掩膜组件及掩膜板的制作方法

本发明涉及掩膜蒸镀，具体涉及一种掩膜组件及掩膜板。

背景技术：

1、相关技术中，通常采用掩膜板蒸镀膜层，为提高膜层位置精度，通常需要在掩膜板上设置监测用开口，以在蒸镀该膜层时形成相应的监测位点，对所蒸镀的膜层进行位置监控，然而，蒸镀不同膜层时，这些膜层对应的监测位点不同，因此通常需要采用多个掩膜板进行蒸镀，这样会导致蒸镀工艺复杂，并增大成本。

技术实现思路

1、本发明提供一种掩膜组件及掩膜板，以至少解决现有技术存在的蒸镀不同膜层时需要采用不同的掩膜板、以及由此导致的蒸镀工艺复杂、成本高等技术问题。

2、本发明的一方面，提供一种掩膜组件，包括本体和垫片，所述本体包括第一通孔、以及围设在所述第一通孔外侧的凹槽，所述垫片可拆卸安装于所述凹槽内，所述垫片具有第二通孔，当所述垫片安装于所述凹槽内，所述第二通孔在所述本体上的投影至少部分位于所述第一通孔在所述本体上的投影内。

3、根据本发明的一实施方式，所述第一通孔的开口尺寸大于所述第二通孔的开口尺寸。

4、根据本发明的一实施方式，所述第一通孔为矩形孔；和/或，所述第二通孔为圆形孔。

5、根据本发明的一实施方式，所述垫片的数量为多个，分别将该多个所述垫片安装于所述凹槽内，每一所述垫片的第二通孔与所述第一通孔的重叠部分与其他任一所述垫片的第二通孔与所述第一通孔的重叠部分均存在位置、形状、开口尺寸中的至少一者不同。

6、根据本发明的一实施方式，所述凹槽包括槽口和底面，所述槽口与所述本体的表面齐平。

7、根据本发明的一实施方式，所述凹槽的底面具有第一磁性区域，所述垫片具有第二磁性区域，所述第一磁性区域与所述第二磁性区域具有相适配的磁性，以使所述垫片被吸附于所述凹槽内。

8、根据本发明的一实施方式，所述本体具有磁性，以使所述凹槽的底面均为所述第一磁性区域。

9、根据本发明的一实施方式，所述第二磁性区域设有磁片。

10、根据本发明的一实施方式，所述第二磁性区域的数量为多个；优选地，该多个所述第二磁性区域均匀分布于所述垫片上。

11、根据本发明的一实施方式，所述垫片为方形，所述第二磁性区域的数量为4个，该4个所述第二磁性区域一一对应地位于所述垫片的4个角位处。

12、根据本发明的一实施方式，所述本体包括至少一个蒸镀区和监测区，每一所述蒸镀区对应至少一个所述监测区，所述第一通孔与所述凹槽设于所述监测区。

13、本发明的另一方面，提供一种掩膜板，包括上述掩膜组件。

14、本发明中，本体与垫片配合，垫片用于置于本体的凹槽内，且垫片的第二通孔在本体上的投影位于第一通孔内，从而使第一通孔和第二通孔重叠的部分形成监测位点的蒸镀开口，这样，在蒸镀时，只需通过垫片的第二通孔的位置匹配蒸镀不同膜层时的监测位点的蒸镀开口，而无需更换本体，从而实现蒸镀多个膜层时共用一个掩膜板，而无需采用多个不同的掩膜板，使蒸镀工艺简单，易操作，并降低成本。

技术特征：

1.一种掩膜组件，其特征在于，包括本体和垫片，所述本体包括第一通孔、以及围设在所述第一通孔外侧的凹槽，所述垫片可拆卸安装于所述凹槽内，所述垫片具有第二通孔，当所述垫片安装于所述凹槽内，所述第二通孔在所述本体上的投影至少部分位于所述第一通孔在所述本体上的投影内。

2.根据权利要求1所述的掩膜组件，其特征在于，所述第一通孔的开口尺寸大于所述第二通孔的开口尺寸。

3.根据权利要求1所述的掩膜组件，其特征在于，所述第一通孔为矩形孔；和/或，所述第二通孔为圆形孔。

4.根据权利要求1所述的掩膜组件，其特征在于，所述垫片的数量为多个，分别将该多个所述垫片安装于所述凹槽内，每一所述垫片的第二通孔与所述第一通孔的重叠部分与其他任一所述垫片的第二通孔与所述第一通孔的重叠部分均存在位置、形状、开口尺寸中的至少一者不同。

5.根据权利要求1所述的掩膜组件，其特征在于，所述凹槽包括槽口和底面，所述槽口与所述本体的表面齐平。

6.根据权利要求5所述的掩膜组件，其特征在于，所述凹槽的底面具有第一磁性区域，所述垫片具有第二磁性区域，所述第一磁性区域与所述第二磁性区域具有相适配的磁性，以使所述垫片被吸附于所述凹槽内；

7.根据权利要求6所述的掩膜组件，其特征在于，所述第二磁性区域设有磁片。

8.根据权利要求6所述的掩膜组件，其特征在于，所述第二磁性区域的数量为多个；优选地，该多个所述第二磁性区域均匀分布于所述垫片上；

9.根据权利要求1所述的掩膜组件，其特征在于，所述本体包括至少一个蒸镀区和监测区，每一所述蒸镀区对应至少一个所述监测区，所述第一通孔与所述凹槽设于所述监测区。

10.一种掩膜板，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的掩膜组件。

技术总结
本发明提供一种掩膜组件及掩膜板，所述掩膜组件包括本体和垫片，所述本体包括第一通孔、以及围设在所述第一通孔外侧的凹槽，所述垫片可拆卸安装于所述凹槽内，所述垫片具有第二通孔，当所述垫片安装于所述凹槽内，所述第二通孔在所述本体上的投影至少部分位于所述第一通孔在所述本体上的投影内。本发明能够使蒸镀工艺简单，易操作，并降低成本。

技术研发人员：杨峰,李有鹏,李慧,赵晶晶,邹敏,王盼盼
受保护的技术使用者：合肥维信诺科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12