半导体镀膜喷淋头平面性调节器的制作方法

本发明涉及半导体镀膜，尤其涉及一种半导体镀膜喷淋头平面性调节器。

背景技术：

1、现有的半导体镀膜设备在工艺过程中，因薄膜的特殊性质而要求在薄膜沉积工艺时，喷淋装置与其对应的加热体保证一定的平面性，在这种情况下就需要喷淋装置的本身平面性很高或者设计有调节平面性的装置，传统的调节方式是通过腔体上面三个顶丝进行调节，最后用锁紧螺母锁紧，这样不仅效率低下，也会因为最后锁紧顶丝锁紧螺母的时候造成顶丝位置移动，导致之前的调节失败。

技术实现思路

1、本发明为解决上述问题，提供一种半导体镀膜喷淋头平面性调节器。

2、为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：半导体镀膜喷淋头平面性调节器，包括喷头高度调节板，喷头高度调节板穿过三个均布的带肩铰链销，并通过三组均布的丝杆弹簧组连接到喷头轴密封垫板上，喷头高度调节板上均布安装有三个带锁紧千分尺头，带锁紧千分尺头的测头顶在喷头轴密封垫板上，喷头轴密封垫板的上端密封固定有喷头陶瓷连接件，喷头轴密封垫板的下端密封固定有喷头陶瓷套；丝杆弹簧组包括拉伸弹簧、丝杆一和丝杆二，拉伸弹簧的下端连接丝杆一，丝杆一与喷头轴密封垫板螺纹连接，拉伸弹簧的上端连接丝杆二，丝杆二穿过喷头高度调节板并通过螺母固定，螺母位于喷头高度调节板的上方。

3、进一步的，喷头轴密封垫板的上端通过o型密封圈一和螺钉密封固定有喷头陶瓷连接件。

4、进一步的，喷头轴密封垫板的下端通过o型密封圈一和螺钉密封固定有喷头陶瓷套。

5、进一步的，喷头轴密封垫板外套装有喷头陶瓷固定件，且喷头陶瓷固定件位于喷头陶瓷套上，喷头陶瓷套上套装有o型密封圈三，喷头陶瓷套压接在上腔体上，并通过喷头陶瓷固定件和销子螺钉紧固。

6、进一步的，喷头高度调节板上通过锁紧螺母与12寸喷淋头连接。

7、本发明采用带锁紧千分尺头调节上下运动，千分尺本身精度在0.5mm/50＝0.01mm，提高了整体调节精准度，另外，千分尺头本身带有轴心锁，锁紧调节杆位置稳定快捷，进一步提高了效率。

技术特征：

1.半导体镀膜喷淋头平面性调节器，其特征在于，包括喷头高度调节板(2)，喷头高度调节板(2)穿过三个均布的带肩铰链销(3)，并通过三组均布的丝杆弹簧组连接到喷头轴密封垫板(6)上，喷头高度调节板(2)上均布安装有三个带锁紧千分尺头(5)，带锁紧千分尺头(5)的测头顶在喷头轴密封垫板(6)上，喷头轴密封垫板(6)的上端密封固定有喷头陶瓷连接件(8)，喷头轴密封垫板(6)的下端密封固定有喷头陶瓷套(7)；丝杆弹簧组包括拉伸弹簧(4)、丝杆一(13)和丝杆二(14)，拉伸弹簧(4)的下端连接丝杆一(13)，丝杆一(13)与喷头轴密封垫板(6)螺纹连接，拉伸弹簧(4)的上端连接丝杆二(14)，丝杆二(14)穿过喷头高度调节板(2)并通过螺母(15)固定，螺母(15)位于喷头高度调节板(2)的上方；喷头高度调节板(2)上通过锁紧螺母与12寸喷淋头(1)连接。

2.根据权利要求1所述的半导体镀膜喷淋头平面性调节器，其特征在于，所述喷头轴密封垫板(6)的上端通过o型密封圈一(10)和螺钉密封固定有喷头陶瓷连接件(8)。

3.根据权利要求1所述的半导体镀膜喷淋头平面性调节器，其特征在于，所述喷头轴密封垫板(6)的下端通过o型密封圈一(11)和螺钉密封固定有喷头陶瓷套(7)。

4.根据权利要求1所述的半导体镀膜喷淋头平面性调节器，其特征在于，所述的喷头轴密封垫板(6)外套装有喷头陶瓷固定件(9)，且喷头陶瓷固定件(9)位于喷头陶瓷套(7)上，喷头陶瓷套(7)上套装有o型密封圈三(12)，喷头陶瓷套(7)压接在上腔体上，并通过喷头陶瓷固定件(9)和销子螺钉紧固。

技术总结
本发明公开了一种半导体镀膜喷淋头平面性调节器，喷头高度调节板穿过三个均布的带肩铰链销，并通过三组均布的丝杆弹簧组连接到喷头轴密封垫板上，喷头高度调节板上均布安装有三个带锁紧千分尺头，带锁紧千分尺头的测头顶在喷头轴密封垫板上，喷头轴密封垫板的上端密封固定有喷头陶瓷连接件，喷头轴密封垫板的下端密封固定有喷头陶瓷套。本发明采用带锁紧千分尺头调节上下运动，千分尺本身精度在0.5mm/50＝0.01mm，提高了整体调节精准度，另外，千分尺头本身带有轴心锁，锁紧调节杆位置稳定快捷，进一步提高了效率。

技术研发人员：王正国,包驷璋,徐家庆,唐丽娜
受保护的技术使用者：大连皓宇电子科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13