光学镀膜基片装载装置的制作方法

1.本实用新型属镀膜领域，具体涉及一种镀膜夹具。


背景技术：

2.本实用新型适用于光学镀膜基片上表面镀膜的镀膜设备中。光学镀膜基片装载卡具是镀膜机镀制光学薄膜的一个必要装置，起到装载并保护镀膜基片的作用。被镀膜表面到溅射源的距离直接影响最终的光学性能。当镀膜源在下、镀膜基片在上时，镀膜面为下表面，一般采用承载式装载夹具，承载台的加工精度决定了镀膜源到镀膜基片的距离；当镀膜源在上、镀膜基片在下时，镀膜面为上表面，若仍然使用承载式夹具，镀膜面的高度除了受承载台加工精度影响，还受镀膜基片厚度误差影响。
3.本实用新型旨在消除镀膜基片加工误差，提升光学元件光谱一致性。


技术实现要素：

4.为解决现有技术中存在问题，本实用新型提供一种具有上压式可变高度的弹性调节机构，消除被镀膜基片厚度误差。
5.为解决上述技术问题，本实用新型提供一种光学镀膜基片装载装置，包括载片盘及底托；所述载片盘固定设于底托之上，两者由数个固定螺钉连接；在所述底托侧壁设有与安固定螺钉螺纹相通的通气孔。
6.进一步地，本实用新型所述底托内壁为倒锥形结构，上大底小，侧壁斜面上分布数个支撑柱，用于向上支撑被镀膜基片；所述基片支撑柱顶部与载片盘上的载片台水平。
7.进一步地，本实用新型底托沿圆周方向设有通孔；在所述载片盘上对应通孔位置设有载片盘与底托配合螺纹孔；在所述基片压钉扣槽及通孔处设有压钉；压钉固定于基片压钉扣槽中。
8.进一步地，本实用新型基片支撑柱内设有弹性调节机构；所述弹性调节机构包括顶针、弹性元件及螺纹钉，三者在基片支撑柱内由上向下分布；所述顶针与镀膜基片直接接触，在弹性元件的作用下根据镀膜基片的厚度自由上下移动；镀膜基片位于顶针与压钉之间。
9.进一步地，本实用新型在所述底托上设有与压钉相通的压钉通孔。
10.本实用新型在通用的被镀膜基片装卡方式的基础上，提出了一种新的装卡方式，解决了因被镀膜基片因加工精度误差，影响产品光学性能的问题。本实用新型具有上压式可变高度的弹性调节机构，消除被镀膜基片厚度误差，可实现光学薄膜产品光谱均匀性、一致性。
附图说明
11.下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明。本实用新型的保护范围不仅局限于下列内容的表述。
12.图1为本实用新型的整体结构示意图；
13.图2为本实用新型的前视分体结构示意图；
14.图3为本实用新型的底托结构示意图；
15.图4为本实用新型的载片盘结构示意图。
16.图中：1、载片盘；2、底托；3、顶针；4、弹性元件；5、螺纹钉；6、基片支撑柱；7、通孔；8、通气孔；9、压钉通孔；10、基片压钉扣槽；11、载片台；12、压钉；13、载片盘与底托配合螺纹孔；14、固定螺钉。
具体实施方式
17.如图所示，一种光学镀膜基片装载装置，包括载片盘1及底托2；所述载片盘1固定设于底托2之上；在所述底托2内壁周边周向设有基片支撑柱6；基片支撑柱6顶部与载片盘1上的载片台11保持水平；
18.在所述基片支撑柱6内设有弹性调节机构；所述弹性调节机构包括顶针3、弹性元件4及螺纹钉5；所述顶针3、弹性元件4及螺纹钉5依次配合置入基片支撑柱6内；在所述底托2的顶部设有通孔7；在所述载片盘1上对应通孔7位置设有基片压钉扣槽10；在所述基片压钉扣槽10及通孔7处设有压钉12。本实用新型在所述底托2的侧壁设有通气孔8。
19.本实用新型载片盘1与底托2通过载片盘与底托配合螺纹孔13采用螺钉的方式进行配合，基片支撑柱6加工于底托2上，其顶部与载片台11保持水平，顶针3、弹性元件4、螺纹钉5依次配合放入基片支撑柱6内部，底托2开通气孔8与压钉通孔9，加速抽真空时螺纹内空气排空，压钉12与基片压钉扣槽10配合，用于压平基片，通过弹性调节机构使基片上表面与载片盘1上表面平齐，基片压钉扣槽10对应通孔7，同样加速抽真空时空气排空。
20.这种装载装置应用在光学镀膜基片镀膜时，可以保证所有基片镀膜表面距镀膜源距离只受镀膜机夹具加工精度影响，保证光学镀膜产品光谱均匀性、一致性。同时装载装置弹性结构简单有效，易于制造。
21.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
22.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
23.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种光学镀膜基片装载装置，其特征在于，包括载片盘（1）及底托（2）；所述载片盘（1）固定设于底托（2）之上，两者由数个固定螺钉（14）连接；在所述底托（2）侧壁设有与固定螺钉（14）相通的通气孔（8）。2.根据权利要求1所述的一种光学镀膜基片装载装置，其特征在于：所述底托（2）内壁为倒锥形结构，上大底小，侧壁斜面上分布数个支撑柱（6），用于向上支撑被镀膜基片；所述基片支撑柱（6）顶部与载片盘（1）上的载片台（11）水平。3.根据权利要求2所述的一种光学镀膜基片装载装置，其特征在于：底托（2）沿圆周方向设有通孔（7）；在所述载片盘（1）上对应通孔（7）位置设有载片盘与底托配合螺纹孔（13）；在所述基片压钉扣槽（10）及通孔（7）处设有压钉（12）；压钉（12）固定于基片压钉扣槽（10）中。4.根据权利要求3所述的一种光学镀膜基片装载装置，其特征在于：基片支撑柱（6）内设有弹性调节机构；所述弹性调节机构包括顶针（3）、弹性元件（4）及螺纹钉（5），三者在基片支撑柱（6）内由上向下分布；所述顶针（3）与镀膜基片直接接触，在弹性元件（4）的作用下根据镀膜基片的厚度自由上下移动；镀膜基片位于顶针（3）与压钉（12）之间。5.根据权利要求4所述的一种光学镀膜基片装载装置，其特征在于：在所述底托（2）上设有与压钉（12）相通的压钉通孔（9）。

技术总结
本实用新型涉及一种镀膜夹具。所述镀膜夹具包括：载片盘及底托；所述载片盘固定设于底托之上；在所述底托设有基片支撑柱；在基片支撑柱内设有弹性调节机构；在所述载片盘与底托支撑柱对应位置设有压钉；压钉与支撑柱中间形成安装腔以便容纳镀膜基片。本实用新型通过可变高度的弹性调节机构，实现镀膜基片上表面紧贴压钉，高度固定，消除被镀膜基片厚度加工精度带来的高度误差，可实现光学薄膜产品光谱均匀性、一致性。一致性。一致性。


技术研发人员：董明 王瑞生 张勇喜 黄宏宇 陈一凡 刘博文
受保护的技术使用者：沈阳仪表科学研究院有限公司
技术研发日：2022.12.13
技术公布日：2023/3/28