一种具有流量控制功能的化学气相沉积设备的制作方法

本技术涉及化学气相沉积设备，具体为一种具有流量控制功能的化学气相沉积设备。

背景技术：

1、气相沉淀是直接利用气体，或者通过各种手段将物质转变为气体，使之在气体状态下发生物理变化或者化学反应，最后在冷却过程中凝聚长大形成纳米粒子的方法，广泛使用于进行薄膜的制备过程中。

2、根据专利号cn202121117558x公开的一种化学气相沉积设备，通过安装有l型喷气弯管、气体分流仓、第一喷气连通管、轴承和第二喷气连通管，使用时，气相化合物通过气体分流仓分流至第一喷气连通管和第二喷气连通管内，气相化合物通过l型喷气弯管吹出时，吹气产生的反作用力可使l型喷气弯管和第二喷气连通管转动，可将l型喷气弯管的管口转动至气相沉积罩仓内部不同位置处，从而可将气相化合物均匀吹至气相沉积罩仓内部不同位置处，使得形成的薄膜厚度及化学成分能够保持均匀。

3、上述化学气相沉积设备在实际使用的过程中，通过设置的l型喷气弯管在使用时将气相化合物吹出至设备的内部进行分散，但设置的四组只能将气相化合物吹出在设备内部的左右以及两端的固定位置处，分散效果仍较差，同时内部管道结构设置复杂繁琐，不便于将气相化合物均匀的吹出在设备的内部。

4、现在，提出一种新型的具有流量控制功能的化学气相沉积设备来解决上述的不足。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种具有流量控制功能的化学气相沉积设备，以解决上述背景技术中提出的不便于将气相化合物均匀的吹出在设备的内部的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有流量控制功能的化学气相沉积设备，包括设备壳体，所述设备壳体底端的四个拐角处分别固定有撑脚，所述设备壳体的左侧设置有连接管，所述设备壳体的顶端贯穿设置有进气管，所述进气管上设置有流量计，所述设备壳体内部的顶端设置有分散盘，所述进气管外部的底部设置有电加热丝，所述设备壳体内部底端固定有冷却箱，所述冷却箱上固定有面板，所述冷却箱的左侧固定有进液管，且进液管的左侧贯穿设备壳体的左侧，所述冷却箱的右侧固定有出液管，且出液管的右侧贯穿设备壳体的右侧，所述设备壳体前端的左侧铰接有门体，所述门体前端的底部固定有透明窗，所述分散盘的底端固定有喷气头。

3、优选的，所述进气管的底端贯穿设备壳体的顶端并与分散盘的顶端固定连接，所述进气管与分散盘的内部相连通。

4、优选的，所述喷气头在分散盘的底端环形等间距设置有多组，所述喷气头与分散盘的内部相连通。

5、优选的，所述连接管的右侧设置有固定座，所述连接管右侧和进液管的左侧分别固定有连接盘，所述连接盘一侧的顶部和底部以及中间位置处分别设置有固定螺栓，所述固定座的两侧分别设置有密封垫圈，所述固定座两侧的顶部和底部以及两端分别设置有螺纹孔，所述固定座的内部固定有过滤网，所述连接管和进液管分别与固定座的内部相连通。

6、优选的，所述固定螺栓一侧分别贯穿连接盘和密封垫圈的内部。

7、优选的，所述设备壳体的后端设置有背板，所述背板后端的四个拐角处分别贯穿设置有拆装杆，所述设备壳体后端的四个拐角处分别设置有螺孔。

8、优选的，所述拆装杆的外部设置有外螺纹。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该具有流量控制功能的化学气相沉积设备不仅实现了便于将气相化合物均匀的吹出在设备的内部，实现了便于对设备内部冷却介质中的一些颗粒杂质等进行过滤去除，而且实现了便于对设备的内部进行拆装清洁；

10、（1）通过设置有进气管、分散盘和喷气头，使用设备在对薄膜进行制备时，可以通过将混合后的气相化合物经过进气管中导入并经过电加热丝加热后，再由设置的进气管将气相化合物导出至分散盘中，在分散盘的底端环形等间距设置有多组喷气头，通过设置的多组喷气头可以将分散盘中的气相化合物均匀的吹出在设备内部的不同位置处，使气相化合物在面板上形成的薄膜能够保持厚度和成分的均匀，减少气相化合物的分散，便于将气相化合物均匀的吹出在设备的内部；

