抽拉式转动机构及镀膜装置的制作方法

本技术涉及镀膜设备领域，尤其是抽拉式转动机构及镀膜装置。

背景技术：

1、在镀膜装置中，通常会设置转动机构来驱动工件架进行多级转动以实现均匀的沉积。

2、现有的转动机构中，如授权公告号为cn211693391u的中国实用新型专利，其揭示了电机的输出端通过联轴器安装有转轴，转轴的顶端延伸至壳体的内部并与一级太阳齿轮的底端固定连接。

3、这种结构中，电机与转动机构是固定连接，由于电机与转动机构无法分离，这就造成所述转动机构无法由镀膜装置的真空室内移动到真空室入口处以进行上下料，存在不便。

技术实现思路

1、本实用新型的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题，提供一种抽拉式转动机构及镀膜装置。

2、本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

3、抽拉式转动机构，包括具有通孔的底板及转动设置在底板上的顶板，所述顶板上设置有推拉离合机构，所述推拉离合机构包括水平延伸的推拉杆，所述推拉杆连接移动框并可带动所述移动框沿其延伸方向往复移动，所述移动框上设置有至少两个斜坡，每个所述斜坡上可沿其移动地设置有升降驱动轮，所述升降驱动轮的轴线与所述推拉杆的推拉方向垂直，多个所述升降驱动轮设置在一转接块上，所述转接块上设置有连接轴，所述连接轴穿过所述底板且连接可穿过所述底板上的通孔的传扭转接件。

4、优选的，所述底板的下方设置有滚轮。

5、优选的，所述斜坡的上端衔接上支撑平面和/或所述斜坡的下端衔接下支撑平面。

6、优选的，所述移动框滑动设置在导向轨上，所述导向轨的延伸方向与所述移动框的移动方向一致。

7、优选的，所述移动框为矩形框，所述转接块位于所述矩形框内，所述斜坡是所述矩形框的两个相对端的侧板上开设的斜孔的底面；所述导向轨为两个且分布在所述转接块的相对的两端外。

8、优选的，所述移动框上设置有一组移动轮，所述移动轮的轴线与所述升降驱动轮的轴线平行。

9、优选的，所述推拉杆滑动设置在导向座上，所述推拉杆的近端设置有与所述推拉杆垂直的操作杆。

10、优选的，所述移动框设置于防护罩内。

11、优选的，所述顶板上设置有一圈固定架，所述固定架上可自转地设置有轴线与所述顶板轴线平行的转轴，所述转轴上套接一主动齿轮，一组主动齿轮与一固定齿轮啮合，所述固定齿轮位于所述底板和顶板之间且与所述顶板共轴，所述顶板上还设置有遮挡所述顶板和底板之间间隙的侧挡。

12、镀膜装置，包括如上任一所述的抽拉式转动机构。

13、本实用新型技术方案的优点主要体现在：

14、本实用新型使转动机构通过设置推拉离合机构来连接外部的驱动源，能够在需要上下料时，使推拉离合机构与驱动源分离，同时可以通过推拉离合机构将整个转动机构拉倒真空室进入口处，从而方便实现上下料，推拉离合机构的结构简单，稳定性好。

15、本实用新型在斜坡上下分别设置平面，可以有效地保证升降驱动轮移动到平面上后保持位置稳定，避免因重力导致升降驱动轮沿斜坡自动下移，更便于使用。

16、本实用新型使移动框设置有滚轮，能够使移动框的移动更加顺畅，使得移动框的推拉更容易，对人工操作更友好。

17、本实用新型使移动框连接导向轴及推拉杆连接导向座，可以有效地对移动框的移动方向进行限定，保证离合的稳定性。同时，增加操作杆，更便于人手操作，设计更人性化。

18、本实用新型的转动机构采用侧挡实现底板和顶板之间的间隙遮挡，能够尽可能避免等离子体进入到移动机构内造成过多的能耗，有利于降低镀膜损耗。

技术特征：

1.抽拉式转动机构，包括具有通孔的底板及转动设置在底板上的顶板，其特征在于：所述顶板上设置有推拉离合机构，所述推拉离合机构包括水平延伸的推拉杆，所述推拉杆连接移动框并可带动所述移动框沿其延伸方向往复移动，所述移动框上设置有至少两个斜坡，每个所述斜坡上可沿其移动地设置有升降驱动轮，所述升降驱动轮的轴线与所述推拉杆的推拉方向垂直，多个所述升降驱动轮设置在一转接块上，所述转接块上设置有连接轴，所述连接轴穿过所述底板且连接可穿过所述底板上的通孔的传扭转接件。

2.根据权利要求1所述的抽拉式转动机构，其特征在于：所述底板的下方设置有滚轮。

3.根据权利要求1所述的抽拉式转动机构，其特征在于：所述斜坡的上端衔接上支撑平面和/或所述斜坡的下端衔接下支撑平面。

4.根据权利要求1所述的抽拉式转动机构，其特征在于：所述移动框滑动设置在导向轨上，所述导向轨的延伸方向与所述移动框的移动方向一致。

5.根据权利要求4所述的抽拉式转动机构，其特征在于：所述移动框为矩形框，所述转接块位于所述矩形框内，所述斜坡是所述矩形框的两个相对端的侧板上开设的斜孔的底面；所述导向轨为两个且分布在所述转接块的相对的两端外。

6.根据权利要求4所述的抽拉式转动机构，其特征在于：所述移动框上设置有一组移动轮，所述移动轮的轴线与所述升降驱动轮的轴线平行。

7.根据权利要求1所述的抽拉式转动机构，其特征在于：所述推拉杆滑动设置在导向座上，所述推拉杆的近端设置有与所述推拉杆垂直的操作杆。

8.根据权利要求1所述的抽拉式转动机构，其特征在于：所述移动框设置于防护罩内。

9.根据权利要求1-8任一所述的抽拉式转动机构，其特征在于：所述顶板上设置有一圈固定架，所述固定架上可自转地设置有轴线与所述顶板轴线平行的转轴，所述转轴上套接一主动齿轮，一组主动齿轮与一固定齿轮啮合，所述固定齿轮位于所述底板和顶板之间且与所述顶板共轴，所述顶板上还设置有遮挡所述顶板和底板之间间隙的侧挡。

10.镀膜装置，其特征在于：包括如权利要求1-9任一所述的抽拉式转动机构。

技术总结
本技术揭示了抽拉式转动机构及镀膜装置，其中抽拉式转动机构包括具有通孔的底板及转动设置在底板上的顶板，顶板上设置有推拉离合机构，推拉离合机构包括推拉杆，推拉杆连接并可带动移动框沿其延伸方向往复移动，移动框上设置有至少两个斜坡，每个斜坡上可沿其移动地设置有升降驱动轮，升降驱动轮的轴线与推拉杆的推拉方向垂直，多个升降驱动轮设置在一转接块上，转接块上设置有连接轴，连接轴穿过底板且连接传扭转接件。本技术使转动机构通过设置推拉离合机构来连接外部的驱动源，推拉离合机构与驱动源可以分离，且可以通过推拉离合机构将整个转动机构拉倒真空室进入口处，从而方便实现上下料，推拉离合机构的结构简单，稳定性好。

技术研发人员：钱涛,钱政羽,王冬冬
受保护的技术使用者：星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司
技术研发日：20221212
技术公布日：2024/1/12