一种黑色装饰膜用合金靶材及其制备方法与流程

本发明涉及合金靶材，具体涉及一种黑色装饰膜用合金靶材及其制备方法。

背景技术：

1、靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。有金属类、合金类、氧化物类等等。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。而装饰膜采用合金靶材镀层后，形成黑色装饰膜。

2、现有的合金靶材与装饰膜基材粘接强度不是很好，容易影响镀层的稳定性，进而降低了靶材的效率，基于此，本发明提供一种黑色装饰膜用合金靶材及其制备方法。

技术实现思路

1、针对现有技术的缺陷，本发明的目的是提供一种黑色装饰膜用合金靶材及其制备方法，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、本发明解决技术问题采用如下技术方案：

3、本发明提供了一种黑色装饰膜用合金靶材，包括以下重量百分比原料：

4、铬1.5-2.5%、铌0.5-0.9%、钇0.04-0.08%、改性添加剂0.03-0.05%、硅灰石改性剂0.02-0.04%、余量为钨。

5、优选地，所述黑色装饰膜用合金靶材包括以下重量份原料：

6、铬2.0%、铌0.7%、钇0.06%、改性添加剂0.04%、硅灰石改性剂0.03%、余量为钨。

7、优选地，所述改性添加剂的制备方法为：

8、s1：将硅粉与氧化物添加剂按照重量比4:1送入到球磨机中混合，混合时间为20-30min，混合转速为1000-1500r/min，得到球磨混料；

9、s2：将球磨混料进行热改进处理，处理结束，得到热改进料；

10、s3：热改进料再进行冷等静压处理，处理结束，得到改性添加剂。

11、优选地，所述氧化物添加剂的制备方法为：

12、s1：将氧化铝、氧化铁粉按照重量比3:1混合，然后加入到球磨机中进行球磨，球磨时间为20-30min，球磨转速为1000-1500r/min，球磨结束，得到球磨料；

13、s2：将球磨料送入到等离子体腔内，采用离子源进行双重处理，处理结束，得到氧化物添加剂。

14、优选地，所述离子源双重处理的具体条件为：

15、s1：压力为1-5kpa、功率为1000-1500w，真空度为，采用5-10ml/min的氩气进行处理10-20min；

16、s2：再采用1-3ml/min的四氧化碳处理20-30min，处理结束，即可。

17、优选地，所述热改进处理的具体工艺为：

18、采用300-400℃的温度进行热反应10-20min，然后以1-3℃/min的速率降至150-170℃，最后采用1-5℃的油冷至室温。

19、优选地，所述冷等静压处理的具体条件为：采用100-200mpa的工作压力、5-10℃的温度进行处理15-25min。

20、优选地，所述硅灰石改性剂的制备方法为：

21、s1：将硅灰石送入到300-400℃下热活化10-20min；

22、s2：然后置于质量分数1-5%的十二烷基硫酸钠溶液中进行搅拌分散45-55min，搅拌转速为600-700r/min；

23、s3：然后水洗、干燥，再于150-190℃下进行二次活化25-35min，活化结束，自然冷却至室温，得到硅灰石改性剂。

24、优选地，所述十二烷基硫酸钠溶液为十二烷基硫酸钠、盐酸按照重量比1：5配制而成。

25、本发明还提供了一种黑色装饰膜用合金靶材的制备方法，包括以下步骤：

26、步骤一：将原料铬、铌、钇、改性添加剂、硅灰石改性剂、钨依次加入到烧结机中进行烧结处理，烧结温度为550-650℃，烧结时间为10-20min，得到烧结料；

27、步骤二：将烧结料进行热挤压处理，挤压速度为0.01-0.02米/秒；压力为10-20mpa，挤压温度为200-300℃，挤压时间为5-10min，得到挤压料；

28、步骤三：将步骤二的挤压料送入到球磨机中进行球磨，球磨转速为500-1000r/min，球磨时间为15-25min，得到球磨料；

29、步骤四：将球磨料以1-2℃/min速率升至350-400℃，处理50-60min，然后水淬至150-170℃，处理10-20min，最后空冷至室温，即可。

30、与现有技术相比，本发明具有如下的有益效果：

31、1、本发明提供一种铬钨合金靶材，其与基材的附着力强，且能够满足市场上的黑色系膜层的要求，具有更好的颜色稳定性和可控性。

32、 2、通过在原料基础上，加入了改性添加剂和硅灰石改性剂，二者具有互配的能力，改性添加剂中的硅粉通过与氧化物添加剂的配合，在合金产品中形成稳定钝化状态，提高产品体系的稳定性；而硅灰石粉具有针状结构，弥补产品空隙度，从而进一步的提高产品的稳定性，以及与基材得得得附着力。

33、 3、氧化物添加剂在制备中，通过等离子体腔内处理，激活原料，更好的与硅粉互配，从而再靶材产品制备中，通过热挤压过程，更好的与原料互配反应，同时抑制晶粒的生长，细化晶粒，配合产品的热处理工艺，进而提高产品的稳定性。

技术特征：

1.一种黑色装饰膜用合金靶材，其特征在于，包括以下重量百分比原料：

2.根据权利要求1所述的一种黑色装饰膜用合金靶材，其特征在于，所述黑色装饰膜用合金靶材包括以下重量份原料：

3.根据权利要求2所述一种黑色装饰膜用合金靶材，其特征在于，所述氧化物添加剂的制备方法为：

4.根据权利要求3所述黑色装饰膜用合金靶材，其特征在于，所述离子源双重处理的具体条件为：

5.根据权利要求4所述黑色装饰膜用合金靶材，其特征在于，所述热改进处理的具体工艺为：

6.根据权利要求5所述黑色装饰膜用合金靶材，其特征在于，所述冷等静压处理的具体条件为：采用100-200mpa的工作压力、5-10℃的温度进行处理15-25min。

7.根据权利要求1所述黑色装饰膜用合金靶材，其特征在于，所述硅灰石改性剂的制备方法为：

8.根据权利要求7所述黑色装饰膜用合金靶材，其特征在于，所述十二烷基硫酸钠溶液为十二烷基硫酸钠、盐酸按照重量比1：5配制而成。

9.一种如权利要求1-8任一项所述黑色装饰膜用合金靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

技术总结
本发明公开了一种黑色装饰膜用合金靶材，包括以下重量百分比原料：铬1.5‑2.5%、铌0.5‑0.9%、钇0.04‑0.08%、改性添加剂0.03‑0.05%、硅灰石改性剂0.02‑0.04%、余量为钨，将原料铬、铌、钇、改性添加剂、硅灰石改性剂、钨依次加入到烧结机中进行烧结处理，烧结温度为550‑650℃，烧结时间为10‑20min，得到烧结料。本发明一种铬钨合金靶材，其与基材的附着力强，且能够满足市场上的黑色系膜层的要求，具有更好的颜色稳定性和可控性。

技术研发人员：陈常清,周昭寅,张扬,蔡蓁
受保护的技术使用者：广州市尤特新材料有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12