一种太阳能集热管镀膜线靶保护装置的制作方法

本技术涉及太阳能集热管生产制造，具体涉及一种太阳能集热管镀膜线靶保护装置。

背景技术：

1、目前，中国光热产热技术发展极快，特别是其核心的太阳能真空集热管生产技术已经非常成熟，已达到年产过亿支的规模，年新增集热面积达到千万平方米以上，而真空集热管的保有量更是达到近3亿平方米。

2、现有技术中的太阳能集热管，其膜层基本为殷志强教授的专利cn85100142“溅射太阳能选择性吸收涂层”提及的al-aln单靶涂层和cn96102331“太阳能选择性吸收表面涂层及其形成方法”提及的cu-ss-aln的三靶涂层。

3、上述膜层均使用磁控溅射方法制备，该方法的基本原理是在镀膜机内设置立式圆柱靶的磁控溅射系统，镀膜机内一次装载数十只作为集热管内管的玻璃管，在“行星”机构传动下，玻璃管做公转与自转，立式圆柱靶在中心位置，在氩气中非反应溅射沉积铝底层，再注入流量可控的氮气，制备多层铝—氮复合薄膜材料作为吸收层。

4、使用上述方法镀膜时，需要用冷却水对靶进行冷却，然而，在实际运行过程中，冷却水异常偶有发生(冷却水水泵故障或管道堵塞)，在冷却水异常情况下，镀膜线继续运行，靶内冷却水快速升温将导致靶退磁，对镀膜线设备造成重大损失，因此，亟需对现有技术中的镀膜线设备进行改进，避免靶退磁情况的发生。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种太阳能集热管镀膜线靶保护装置，以避免靶退磁情况的发生，降低设备损失。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种太阳能集热管镀膜线靶保护装置，包括镀膜线控制系统和靶，所述靶与镀膜线控制系统电连，所述靶包括靶室和靶芯，所述靶室和靶芯均为内部中空的柱状体，所述靶芯设在靶室内侧且其上端外露于靶室；所述靶芯的上端设有进水管和出水管，所述进水管与靶芯内部连通，所述靶芯的下端侧壁上设有与其内部连通的出水孔、上端侧壁上设有与出水管连通的出水孔；所述进水管和出水管上均安装有与控制器连接的流量计，所述控制器与镀膜线控制系统连接。

4、本实用新型的进一步设置为：所述控制器还连接有报警器。

5、与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

6、其一、本实用新型的靶的冷却水进水管和出水管上均安装有与控制器连接的流量计，实际使用时，控制器设定一个流量阈值，当进水管或出水管的流量低于流量阈值时，镀膜线控制系统根据控制器发送的信号切断靶电源，从而避免靶内部冷却水快速升温，进而避免靶退磁，可有效避免设备损失。

7、其二、本实用新型的控制器还连接有报警器，当进水管或出水管的流量低于流量阈值时，报警器发出报警信号，提醒操作人员及时处理冷却水异常情况，从而缩短因冷却水异常而导致的生产停滞时间，降低对生产效率所造成的影响。

技术特征：

1.一种太阳能集热管镀膜线靶保护装置，包括镀膜线控制系统(1)和靶(2)，所述靶(2)与镀膜线控制系统(1)电连，所述靶(2)包括靶室(21)和靶芯(22)，所述靶室(21)和靶芯(22)均为内部中空的柱状体，所述靶芯(22)设在靶室(21)内侧且其上端外露于靶室(21)；其特征在于：所述靶芯(22)的上端设有进水管(23)和出水管(24)，所述进水管(23)与靶芯(22)内部连通，所述靶芯(22)的下端侧壁上设有与其内部连通的出水孔(25)、上端侧壁上设有与出水管(24)连通的出水孔(25)；所述进水管(23)和出水管(24)上均安装有与控制器(3)连接的流量计(31)，所述控制器(3)与镀膜线控制系统(1)连接。

2.根据权利要求1所述的太阳能集热管镀膜线靶保护装置，其特征在于：所述控制器(3)还连接有报警器(32)。

技术总结
本技术公开了一种太阳能集热管镀膜线靶保护装置，包括镀膜线控制系统和靶，所述靶与镀膜线控制系统电连，靶包括靶室和靶芯，靶室和靶芯均为内部中空的柱状体，靶芯设在靶室内侧且其上端外露于靶室；靶芯的上端设有进水管和出水管，进水管与靶芯内部连通，靶芯的下端侧壁上设有与其内部连通的出水孔、上端侧壁上设有与出水管连通的出水孔；进水管和出水管上均安装有与控制器连接的流量计，控制器与镀膜线控制系统连接。本技术在使用时，当进水管或出水管的流量低于控制器设定的流量阈值时，镀膜线控制系统根据控制器发送的信号切断靶电源，从而避免靶内部冷却水快速升温，进而避免靶退磁，可有效避免设备损失。

技术研发人员：任秋,于含秋,付广旭
受保护的技术使用者：禄劝浩光新能源科技有限公司
技术研发日：20221230
技术公布日：2024/1/12