一种用于真空镀膜机的盖板结构的制作方法

本技术涉及真空镀膜机领域，尤其是涉及一种用于真空镀膜机的盖板结构。

背景技术：

1、目前众多型号的镀膜机驱动盖板的传动机构，采取气缸进行驱动，由于其具有缸体和输出轴，并且缸体的输出轴的运动方向与缸体的布置方向、盖板的运动方向均相同，导致采用气缸驱动盖板运动时占用空间较大，难以与真空腔室内的其他部件进行紧凑的布局，从而使真空腔体较大，镀料也会蒸发至更多的地方，会增加工作人员的清洁工作。

2、以上问题，亟待解决。

技术实现思路

1、为了克服现有技术镀膜机采用气缸驱动占用空间大的问题，本实用新型提供一种用于真空镀膜机的盖板结构。

2、本实用新型技术方案如下所述：

3、一种用于真空镀膜机的盖板结构，其特征在于，包括盖板和传动机构，所述传动机构带动所述盖板移动，

4、所述传动机构包括电机、链条和链轮，所述电机用于给所述链轮提供动力，所述链轮与所述链条啮合连接，所述盖板的两侧分别固定在两条所述链条上，所述链轮带动所述链条传动，所述电机、所述链条水平布置，且所述电机的输出轴与所述链条的转动方向垂直。

5、根据上述方案的本实用新型，其特征在于，所述盖板包括蒸发源盖板和主辊盖板，所述蒸发源盖板位于所述主辊盖板的下方，两个所述传动机构分别带动所述蒸发源盖板和所述主辊盖板向相反的方向运动。

6、根据上述方案的本实用新型，其特征在于，所述盖板包括金属板，所述金属板设置有用于冷却所述盖板的出水口和进水口。

7、根据上述方案的本实用新型，其特征在于，所述传动机构还包括用于支撑所述盖板移动的轨道，所述轨道设置在所述盖板的两侧。

8、根据上述方案的本实用新型，其特征在于，所述盖板的两侧均设置有用于在所述轨道上滑动的滑动部，所述滑动部与所述盖板转动连接。

9、根据上述方案的本实用新型，其特征在于，所述盖板在两侧的所述滑动部的外侧均设置有用于与所述链条固定的支耳，所述支耳与所述滑动部连接。

10、根据上述方案的本实用新型，其特征在于，所述滑动部在两个所述轨道的内侧设置有限制所述盖板移动位置的挡块。

11、根据上述方案的本实用新型，其特征在于，所述链轮包括动力链轮和从动链轮，所述动力链轮的圆心端固定连接所述电机，所述电机带动所述动力链轮转动，所述动力链轮通过所述链条带动所述从动链轮转动。

12、根据上述方案的本实用新型，其特征在于，两个所述动力链轮之间通过链轮传动轴连接。

13、进一步的，所述盖板的上方对称设置有隔板。

14、根据上述方案的本实用新型，其有益效果如下：

15、（1）利用电机驱动链轮、链条传动的方式，电机、链轮和链条均是水平布置，本实用新型可以将电机的转动转变形成盖板的平移，与现有技术的气缸驱动相比，占用空间较小，能避免镀料不必要的浪费。

16、（2）通过蒸发源盖板和主辊盖板两块盖板之间“发生反向相对”移动，将原来单盖板覆盖蒸发源的时间至少缩短1/2，极大的减少金属分子在辊系上的沉积，降低辊系清洁的难度，减少清洁作业时间，提高生产效率。

17、（3）在盖板上面设置隔板，进一步避免蒸发镀料蒸发至辊系上。

技术特征：

1.一种用于真空镀膜机的盖板结构，其特征在于，包括盖板和传动机构，所述传动机构带动所述盖板移动，

2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的盖板结构，其特征在于，所述盖板包括蒸发源盖板和主辊盖板，所述蒸发源盖板位于所述主辊盖板的下方，两个所述传动机构分别带动所述蒸发源盖板和所述主辊盖板向相反的方向运动。

3.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的盖板结构，其特征在于，所述盖板包括金属板，所述金属板设置有用于冷却所述盖板的出水口和进水口。

4.根据权利要求3所述的一种用于真空镀膜机的盖板结构，其特征在于，所述传动机构还包括用于支撑所述盖板移动的轨道，所述轨道设置在所述盖板的两侧。

5.根据权利要求4所述的一种用于真空镀膜机的盖板结构，其特征在于，所述盖板的两侧均设置有用于在所述轨道上滑动的滑动部，所述滑动部与所述盖板转动连接。

6.根据权利要求5所述的一种用于真空镀膜机的盖板结构，其特征在于，所述盖板在两侧的所述滑动部的外侧均设置有用于与所述链条固定的支耳，所述支耳与所述滑动部连接。

7.根据权利要求5或6所述的一种用于真空镀膜机的盖板结构，其特征在于，所述滑动部在两个所述轨道的内侧设置有限制所述盖板移动位置的挡块。

8.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的盖板结构，其特征在于，所述链轮包括动力链轮和从动链轮，所述动力链轮的圆心端固定连接所述电机，所述电机带动所述动力链轮转动，所述动力链轮通过所述链条带动所述从动链轮转动。

9.根据权利要求8所述的一种用于真空镀膜机的盖板结构，其特征在于，两个所述动力链轮之间通过链轮传动轴连接。

10.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的盖板结构，其特征在于，所述盖板的上方对称设置有隔板。

技术总结
本技术公开了真空镀膜机领域的一种用于真空镀膜机的盖板结构，包括盖板和传动机构，传动机构带动盖板移动，传动机构包括电机、链条和链轮，链轮与链条啮合连接，盖板的两侧分别固定在两条链条上，链轮带动链条传动，电机、链条和链轮水平布置，且电机的输出轴与链条的转动方向垂直。本技术利用电机驱动链轮、链条传动的方式，电机、链轮和链条均是水平布置，与现有技术的气缸驱动相比，占用空间较小，能避免镀料不必要的浪费；通过蒸发源盖板和主辊盖板两块盖板之间“发生反向相对”移动，将原来单盖板覆盖蒸发源的时间至少缩短1/2，极大的减少金属分子在辊系上的沉积，降低辊系清洁的难度，减少清洁作业时间，提高生产效率。

技术研发人员：臧世伟
受保护的技术使用者：重庆金美新材料科技有限公司
技术研发日：20221215
技术公布日：2024/1/12