本发明属于基板加工，具体而言，涉及一种吸盘工作台的制造方法和基板减薄设备。
背景技术：
：：1、在集成电路/半导体(integrated circuit，简称“ic”)制造的后道制程阶段，为了降低封装贴装高度，减小芯片封装体积，改善芯片的热扩散效率、电气性能、机械性能，以及减轻芯片的加工量，基板在后续封装之前需要进行背面减薄，背面减薄后的芯片厚度甚至可以达到初始厚度的5％以下。2、基板减薄设备中，吸盘工作台(chuck table)是关键零部件之一，其负责承载基板，保证薄化(磨削)精度。3、吸盘工作台的安装精度，尤其是吸盘组件的安装精度对于整个磨削效果的达成有着至关重要的作用。此处的吸盘工作台是指多孔陶瓷吸盘及其对应的安装座。4、吸盘组件作为消耗件，在使用一定时间后需要进行更换；另一方面在需要维修时，也会涉及到吸盘组件的安装和拆卸问题。5、吸盘组件的制造现场装拆，其作业空间有效，影响作业效率；此外，由于操作人员的经验和知识积累不同，在安装吸盘组件时，相应的作业方法不同，这会影响吸盘工作台加工制造的一致性，一定程度上影响吸盘组件的安装效率和安装质量，进而影响吸盘工作台的整体运行情况，影响基板的加工质量。技术实现思路1、本发明实施例提供了一种吸盘工作台的制造方法和基板减薄设备，旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。2、本发明实施例的第一方面提供了一种吸盘工作台的制造方法，其包括：3、s1，将待安装的吸盘工作台朝向减薄基座的侧部旋转；4、s2，将台座上靠近减薄基座侧部的螺栓孔作为基准位置，以所述基准位置为参考确定吸盘组件的螺栓安装顺序；5、s3，根据螺栓安装顺序，控制所述台座的旋转动作，使得所述台座对应的螺栓孔依次旋转至靠近减薄基座侧部；6、s4，依次安装螺栓，以将吸盘组件固定于所述台座。7、在一些实施例中，所述螺栓安装顺序的确定包括：8、s21，将台座上首先靠近减薄基座侧部的螺纹孔作为第一螺栓孔；9、s22，以第一螺栓孔为基准，沿顺时针或逆时针方向，依次间隔一个螺栓孔，确定安装编号为奇数的螺纹孔的位置。10、在一些实施例中，所述螺栓安装顺序的确定还包括：11、s210，以第一螺栓孔和第三螺纹孔为基准，确定经由台座中心的中心线；12、s220，圆心位于所述中心线且远离第一螺栓孔和第三螺栓孔的螺栓孔为第二螺栓孔；13、s230，以第二螺栓孔为基准，沿顺时针或逆时针方向，依次间隔一个螺栓孔，确定安装编号为偶数的螺栓孔的位置。14、在一些实施例中，确认安装编号为奇数对应螺栓孔的方向与确认安装编号为偶数对应螺栓孔的方向相同。15、在一些实施例中，按照螺栓安装顺序，逐级将螺栓安装扭矩增加至设定扭矩。16、在一些实施例中，安装螺栓的扭矩分三次施加，依次为设定扭矩的30-50％、60-80％和100％。17、本发明实施例的第二方面提供了一种基板减薄设备，其包括：18、减薄基座；19、转台，其设置于所述减薄基座的上方，所述转台上间隔配置有多个吸盘工作台，所述吸盘工作台包括台座和可拆卸地安装于台座上方的吸盘组件；20、磨削模块，其设置于所述减薄基座的侧部并位于吸盘工作台的上方；21、在吸盘组件安装或拆卸时，所述台座按照上面所述的吸盘工作台的制造方法间歇性地旋转，操作人员按照设定顺序安装或拆卸螺栓，以实现吸盘组件的安装或拆卸。22、在一些实施例中，基板减薄设备还包括安装监测组件，其设置于所述转台的一侧，并且，所述安装监测组件以投影的方式显示螺栓的安装顺序。23、在一些实施例中，所述安装监测组件包括投影装置，其能够随所述台座同步旋转，并且，朝向所述台座对应的螺栓孔投射显示安装顺序的字符。