本发明涉及导电玻璃,具体为一种高透过率低阻值导电玻璃。
背景技术:
1、在通常的透明电极应用中,ito透明导电玻璃和透明导电膜的应用居多,其中,在触控传感器方面主要用阻值较高的透明导电ito膜,在显示模块及大面积应用方面,主要用阻值较低的透明导电ito玻璃。在柔性的应用领域,如果是涉及低阻值的需求,透明导电ito膜又是必不可少的,但是低阻值的透明导电ito膜对应的透过率低,对于器件的应用带来了很大的限制。本发明为这些限制提供有效的突破性解决方案。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足,本发明提供了一种高透过率低阻值导电玻璃,解决了上述背景技术中的问题。
2、为实现上述x的目的,本发明提供如下技术方案:一种高透过率低阻值导电玻璃,(序号:20层)首先,在玻璃基材上,通过真空磁控溅射沉积一层sio2作为接着层;
3、沉积sio2时,ar和o2作为工作气体,施加电压将ar和o2进行放电,ar+离子和o+离子轰击si靶表面,sio2纳米基团沉积到pet基材上,经过沉积时间的累积,控制厚度为5-10nm。
4、优选的,所述(序号:21层):同样的在20层表面沉积一层cu-w-ni合金,采用磁控溅射方式,ar作为工作气体,施加电压将ar进行放电,ar+离子轰击cu-w-ni合金靶表面,cu-w-ni合金纳米基团沉积到20层的表面上,经过沉积时间的累积,控制厚度为10-20nm。
5、优选的,所述(序号:30层):同样的在21层表面沉积一层纯cu,采用磁控溅射方式,ar作为工作气体,施加电压将ar进行放电,ar+离子轰击cu靶表面,cu纳米基团沉积到21层的表面上,经过沉积时间的累积,控制厚度为200-500nm。
6、优选的,所述(序号:31层):同样的在30层表面沉积一层cu-w-ni合金,采用磁控溅射方式,ar作为工作气体,施加电压将ar进行放电,ar+离子轰击cu-w-ni合金靶表面,cu-w-ni合金纳米基团沉积到30层的表面上,经过沉积时间的累积,控制厚度为10-20nm。
7、优选的,所述在镀膜完成后进行网格化的蚀刻,留下cu网格线和整体面型的接着层,这样得到一个全新的(21-31)网格+20整体的复合层32层。
8、优选的,所述(序号:40层):同样的在32接着层表面沉积一层ito膜,采用磁控溅射方式,ar和o2作为工作气体,施加电压将ar和o2进行放电,ar+离子和o+离子轰击ito靶(此层的靶材成分比例为:in2o3:sno2=93:7wt%—90:10wt%)表面,ito纳米基团沉积到32层的表面上,经过沉积时间的累积,控制厚度为10-20nm。
9、与现有技术相比,本发明提供了一种高透过率低阻值导电玻璃,具备以下有益效果:
10、采用网格cu+面ito结构,以glass表面的易接着状态进行表面镀铜,20层作为衔接层与21/30/31层一起,在同一真空制程中进行镀膜完成,20层链接10层与21层,提升21层的附着力,21层链接20层与30层,作为结构型的过渡,另外在光学方面,降低cu金属层的反射率,对产品的视觉效果有提升,31层作为cu金属层的保护层,同时作为合金具备导电特性,能传导cu层与ito之间的导电性,40层作为面型导电层,补充网格空白区的导电特性,产品整体形成一个透过率高,而且阻值低的透明电极柔性材料,对32层进行适当的pin脚线的图案化,可省去传统的银浆材料,为产品的稳定性和耐久性提供保证,同时节约成本,图案形成后可进行ito结晶化处理,也是本发明的创新点,结晶后的ito层结构稳定,耐用性能提升,适用于要求更为严格的场景,可以实现低温制备,省略纯ito靠后烘烤或在线烘烤制程,可以对21-31层进行不同的图案化设计,如六边形、方形圆形等,可得到不同的线宽/视窗比(lvr),通过优化可获得经济的lvr。
1.一种高透过率低阻值导电玻璃,其特征在于:(序号:20层)首先,在玻璃基材上,通过真空磁控溅射沉积一层sio2作为接着层;
2.根据权利要求1所述的一种高透过率低阻值导电玻璃,其特征在于:(序号:21层):同样的在20层表面沉积一层cu-w-ni合金,采用磁控溅射方式,ar作为工作气体,施加电压将ar进行放电,ar+离子轰击cu-w-ni合金靶表面,cu-w-ni合金纳米基团沉积到20层的表面上,经过沉积时间的累积,控制厚度为10-20nm。
3.根据权利要求2所述的一种高透过率低阻值导电玻璃,其特征在于:(序号:30层):同样的在21层表面沉积一层纯cu,采用磁控溅射方式,ar作为工作气体,施加电压将ar进行放电,ar+离子轰击cu靶表面,cu纳米基团沉积到21层的表面上,经过沉积时间的累积,控制厚度为200-500nm。
4.根据权利要求3所述的一种高透过率低阻值导电玻璃,其特征在于:(序号:31层):同样的在30层表面沉积一层cu-w-ni合金,采用磁控溅射方式,ar作为工作气体,施加电压将ar进行放电,ar+离子轰击cu-w-ni合金靶表面,cu-w-ni合金纳米基团沉积到30层的表面上,经过沉积时间的累积,控制厚度为10-20nm。
5.根据权利要求1所述的一种高透过率低阻值导电玻璃,其特征在于:在镀膜完成后进行网格化的蚀刻,留下cu网格线和整体面型的接着层,这样得到一个全新的(21-31)网格+20整体的复合层32层。
6.根据权利要求5所述的一种高透过率低阻值导电玻璃,其特征在于:(序号:40层):同样的在32接着层表面沉积一层ito膜,采用磁控溅射方式,ar和o2作为工作气体,施加电压将ar和o2进行放电,ar+离子和o+离子轰击ito靶(此层的靶材成分比例为:in2o3:sno2=93:7wt%—90:10wt%)表面,ito纳米基团沉积到32层的表面上,经过沉积时间的累积,控制厚度为10-20nm。