一种改善蒸发镀膜挡板镀层的结构和真空蒸镀设备的制作方法

本发明涉及蒸发镀膜，具体涉及一种改善蒸发镀膜挡板镀层的结构和蒸镀设备。

背景技术：

1、真空蒸镀简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀的物理过程包括：沉积材料蒸发或升华为气态粒子→气态粒子快速从蒸发源向基片表面输送→气态粒子附着在基片表面形核、长大成固体薄膜→薄膜原子重构或产生化学键合。蒸镀因具有成膜方法简单、沉积效率高、膜结构和性能独特等优点得到广泛的应用。

2、近年来，随着新能源技术的兴起，复合集流体也开始崭露头角。在复合集流体的制造过程中，为提升生产效率，降低生产成本，各制造厂商均选取了蒸发卷绕镀膜设备在膜材上进行高效率沉积金属镀层(铜层、铝层)的工艺方式。然而在实际生产中，坩埚口正上方处盖板上因非镀膜段膜层沉积，将形成较厚的驼峰状膜层，异常情况下膜层甚至延伸至坩埚杯口以下位置，膜层与坩埚口将产生干涉，导致挡板无法打开，若强行打开盖板，不仅容易撞碎坩埚，而且还会引起驼峰状膜层掉渣导致坩埚报废。

3、在专利号为cn216378354u，名称为一种挡板机构的发明中公开了一种挡板机构，该机构中挡板由气缸驱动，以翻转的方式打开。但是该机构有三点缺陷：其一，打开方式为翻转式打开，因蒸发区与蒸发物距离限制，不适用于在卷绕镀膜中；其二，气缸需安装在真空腔体内部且紧挨着高温区，工作环境恶劣，气缸密封及气动管路易发生漏气故障，造成镀膜失败；其三，盖板的打开开度及盖板的往复运动均会严格依赖于两个气缸在伸出量尺寸上的关系，控制难度大，例如310执行气缸伸出量的偏差将导致盖板整体不成水平状态，导致320执行气缸执行水平往复运动困难。

4、因此，亟需一种能够适用于卷绕镀膜中，且可以避免位于坩埚上面的盖板形成较厚的驼峰状膜层，以至于异常情况下，膜层甚至延伸至坩埚杯口以下位置，膜层与坩埚口将产生干涉，导致挡板无法打开，若强行打开盖板，容易撞碎坩埚。

技术实现思路

1、有鉴于此，本发明实施例的目的在于提供一种改善蒸发镀膜挡板镀层的结构和真空蒸镀设备，以解决现有技术中蒸发镀膜过程中挡板镀层厚度不一，导致盖板无法打开或者致使坩埚损坏的技术问题。

2、为达上述目的，本发明实施例提供了一种改善蒸发镀膜挡板镀层的结构，所述改善蒸发镀膜挡板镀层的结构包括：

3、蒸发区安装机架体；

4、蒸发挡板，设置在所述蒸发区安装机架体的上方，所述蒸发挡板两侧设置有滑动机构；

5、驱动系统，设置在所述蒸发区安装机架体上并与所述蒸发挡板连接，所述驱动系统驱动所述蒸发挡板在所述滑动机构上水平方向往复滑动。

6、在一些可能的实施方式中，所述滑动机构包括：包括滑轨、轨道安装座和导轮；

7、所述滑轨通过所述轨道安装座安装在所述蒸发区安装机架体上；

8、所述导轮安装在所述蒸发挡板侧面，并在所述滑轨上往复滑动。

9、在一些可能的实施方式中，所述滑动机构还包括：

10、限位块，位于所述滑轨的两端，分别安装在所述轨道安装座上，所述限位块用于将所述蒸发挡板在水平方向上的移动的距离限制在预设距离内。

11、在一些可能的实施方式中，所述驱动系统包括：第一链条机构、第二链条机构和驱动机构，所述第一链条机构和所述第二链条机构分别设置在所述蒸发挡板的两侧，并位于所述轨道安装座的外侧；

12、所述第一链条机构和所述第二链条机构均包括：第一安装板、链条、主动链轮和从动链轮，所述链条包裹在所述主动链轮和所述从动链轮的外侧，所述链条安装在所述第一安装板的下方；

13、所述从动链轮分别通过第二安装板所述轨道安装座的外侧面的两端；

14、所述驱动机构包括：带有联轴器的驱动电机、传动轴和轴承座，所述传动轴通过所述轴承座安装在所述蒸发区安装机架体的下方；

15、所述传动轴的一端穿过腔体壁上的孔洞与所述联轴器连接，所述传动轴的另一端与所述主动链轮连接。

16、在一些可能的实施方式中，所述驱动系统还包括：

17、万向联轴器，设置在所述传动轴与所述腔体壁上的孔洞之间。

18、在一些可能的实施方式中，所述驱动系统还包括：磁流体，设置在所述腔体壁的孔洞处，所述万向联轴器与所述联轴器通过所述磁流体连接。

19、在一些可能的实施方式中，所述驱动系统还包括：

20、电机安装座，设置在所述腔体壁的外侧，所述驱动电机安装在所述电机安装座上。

21、在一些可能的实施方式中，所述第一安装板设置在所述蒸发挡板的边缘中间位置，所述第一安装板的下侧面设有销孔，所述链条通过所述销孔安装在所述第一安装板的下方；所述链条、所述主动链轮与所述从动链轮的在同一平面上。

