一种光纤表面金属化的镀膜装置的制作方法

本技术涉及光纤镀膜，尤其涉及一种光纤表面金属化的镀膜装置。

背景技术：

1、将光纤或其他波导材料实现镀金金属化，从而实现光器件的全金属化气密封装，具有重要意义。它可以替代目前普遍使用的高分子材料粘接方案，解决高分子材料易老化、蠕变、不耐高温等问题，在一些可靠性和稳定性要求很高的领域，如干线高速通信、海底通信、军事国防、航空航天等，有着非常广泛的应用空间和前景。

2、近年来，磁控溅射镀膜在工业化镀膜生产中的应用日益广泛，在光纤镀膜领域也有重要的应用，其是将靶材溅射出来的靶原子沉积在光纤表面，在光纤表面形成一层薄膜。现有的磁控溅射镀膜装置中，将待镀膜工件放置在转动的支架上进行镀膜，支架的一侧设置有靶材，靶材溅射出的靶原子在工件表面沉积，对于光纤镀膜而言，其难以在光纤的外表面上形成均匀的镀层，影响光纤镀膜效果，使得光纤金属化不达标。

技术实现思路

1、为了解决上述问题，本实用新型提供了一种光纤表面金属化的镀膜装置，包括镀膜腔体，所述镀膜腔体内设置有用于布设待镀膜光纤的光纤连接件，所述光纤连接件可沿其中心轴转动，所述待镀膜光纤与所述光纤连接件的中心轴平行设置，所述镀膜腔体内设置有至少一个位于所述光纤连接件外侧的外靶材，所述镀膜腔体内设置有至少一个位于所述光纤连接件内侧的内靶材。

2、进一步地，所述外靶材和所述内靶材与所述光纤连接件之间设有间隙，所述待镀膜光纤位于所述内靶材和所述外靶材之间。

3、进一步地，所述镀膜腔体内沿外圆周均匀设置有三个所述外靶材，所述镀膜腔体内沿内圆周均匀设置有三个所述内靶材。

4、进一步地，所述内靶材和所述外靶材的材质相同，至少一个所述外靶材为金靶，或者至少一个所述外靶材为镍靶，或者至少一个所述外靶材为钛靶。

5、进一步地，各所述内靶材和各所述外靶材交错设置，所述内靶材的内靶面朝向相邻两个所述外靶材之间的间隔区间设置。

6、进一步地，所述内靶材和相邻的外靶材之间的夹角为60°。

7、进一步地，所述镀膜腔体上还设置有至少一个观察窗。

8、进一步地，所述待镀膜光纤可转动的设置在所述光纤连接件上。

9、本实用新型由于采用以上技术方案，使之与现有技术相比，具有以下有益效果：

10、本实用新型提供的光纤表面金属化的镀膜装置，采用磁控溅射得到的镀层更加细腻，光泽度好，且由于使用高能粒子进行轰击，膜层与光纤包层的结合力更强，可以在多次镀膜操作中设置镀膜参数并记录，从而得到一致、稳定的膜层，工艺重复性好，镀膜方式可控性高；待镀膜光纤设置在可转动的光纤连接件上，待镀膜光纤沿光纤连接件的中心轴设置，且位于外靶材和内靶材之间，镀膜过程中，同时开启相同材质的外靶材和内靶材，可在待镀膜光纤表面形成均匀的镀层，提高镀膜效率；在镀膜腔体上设置不同材质的靶材，可以在光纤表面形成不同的镀层，实用性强。

技术特征：

1.一种光纤表面金属化的镀膜装置，其特征在于，包括镀膜腔体，所述镀膜腔体内设置有用于布设待镀膜光纤的光纤连接件，所述光纤连接件可沿其中心轴转动，所述待镀膜光纤与所述光纤连接件的中心轴平行设置，所述镀膜腔体内设置有至少一个位于所述光纤连接件外侧的外靶材，所述镀膜腔体内设置有至少一个位于所述光纤连接件内侧的内靶材。

2.根据权利要求1所述的光纤表面金属化的镀膜装置，其特征在于，所述外靶材和所述内靶材与所述光纤连接件之间设有间隙，所述待镀膜光纤位于所述内靶材和所述外靶材之间。

3.根据权利要求1所述的光纤表面金属化的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜腔体内沿外圆周均匀设置有三个所述外靶材，所述镀膜腔体内沿内圆周均匀设置有三个所述内靶材。

4.根据权利要求3所述的光纤表面金属化的镀膜装置，其特征在于，所述内靶材和所述外靶材的材质相同，至少一个所述外靶材为金靶，或者至少一个所述外靶材为镍靶，或者至少一个所述外靶材为钛靶。

5.根据权利要求3所述的光纤表面金属化的镀膜装置，其特征在于，各所述内靶材和各所述外靶材交错设置，所述内靶材的内靶面朝向相邻两个所述外靶材之间的间隔区间设置。

6.根据权利要求5所述的光纤表面金属化的镀膜装置，其特征在于，所述内靶材和相邻的外靶材之间的夹角为60°。

7.根据权利要求1所述的光纤表面金属化的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜腔体上还设置有至少一个观察窗。

8.根据权利要求1所述的光纤表面金属化的镀膜装置，其特征在于，所述待镀膜光纤可转动的设置在所述光纤连接件上。

技术总结
本技术涉及光纤镀膜技术领域，尤其涉及一种光纤表面金属化的镀膜装置；该镀膜装置包括镀膜腔体，镀膜腔体内设置有用于布设待镀膜光纤的光纤连接件，光纤连接件可沿其中心轴转动，待镀膜光纤与光纤连接件的中心轴平行设置，镀膜腔体内设置有至少一个位于光纤连接件外侧的外靶材，镀膜腔体内设置有至少一个位于光纤连接件内侧的内靶材。本技术中待镀膜光纤设置在可转动的光纤连接件上，待镀膜光纤沿光纤连接件的中心轴设置，且位于外靶材和内靶材之间，镀膜过程中，同时开启相同材质的外靶材和内靶材，可在待镀膜光纤表面形成均匀的镀层，提高镀膜效率；在镀膜腔体上设置不同材质的靶材，可以在光纤表面形成不同的镀层，实用性强。

技术研发人员：贾少伟
受保护的技术使用者：武汉楚星光纤应用技术有限公司
技术研发日：20221209
技术公布日：2024/1/12