24、本发明实施例的第三方面提供了一种磨抛一体化设备，其包括：25、设备前端模块，用于实现基板的进出，所述设备前端模块设置在所述磨抛一体化设备的前端；26、上面所述的基板减薄设备，用于对所述基板进行薄化；27、以及抛光模块，其设置在所述设备前端模块与所述基板减薄设备之间，用于对完成减薄的基板进行化学机械抛光。28、本发明实施例的第四方面提供了一种控制设备，其包括：29、至少一个处理器；以及30、至少一个存储器，其上存储有计算机程序；31、所述计算机程序在被所述至少一个处理器执行时，使所述至少一个处理器执行根据上面所述的吸盘工作台的制造方法。32、本发明实施例的第五方面提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时，使所述处理器执行根据上面所述的吸盘工作台的制造方法。33、本发明的有益效果包括：34、a.吸盘工作台的装配制造中，螺栓按照特定的顺序固定，有效增强吸盘组件与台座的贴合度，保证吸盘工作台顶面的平整度；35、b.连接于吸盘组件与台座之间的螺栓以三个为一组固定，三点形成等腰三角形，并且，等腰三角形的中心线经过吸盘工作台的中心点，以在装配过程中对吸盘组件的位置和姿态进行调整，保证吸盘工作台的装配质量；36、c.提供的基板减薄设备还包括安装监测组件，其通过投影显示螺栓的安装顺序，以方便操作人员在作业过程中检查确认螺栓安装的准确性。技术特征：1.一种吸盘工作台的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：2.如权利要求1所述的吸盘工作台的制造方法，其特征在于，所述螺栓安装顺序的确定包括：3.如权利要求2所述的吸盘工作台的制造方法，其特征在于，所述螺栓安装顺序的确定还包括：4.如权利要求3所述的吸盘工作台的制造方法，其特征在于，确认安装编号为奇数对应螺栓孔的方向与确认安装编号为偶数对应螺栓孔的方向相同。5.如权利要求1所述的吸盘工作台的制造方法，其特征在于，按照螺栓安装顺序，逐级将螺栓安装扭矩增加至设定扭矩。6.如权利要求5所述的吸盘工作台的制造方法，其特征在于，安装螺栓的扭矩分三次施加，依次为设定扭矩的30-50％、60-80％和100％。7.一种基板减薄设备，其特征在于，包括：8.如权利要求7所述的基板减薄设备，其特征在于，还包括安装监测组件，其设置于所述转台的一侧，并且，所述安装监测组件以投影的方式显示螺栓的安装顺序。9.如权利要求8所述的基板减薄设备，其特征在于，所述安装监测组件包括投影装置，其能够随所述台座同步旋转，并且，朝向所述台座对应的螺栓孔投射显示安装顺序的字符。10.一种磨抛一体化设备，其特征在于，包括：11.一种控制设备，其特征在于，包括：12.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时，使所述处理器执行根据权利要求1至6中任一项所述的吸盘工作台的制造方法。技术总结本发明公开了一种吸盘工作台的制造方法和基板减薄设备，所述吸盘工作台的制造方法包括：将待安装的吸盘工作台朝向减薄基座的侧部旋转；将台座上靠近减薄基座侧部的螺栓孔作为基准位置，以所述基准位置为参考确定吸盘组件的螺栓安装顺序；根据螺栓安装顺序，控制所述台座的旋转动作，使得所述台座对应的螺栓孔依次旋转至靠近减薄基座侧部；依次安装螺栓，以将吸盘组件固定于所述台座。技术研发人员：马旭,刘远航,赵德文,路新春受保护的技术使用者：华海清科股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/1/13