吸附膜模具及其开模方法与流程

本发明涉及化学机械研磨模具的，尤其涉及一种吸附膜模具及其开模方法。

背景技术：

1、化学机械抛光cmp(英文全称为chemical mechanical polish)是化学腐蚀与机械磨削相结合的一种抛光方法，是集成电路制作过程中实现晶圆表面平坦化的关键工艺；cpm抛光头的吸附膜(英文全称为membrane)是指当抛光头对硅片进行抛光时，其对硅片起吊吸附和加压的作用，吸附膜的质量对硅片的质量具有较大影响。

2、membrane抛光的吸附膜制造过程中，由于吸附膜的结构特殊，吸附膜存在七个区域的倒钩，且对于每个区域的厚度一致性要求较高，同时一个区域也存在薄厚差异较大的问题，导致产品在生产过程中经常由于薄厚不均匀而产生破裂，缺胶现象。现有技术吸附膜的模具为一次顶出结构，通过对模具的强行顶出来对产品进行拉扯从而实现产品从模具里面的脱出，导致对吸附膜的拉扯较为严重容易导致产品不确定性的从薄壁处破裂的问题。

3、因此，亟需提供一种吸附膜模具及其开模方法，以解决现有技术中所存在的上述技术问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种吸附膜模具及其开模方法，旨在解决现有的吸附膜模具强行顶出对其造成拉扯导致破裂的问题。

2、为达此目的，本发明采用以下技术方案：吸附膜模具，包括：

3、模盖，上述模盖上设置有向侧边倾斜的楔形槽；

4、模底，上述模底和上述模盖相对设置，且上述模底和上述模盖的中心位置形成有容纳模芯的腔室；

5、哈夫块，上述哈夫块至少部分卡接于上述楔形槽内，且上述哈夫块的一侧面与上述模芯贴合连接；

6、起吊机构，上述起吊机构能够与上述模盖连接，且上述起吊机构能够向上起吊上述模盖时同步向侧边移动上述哈夫块；

7、顶出机构，上述顶出机构位于上述模底的下侧，上述顶出机构能够将上述模芯分层顶出。

8、作为优选，上述起吊机构包括吊绳；

9、上述哈夫块上设置有连接轴；

10、上述吊绳连接于模盖，且上述吊绳穿过上述连接轴，以使上述吊绳向上起吊上述模盖时，上述哈夫块同步向侧边移动。

11、作为优选，上述楔形槽包括向模芯左侧边倾斜的第一槽体和向模芯右侧边倾斜的第二槽体；

12、上述哈夫块的数量为两个，一个上述哈夫块至少部分卡接于上述第一槽体，另一个上述哈夫块至少部分卡接于上述第二槽体，且两个上述哈夫块的侧壁分别与上述模芯的两侧贴合连接，上述起吊机构向上起吊上述模盖时同步向左右侧边移动两个上述哈夫块。

13、作为优选，上述哈夫块包括倾斜部和压紧部；

14、上述倾斜部朝向侧边的边缘方向倾斜，上述压紧部能够与上述模芯面面压紧。

15、作为优选，上述顶出机构包括第一顶板和第一顶杆，上述第一顶板位于上述模底的下侧；

16、上述模芯包括第一模芯组和第二模芯组；

17、上述第一顶杆的一端与上述第一顶板连接，上述第一顶杆的另一端与上述第二模芯组连接；

18、上述第一顶板向上移动时，上述第二模芯组在上述第一顶杆的带动下向上运动，以使上述第一模芯组和第二模芯组能够分层顶起。

19、作为优选，上述第二模芯组还包括上模芯和下模芯；

20、上述顶出机构包括第二顶板、第二顶杆和第三顶杆；

21、上述第二顶板间隔设置于上述第一顶板的下侧，上述第二顶杆的长度大于上述第三顶杆的长度；

22、上述第二顶杆的一端与上述上模芯连接，上述第二顶杆的另一端与上述第二顶板连接；

23、上述第三顶杆的一端与上述下模芯连接，上述第三顶杆的另一端与上述第二顶板连接，以使上述第二顶板向上移动时，上述上模芯和上述下模芯分层顶出。

24、作为优选，还包括动力源；

25、上述动力源的输出端分别与上述起吊机构和上述顶出机构连接。

26、作为优选，上述动力源为气缸。

27、本发明还提供用于上述的吸附膜模具的开模方法，上述开模方法包括如下步骤：

28、启动上述起吊机构和上述顶出机构；

29、上述起吊机构起吊上述模盖同步拉动上述哈夫块；

30、上述顶出机构上顶上述模芯，将上述模芯自下而上分层顶出。

31、优选，还包括如下步骤：

32、上述顶出机构将靠近上述哈夫块的模芯顶出；

33、上述顶出机构将远离所述哈夫块的模芯中的上层的模芯顶出；

34、上述顶出机构将远离所述哈夫块的模芯中的下层的模芯顶出。

35、本发明的有益效果：在本发明的技术方案中，通过起吊机构起吊模盖同时起吊位于吸附膜侧面的哈夫块，通过哈夫块减轻对吸附膜外侧径的撕扯以及减少开模过程中的阻力，通过顶出机构将位于模盖和模底的中心位置的模芯分层顶出，避免直接对产品进行强行脱模时的应力，也即降低吸附膜发生破裂的概率，提高产品的良率。

技术特征：

1.吸附膜模具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的吸附膜模具，其特征在于，所述起吊机构(14)包括吊绳；

3.根据权利要求1或2所述的吸附膜模具，其特征在于，所述楔形槽包括向模芯(16)左侧边倾斜的第一槽体(111)和向模芯(16)右侧边倾斜的第二槽体(112)；

4.根据权利要求1或2所述的吸附膜模具，其特征在于，所述哈夫块(13)包括倾斜部(132)和压紧部(133)；

5.根据权利要求1所述的吸附膜模具，其特征在于，所述顶出机构(15)包括第一顶板(151)和第一顶杆(152)，所述第一顶板(151)位于所述模底(12)的下侧；

6.根据权利要求5所述的吸附膜模具，其特征在于，所述第二模芯组(162)还包括上模芯(163)和下模芯(164)；

7.根据权利要求1所述的吸附膜模具，其特征在于，还包括动力源；

8.根据权利要求7所述的吸附膜模具，其特征在于，所述动力源为气缸。

9.用于权利要求1-8任一项所述的吸附膜模具的开模方法，其特征在于，所述开模方法包括如下步骤：

10.根据权利要求9所述的开模方法，其特征在于，还包括如下步骤：

技术总结
本发明属于化学机械研磨模具的技术领域，公开了一种吸附膜模具及其开模方法。旨在解决现有的化学机械研磨中的吸附膜开模时强行对其顶出造成拉扯导致破裂的问题。吸附膜模具，包括：模盖、模底、哈夫块、起吊机构和顶出机构；模盖上设置有向侧边倾斜的楔形槽；模底和模盖的中心位置形成有容纳模芯的腔室；哈夫块至少部分卡接于楔形槽内，且哈夫块的一侧面与模芯贴合连接；起吊机构能够与模盖连接，且起吊机构能够向上起吊模盖时同步向侧边移动哈夫块；顶出机构位于模底的下侧，顶出机构能够将模芯分层顶出。通过起吊机构起吊模盖和哈夫块减轻对吸附膜外侧径的撕扯，通过顶出机构将模芯分层顶出，降低吸附膜发生破裂的概率，提高产品的良率。

技术研发人员：姚力军,惠宏业,脱博,左威,柏钧天,赵梓聿
受保护的技术使用者：上海润平电子材料有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13