一种镀膜机的冷却装置的制作方法

文档序号:34017914发布日期:2023-04-30 01:04阅读:49来源:国知局
一种镀膜机的冷却装置的制作方法

本技术涉及一种冷却装置,具体涉及一种镀膜机的冷却装置。


背景技术:

1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,包括真空离子蒸发、磁控溅射、mbe分子束外延及pld激光溅射沉积等多种种类,真空镀膜机在工作的时候会产生大量的热量,需要及时有效的进行冷却,以确保其正常工作,目前通常会使用到专用的冷却装置来对镀膜机内部进行快速冷却处理。现有的用于真空镀膜机的冷却装置大多是采用直接向镀膜机表面喷水的方式来进行冷却处理,但是这样做不仅浪费水源,还容易造成镀膜机内进入水蒸气,可能会损坏镀膜机内部器件,同时镀膜机内部热量不能很好的被吸收冷却,冷却效果不佳。


技术实现思路

1、本公开的主要目的在于提供了一种镀膜机的冷却装置,以有效解决发明人在上述背景技术提出的问题。

2、为达成上述目的,本实用新型采用的技术方案如下:

3、一种镀膜机的冷却装置,包括镀膜机机体和工作组件,所述工作组件安装在镀膜机机体内,所述镀膜机机体的一侧固定安装有拓展舱,所述拓展舱内安装有冷却箱,所述冷却箱上连接有循环管,所述循环管呈螺旋形缠绕在工作组件的外壁,所述循环管上设有弯曲段,所述弯曲段远离工作组件,所述镀膜机机体的上方开设有散热口。

4、优选的,所述镀膜机机体内安装有散热风扇,各所述散热风扇分别位于各弯曲段的下方。

5、优选的,所述冷却箱的底部连接有抽吸筒,所述循环管的两端分别连接冷却箱和抽吸筒,所述拓展舱内安装有循环液送组件,所述循环液送组件与抽吸筒相配合。

6、优选的,所述循环液送组件包括电动伸缩杆、活动塞和往复驱动杆,所述活动塞滑动安装在抽吸筒内,所述活动塞的顶部固定连接有往复驱动杆,所述往复驱动杆的顶端活动贯穿抽吸筒并与电动伸缩杆的输出端固定连接,所述电动伸缩杆固定安装在拓展舱的内底壁。

7、优选的,所述循环管与抽吸筒的连接处安装有第二单向阀,所述抽吸筒与冷却箱的连接处安装有第一单向阀,所述第一单向阀只允许流体进入抽吸筒,所述第二单向阀只允许流体通过循环管排出。

8、优选的,所述镀膜机机体的外侧安装有冷凝箱,所述冷凝箱上连接有蛇形冷凝管,所述蛇形冷凝管位于冷却箱内。

9、优选的,所述冷却箱上安装有驱热翅片,所述拓展舱的舱壁上安装有外通的对流风扇,所述对流风扇朝向驱热翅片。

10、鉴于此,与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

11、(一)、本申请中,循环管内螺旋缠绕在工作组件表面,使工作组件工作产生的高温被循环管其内的冷却水吸收,以降低工作组件的温度,循环管上设置的弯曲段并远离工作组件,使部分热量能够挥散,并适配散热风扇,吹向循环管上的弯曲段,以对循环管进行起初的降温,提升冷却效益。

12、(二)、本申请中,冷却过程中,电动伸缩杆带动往复驱动杆往复移动,使活动塞在抽吸筒内往复滑动,继而形成不断抽吸动作,使冷却箱和循环管内的冷却水进行交换流动,以使温度高的冷却水与温度较低的冷却水混合,对冷却水的降温进行提速,并有利于工作组件的冷却。



技术特征:

1.一种镀膜机的冷却装置,其特征在于:包括镀膜机机体(1)和工作组件(2),所述工作组件(2)安装在镀膜机机体(1)内,所述镀膜机机体(1)的一侧固定安装有拓展舱(1a),所述拓展舱(1a)内安装有冷却箱(3),所述冷却箱(3)上连接有循环管(4),所述循环管(4)呈螺旋形缠绕在工作组件(2)的外壁,所述循环管(4)上设有弯曲段(41),所述弯曲段(41)远离工作组件(2),所述镀膜机机体(1)的上方开设有散热口(1b)。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜机的冷却装置,其特征在于:所述镀膜机机体(1)内安装有散热风扇(9),各所述散热风扇(9)分别位于各弯曲段(41)的下方。

3.根据权利要求1所述的一种镀膜机的冷却装置,其特征在于:所述冷却箱(3)的底部连接有抽吸筒(5),所述循环管(4)的两端分别连接冷却箱(3)和抽吸筒(5),所述拓展舱(1a)内安装有循环液送组件,所述循环液送组件与抽吸筒(5)相配合。

4.根据权利要求3所述的一种镀膜机的冷却装置,其特征在于:所述循环液送组件包括电动伸缩杆(6)、活动塞(7)和往复驱动杆(8),所述活动塞(7)滑动安装在抽吸筒(5)内,所述活动塞(7)的顶部固定连接有往复驱动杆(8),所述往复驱动杆(8)的顶端活动贯穿抽吸筒(5)并与电动伸缩杆(6)的输出端固定连接,所述电动伸缩杆(6)固定安装在拓展舱(1a)的内底壁。

5.根据权利要求4所述的一种镀膜机的冷却装置,其特征在于:所述循环管(4)与抽吸筒(5)的连接处安装有第二单向阀(15),所述抽吸筒(5)与冷却箱(3)的连接处安装有第一单向阀(14),所述第一单向阀(14)只允许流体进入抽吸筒(5),所述第二单向阀(15)只允许流体通过循环管(4)排出。

6.根据权利要求1所述的一种镀膜机的冷却装置,其特征在于:所述镀膜机机体(1)的外侧安装有冷凝箱(12),所述冷凝箱(12)上连接有蛇形冷凝管(13),所述蛇形冷凝管(13)位于冷却箱(3)内。

7.根据权利要求1所述的一种镀膜机的冷却装置,其特征在于:所述冷却箱(3)上安装有驱热翅片(10),所述拓展舱(1a)的舱壁上安装有外通的对流风扇(11),所述对流风扇(11)朝向驱热翅片(10)。


技术总结
本申请属于冷却装置技术领域,尤其是涉及一种镀膜机的冷却装置,包括镀膜机机体和工作组件,所述工作组件安装在镀膜机机体内,所述镀膜机机体的一侧固定安装有拓展舱,所述拓展舱内安装有冷却箱,所述冷却箱上连接有循环管,所述循环管呈螺旋形缠绕在工作组件的外壁,所述循环管上设有弯曲段,所述弯曲段远离工作组件,所述镀膜机机体的上方开设有散热口。本技术中,循环管内螺旋缠绕在工作组件表面,使工作组件工作产生的高温被循环管其内的冷却水吸收,以降低工作组件的温度,循环管上设置的弯曲段并远离工作组件,使部分热量能够挥散,并适配散热风扇,吹向循环管上的弯曲段,以对循环管进行起初的降温,提升冷却效益。

技术研发人员:孙连仲
受保护的技术使用者:沈阳美誉科技有限公司
技术研发日:20221118
技术公布日:2024/1/11
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