11、（2）通过设置有连接管、进液管、冷却箱、出液管、连接盘、固定座、固定螺栓、过滤网、螺纹孔和密封垫圈，设备在使用时，可以通过将连接管和出液管分别接入外部冷却设备中冷却液的出和进口后，由外部冷却设备带动冷却液由连接管和进液管中导入至冷却箱的内部，再由出液管进行导出，通过使用冷却箱对面板进行循环的冷却，使面板上沉淀的气相化合物可以形成薄膜，同时在循环冷却的过程中，在连接管和进液管之间固定有固定座，在固定座内部设置的过滤网可以对经过连接管导入至进液管中冷却液内部的一些大颗粒杂质水垢等进行过滤去除，减少输送管道以及冷却箱内部杂质的生成和淤积，通过设置的固定螺栓和螺纹孔可便于对固定座进行拆卸并对内部的过滤网进行清理；

12、（3）通过设置有设备壳体、螺孔、拆装杆和背板，设备在使用后，可以在设备壳体的后端，将背板后端四个拐角处设置的拆装杆对应从设备壳体后端内部的螺孔中向外进行旋出后，即可将背板从设备壳体上进行拆下，打开设备壳体的后端后，可方便对设备的内部以及组件上的污垢和杂质等进行清洁操作，便于设备的使用。

技术特征：

1.一种具有流量控制功能的化学气相沉积设备，包括设备壳体（2），其特征在于：所述设备壳体（2）底端的四个拐角处分别固定有撑脚（1），所述设备壳体（2）的左侧设置有连接管（3），所述设备壳体（2）的顶端贯穿设置有进气管（6），所述进气管（6）上设置有流量计（7），所述设备壳体（2）内部的顶端设置有分散盘（8），所述进气管（6）外部的底部设置有电加热丝（5），所述设备壳体（2）内部底端固定有冷却箱（10），所述冷却箱（10）上固定有面板（9），所述冷却箱（10）的左侧固定有进液管（4），且进液管（4）的左侧贯穿设备壳体（2）的左侧，所述冷却箱（10）的右侧固定有出液管（11），且出液管（11）的右侧贯穿设备壳体（2）的右侧，所述设备壳体（2）前端的左侧铰接有门体（12），所述门体（12）前端的底部固定有透明窗（13），所述分散盘（8）的底端固定有喷气头（14）。

2.根据权利要求1所述的一种具有流量控制功能的化学气相沉积设备，其特征在于：所述进气管（6）的底端贯穿设备壳体（2）的顶端并与分散盘（8）的顶端固定连接，所述进气管（6）与分散盘（8）的内部相连通。

3.根据权利要求1所述的一种具有流量控制功能的化学气相沉积设备，其特征在于：所述喷气头（14）在分散盘（8）的底端环形等间距设置有多组，所述喷气头（14）与分散盘（8）的内部相连通。

4.根据权利要求1所述的一种具有流量控制功能的化学气相沉积设备，其特征在于：所述连接管（3）的右侧设置有固定座（16），所述连接管（3）右侧和进液管（4）的左侧分别固定有连接盘（15），所述连接盘（15）一侧的顶部和底部以及中间位置处分别设置有固定螺栓（17），所述固定座（16）的两侧分别设置有密封垫圈（20），所述固定座（16）两侧的顶部和底部以及两端分别设置有螺纹孔（19），所述固定座（16）的内部固定有过滤网（18），所述连接管（3）和进液管（4）分别与固定座（16）的内部相连通。

5.根据权利要求4所述的一种具有流量控制功能的化学气相沉积设备，其特征在于：所述固定螺栓（17）一侧分别贯穿连接盘（15）和密封垫圈（20）的内部。

6.根据权利要求1所述的一种具有流量控制功能的化学气相沉积设备，其特征在于：所述设备壳体（2）的后端设置有背板（23），所述背板（23）后端的四个拐角处分别贯穿设置有拆装杆（22），所述设备壳体（2）后端的四个拐角处分别设置有螺孔（21）。

7.根据权利要求6所述的一种具有流量控制功能的化学气相沉积设备，其特征在于：所述拆装杆（22）的外部设置有外螺纹。

技术总结
本技术公开了一种具有流量控制功能的化学气相沉积设备，包括设备壳体，所述设备壳体底端的四个拐角处分别固定有撑脚。该具有流量控制功能的化学气相沉积设备通过使用设备在对薄膜进行制备时，可以将混合后的气相化合物经过进气管中导入并经过电加热丝加热后，再由设置的进气管将气相化合物导出至分散盘中，在分散盘的底端环形等间距设置有多组喷气头，通过设置的多组喷气头可以将分散盘中的气相化合物均匀的吹出在设备内部的不同位置处，使气相化合物在面板上形成的薄膜能够保持厚度和成分的均匀，便于将气相化合物均匀的吹出在设备的内部，解决的是不便于将气相化合物均匀的吹出在设备的内部的问题。

技术研发人员：顾泉
受保护的技术使用者：江苏旭宇腾半导体科技有限公司
技术研发日：20221230
技术公布日：2024/1/12