。

技术特征：

1.一种用于玻璃基板真空蒸镀冷却板，其特征在于：包括底板（1）、盖板（2）以及流道板（3），所述流道板（3）位于底板（1）和盖板（2）之间，多个螺钉（4）穿过盖板（2）和流道板（3）后与底板（1）连接，使底板（1）和盖板（2）密封压合在和流道板（3）两侧，所述底板（1）的两侧分别设有进液口（11）和回液口（12），进液口（11）和回液口（12）分别与流道板（3）内的两个回形散热通道连通，回形散热通道上设有流量阀（5）。

2.根据权利要求1所述的一种用于玻璃基板真空蒸镀冷却板，其特征在于：所述底板（1）上设有用于连接螺钉（4）的螺纹孔（13），以及位于底板（1）上侧面的进液导流孔（15）和出液导流孔（16），进液导流孔（15）和出液导流孔（16）分别与底板（1）侧面的进液口（11）和回液口（12）连通。

3.根据权利要求1所述的一种用于玻璃基板真空蒸镀冷却板，其特征在于：所述流道板（3）设有第一回形散热通道（31a）和第二回形散热通道（31b），第一回形散热通道（31a）和第二回形散热通道（31b）的进液通道（31c）分别与底板（1）的进液导流孔（15）连通，出液通道（31d）分别与底板（1）的出液导流孔（16）连通，用于冷却的冷却液能够从进液通道（31c）流入回形散热通道的中部，再环绕向外流动，从出液通道（31d）流出；所述流道板（3）上还设有用于螺钉（4）穿过定位孔（32）。

4.根据权利要求1所述的一种用于玻璃基板真空蒸镀冷却板，其特征在于：所述流量阀（5）包括设置在盖板（2）上的上导孔（51）、底板（1）上的下导孔（54），以及阀芯（58），所述上导孔（51）内设有第一环槽（52），第一环槽（52）内安装有第一密封圈（53），所述下导孔（54）内设有第二环槽（55），第二环槽（55）内安装有第二密封圈（56），下导孔（54）的下侧的还设有调节内螺纹（57），所述阀芯（58）包括上导柱（581），上导柱（581）的一侧设有下导柱（584），上导柱（581）与下导柱（584）之间设有颈部（583），上导柱（581）另一侧设有调节孔（582），下导柱（584）远离颈部（583）的一侧设有螺杆（585），阀芯（58）滑动安装在上导孔（51）和下导孔（54）内，上导柱（581）与第一密封圈（53）形成水密封，下导柱（584）与第二密封圈（56）形成水密封，螺杆（585）与调节内螺纹（57）配合，所述颈部（583）的直径小于上导柱（581）和下导柱（584）的直径，下导柱（584）的长度小于下导孔（54）的深度。

5.根据权利要求1所述的一种用于玻璃基板真空蒸镀冷却板，其特征在于：所述底板（1）和盖板（2）在分别位于流道板（3）的一侧，在安装螺钉（4）的外侧设有密封环槽（14），密封环槽（14）内设有密封圈。

技术总结
一种用于玻璃基板真空蒸镀冷却板，包括底板、盖板以及流道板，所述流道板位于底板和盖板之间，多个螺钉穿过盖板和流道板后与底板连接，使底板和盖板密封压合在和流道板两侧，底板的两侧分别设有进液口和回液口，进液口和回液口分别与流道板内的两个回形散热通道连通，回形散热通道上设有流量阀。通过两个回形散热通道进行散热，冷却板温度更加均衡，散热效果好。采用底板和盖板密封压合流道板的结构形成散热冷却通道，转折处内径不会变小，冷却水流均匀，进一步提升了冷却效果。两个进液口和回液口分别位于底板的两侧，从两个方向通入冷却水，冷却效果更好。分别在回形散热通道上设有流量阀，分别调节两个回形散热通内的冷却水流量，使冷却板温度均衡。

技术研发人员：郑滔,孙宜华,周林灿,李正华
受保护的技术使用者：湖北三峡新型建材股份有限公司
技术研发日：20221111
技术公布日：2024/1/11