一种干法镀膜设备腔体的制作方法

本技术涉及镀膜设备，具体为一种干法镀膜设备腔体。

背景技术：

1、气相沉积技术包括物理气相沉积技术和化学气相沉积技术，对于要求产生特性形状的镀膜层时一般采用掩膜工艺。干法镀膜机采用真空镀膜的方式，现有技术中的真空镀膜机还存在一些不足，例如专利申请号为：202022466428.9的专利，一种干法镀膜设备腔体，包括真空室，所述真空室内部两侧对称设有磁控溅射机，所述磁控溅射机之间设有夹持装置，所述夹持装置包括底座、旋转电机、支撑架、突出块、弹簧、夹持板和保护垫，所述真空室内底部设有底座，所述底座内部设有旋转电机，所述旋转电机贯穿底座固定连接有支撑架；该干法镀膜设备腔体虽然有利于磁控溅射机对支撑架上的基材进行均匀的喷涂，但是该干法镀膜设备腔体不具有冷却的功能，镀膜机在工作的时候会产生大量的热量，需要及时有效地进行冷却，以确保其正常工作，如果不及时冷却，很容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏。

2、本实用新型的目的在于提供一种干法镀膜设备腔体，以解决上述背景技术中提到的问题。

技术实现思路

1、为实现上述目的，本实用新型提供一种干法镀膜设备腔体，包括真空室，所述真空室内部两侧对称设有磁控溅射机，所述磁控溅射机之间设有夹持装置，所述真空室侧壁内设有安装腔，所述安装腔内侧壁设有导热层，所述导热层外壁盘绕设有水冷管，所述导热层外壁环绕设有多个散热条，所述水冷管下端连接出水管，所述真空室一侧设有冷凝器，所述冷凝器通过导管与水箱相连，所述出水管贯穿安装腔与冷凝器相连，所述水箱上端设有水泵，所述水泵的抽水端与水箱相连，且出水端连接进水管，所述进水管远离水泵的一端贯穿安装腔上侧与水冷管上端相连，所述安装腔外壁上侧环绕贯穿设有多个进气孔，所述安装腔外壁下侧环绕贯穿设有多个安装框，多个所述安装框内分别设有安装架，多个所述安装架上分别安装有电机，多个所述电机的输出轴分别连接有扇叶。

2、优选的，多个所述安装框外侧内壁设有防尘网。

3、优选的，多个所述进气孔内壁设有防尘网。

4、优选的，所述水箱内部填充有冷却液。

5、优选的，多个所述散热条与水冷管交错设置。

6、优选的，所述真空室、水箱和冷凝器设置在底座上端。

7、优选的，多个安装框位于多个进气孔下侧。

8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

9、本实用新型通过水泵将水箱内的冷却液输送至水冷管，使水冷管对真空镀膜机腔体进行降温冷却，同时通过导热层和多个散热条的相互配合进一步加强了冷却降温效果，通过电机使扇叶转动，使外部的冷气体进入到安装腔内，冷气体对水冷管、导热层和多个散热条进行降温，通过扇叶转动使安装腔内的热气体排出，从而提高了真空镀膜机腔体的冷却效率，而且采用水冷以及风冷两者方式对真空镀膜机腔体进行冷却降温，具有降温速度快、降温效率高的优点，进一步实现该真空镀膜机腔体可以长时间保持低温状态，有利于提高真空镀膜机的使用寿命。

技术特征：

1.一种干法镀膜设备腔体，包括真空室(1)，所述真空室(1)内部两侧对称设有磁控溅射机(2)，所述磁控溅射机(2)之间设有夹持装置(3)，其特征在于：所述真空室(1)侧壁内设有安装腔(4)，所述安装腔(4)内侧壁设有导热层(5)，所述导热层(5)外壁盘绕设有水冷管(6)，所述导热层(5)外壁环绕设有多个散热条(7)，所述水冷管(6)下端连接出水管(8)，所述真空室(1)一侧设有冷凝器(9)，所述冷凝器(9)通过导管(10)与水箱(11)相连，所述出水管(8)贯穿安装腔(4)与冷凝器(9)相连，所述水箱(11)上端设有水泵(12)，所述水泵(12)的抽水端与水箱(11)相连，且出水端连接进水管(13)，所述进水管(13)远离水泵(12)的一端贯穿安装腔(4)上侧与水冷管(6)上端相连，所述安装腔(4)外壁上侧环绕贯穿设有多个进气孔(14)，所述安装腔(4)外壁下侧环绕贯穿设有多个安装框(15)，多个所述安装框(15)内分别设有安装架(16)，多个所述安装架(16)上分别安装有电机(17)，多个所述电机(17)的输出轴分别连接有扇叶(18)。

2.根据权利要求1所述的一种干法镀膜设备腔体，其特征在于：多个所述安装框(15)外侧内壁设有防尘网(19)。

3.根据权利要求1所述的一种干法镀膜设备腔体，其特征在于：多个所述进气孔(14)内壁设有防尘网(19)。

4.根据权利要求1所述的一种干法镀膜设备腔体，其特征在于：所述水箱(11)内部填充有冷却液。

5.根据权利要求1所述的一种干法镀膜设备腔体，其特征在于：多个所述散热条(7)与水冷管(6)交错设置。

6.根据权利要求1所述的一种干法镀膜设备腔体，其特征在于：所述真空室(1)、水箱(11)和冷凝器(9)设置在底座(20)上端。

7.根据权利要求1所述的一种干法镀膜设备腔体，其特征在于：多个安装框(15)位于多个进气孔(14)下侧。

技术总结
本技术提供了一种干法镀膜设备腔体；本技术通过水泵将水箱内的冷却液输送至水冷管，使水冷管对真空镀膜机腔体进行降温冷却，同时通过导热层和多个散热条的相互配合进一步加强了冷却降温效果，通过电机使扇叶转动，使外部的冷气体进入到安装腔内，冷气体对水冷管、导热层和多个散热条进行降温，通过扇叶转动使安装腔内的热气体排出，从而提高了真空镀膜机腔体的冷却效率，而且采用水冷以及风冷两者方式对真空镀膜机腔体进行冷却降温，具有降温速度快、降温效率高的优点，进一步实现该真空镀膜机腔体可以长时间保持低温状态，有利于提高真空镀膜机的使用寿命。

技术研发人员：张德勇
受保护的技术使用者：常州市永平机械制造有限公司
技术研发日：20221229
技术公布日：2024/1/12