22、在一些可能的实施方式中，所述改善蒸发镀膜挡板镀层的结构还包括：

23、冷媒进出管；

24、第一冷媒进出口，设置在所述腔体壁上，并与所述腔体壁外侧的普冷机连接；

25、第二冷媒进出口，对称设置在所述蒸发挡板的两侧的侧面上；

26、所述第一冷媒进出口和所述第二冷媒进出口分别通过所述冷媒进出管连接。

27、第二方面，本发明实施例提供了一种真空蒸镀设备，其特征在于，所述真空镀膜设备包括：有腔体壁组成的真空腔体，以及设置在所述真空腔体内部的蒸发槽、坩埚和一种改善蒸发镀膜挡板镀层的结构，所述坩埚设置在所述蒸发槽的内部，所述蒸发槽设置在蒸发区安装机架体上。

28、在一些可能的实施方式中，所述真空蒸镀设备还包括：自动控制系统，设置在所述真空腔体的外侧，并与所述一种改善蒸发镀膜挡板镀层的结构电连接；所述自动控制系统包括第一控制机构和第二控制机构，

29、所述第一控制机构用于在膜料预熔段和停镀段控制蒸发挡板在第一距离内以第一运行速度水平往复运动；在蒸发段控制所述蒸发盖板在第二距离内以第二运行速度水平往复运动；其中，所述第一距离小于所述第二距离，所述第一运行速度小于所述第二运行速度；

30、所述第二控制机构用于在膜料预熔段和蒸发段控制冷媒的冷却温度为第一温度，在停镀段控制所述冷媒的冷却温度为第二温度；其中，所述第二温度小于所述第一温度。

31、上述技术方案的有益技术效果在于：

32、本发明实施例提供的本发明实施例提供了一种改善蒸发镀膜挡板镀层的结构和真空蒸镀设备，该改善蒸发镀膜挡板镀层的结构包括：蒸发区安装机架体；蒸发挡板，设置在蒸发区安装机架体的上方，蒸发挡板两侧设置有滑动机构；驱动系统，设置在蒸发区安装机架体上并与蒸发挡板连接，驱动系统驱动蒸发挡板在滑动机构上水平方向往复滑动。本发明实施例中通过驱动系统驱动蒸发挡板在所述滑动机构上水平方向往复滑动，使膜层均匀的沉积在蒸发挡板上，从而避免了蒸发挡板沉积过厚为驼峰状后，使得蒸发挡板无法打开，或者强行打开撞坏坩埚的问题。

技术特征：

1.一种改善蒸发镀膜挡板镀层的结构，其特征在于，所述改善蒸发镀膜挡板镀层的结构包括：

2.根据权利要求1所述的一种改善蒸发镀膜挡板镀层的结构，其特征在于，所述滑动机构包括：包括滑轨(203)、轨道安装座(204)和导轮(205)；

3.根据权利要求2所述的一种改善蒸发镀膜挡板镀层的结构，其特征在于，所述滑动机构还包括：

4.根据权利要求2所述的一种改善蒸发镀膜挡板镀层的结构，其特征在于，所述驱动系统包括：第一链条机构、第二链条机构和驱动机构，所述第一链条机构和所述第二链条机构分别设置在所述蒸发挡板(202)的两侧，并位于所述轨道安装座(204)的外侧；

5.根据权利要求4所述的一种改善蒸发镀膜挡板镀层的结构，其特征在于，所述驱动系统还包括：

6.根据权利要求5所述的一种改善蒸发镀膜挡板镀层的结构，其特征在于，所述驱动系统还包括：磁流体(217)，设置在所述腔体壁(100)的孔洞处，所述万向联轴器(216)与所述联轴器(213)通过所述磁流体(217)连接。

7.根据权利要求4所述的一种改善蒸发镀膜挡板镀层的结构，其特征在于，所述驱动系统还包括：

8.根据权利要求4所述的一种改善蒸发镀膜挡板镀层的结构，其特征在于，

9.根据权利要求4所述的一种改善蒸发镀膜挡板镀层的结构，其特征在于，所述改善蒸发镀膜挡板镀层的结构还包括：

10.一种真空蒸镀设备，其特征在于，所述真空镀膜设备包括：由腔体壁(100)组成的真空腔体，以及设置在所述真空腔体内部的蒸发槽(101)、坩埚(102)和权利要求1-9任意一项所述的一种改善蒸发镀膜挡板镀层的结构，所述坩埚(102)设置在所述蒸发槽(101)的内部，所述蒸发槽(101)设置在蒸发区安装机架体(201)上。

11.根据权利要求10所述的一种真空蒸镀设备，其特征在于，所述真空蒸镀设备还包括：自动控制系统，设置在所述腔体壁(100)的外侧，并与所述一种改善蒸发镀膜挡板镀层的结构电连接，所述自动控制系统包括第一控制机构和第二控制机构，

技术总结
本发明供一种改善蒸发镀膜挡板镀层的结构和真空蒸镀设备，该改善蒸发镀膜挡板镀层的结构包括：蒸发区安装机架体；蒸发挡板，设置在蒸发区安装机架体的上方，蒸发挡板两侧设置有滑动机构；驱动系统，设置在蒸发区安装机架体上并与蒸发挡板连接，驱动系统驱动蒸发挡板在滑动机构上水平方向往复滑动。本发明实施例中通过驱动系统驱动蒸发挡板在所述滑动机构上水平方向往复滑动，使膜层均匀的沉积在蒸发挡板上，从而避免了蒸发挡板沉积过厚为驼峰状后，使得蒸发挡板无法打开，或者强行打开撞坏坩埚的问题。

技术研发人员：臧世伟,刘文卿
受保护的技术使用者：重庆金美新材料科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14