一种真空蒸镀成膜装置的制作方法

本发明涉及真空蒸镀，特别涉及一种真空蒸镀成膜装置。

背景技术：

1、真空蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法；目前的真空蒸镀成膜装置，不方便工人添加膜料，导致工人加注膜料时费时费力，且不能对工件进行间歇转动，导致膜料不能与工件的不同位置快速接触，降低了成膜效率。

技术实现思路

1、有鉴于此，本发明提供一种真空蒸镀成膜装置，其具有蒸镀成膜组件、密封组件、支撑组件、挡料组件和驱动组件，方便工作人员通过加料拉环将密封板块拉出，便于工作人员将膜料放置在蒸镀成膜壳体的内部底侧，当电机工作时透气支撑罩间歇转动，使得透气支撑罩内部的工件发生转动，便于对工件的不同位置蒸镀，提高了成膜效率。

2、本发明提供了一种真空蒸镀成膜装置的目的与功效，具体包括：蒸镀成膜组件、真空组件、密封组件、支撑组件、定位组件、挡料组件和驱动组件；

3、所述真空组件安装在蒸镀成膜组件的顶部；所述密封组件安装在蒸镀成膜组件上；所述支撑组件安装在蒸镀成膜组件的内部；所述定位组件安装在蒸镀成膜组件的左侧；所述挡料组件安装在支撑组件的内部；所述驱动组件安装在蒸镀成膜组件的左侧；

4、所述蒸镀成膜组件包括：蒸镀成膜壳体和u型加热丝；所述蒸镀成膜壳体整体为长方体结构；所述u型加热丝共设有三个，且三个u型加热丝固定安装在蒸镀成膜壳体的内部。

5、进一步的，所述支撑组件还包括：固定杆、旋转柄和齿轮a；所述固定杆螺纹连接在透气支撑罩的右侧；所述旋转柄固定安装在固定杆的内部；所述齿轮a固定安装在安装轴的外壁。

6、进一步的，所述真空组件包括：支撑架、真空泵、吸气管和排气管；所述支撑架共设有两个，且两个支撑架固定安装在蒸镀成膜壳体的顶部；所述真空泵固定安装在两个支撑架的内部；所述吸气管固定安装在真空泵的左侧，且吸气管的底部插入在蒸镀成膜壳体的内部；所述排气管固定安装在真空泵的右侧。

7、进一步的，所述定位组件包括：定位座和定位杆；所述定位座固定安装在蒸镀成膜壳体的左侧；所述定位杆滑动安装在定位座的内部，且定位杆的顶部为半球形结构，并且定位杆插入在下方的定位凹槽中。

8、进一步的，所述密封组件包括：导向轴、密封板块和限位挡板；所述导向轴共设有两个，且两个导向轴滑动安装在蒸镀成膜壳体的内部；所述密封板块固定安装在两个导向轴的前侧；所述限位挡板固定安装在密封板块的前侧，且限位挡板的后侧与蒸镀成膜壳体接触。

9、进一步的，所述定位组件还包括：限位圆环c和复位弹簧；所述限位圆环c固定安装在定位杆的外壁；所述复位弹簧安装在定位杆的外部，且复位弹簧位于定位座和限位圆环c之间。

10、进一步的，所述密封组件还包括：限位圆环a、强力磁铁和加料拉环；所述限位圆环a共设有两个，且两个限位圆环a固定安装在两个导向轴的外壁；所述强力磁铁共设有四个，且四个强力磁铁固定安装在限位挡板的内部，并且四个强力磁铁与蒸镀成膜壳体接触；所述加料拉环固定安装在限位挡板的前侧。

11、进一步的，所述挡料组件包括：挡料板和拉手；所述挡料板滑动安装在透气支撑罩的内部；所述拉手固定安装在挡料板的前侧。

12、进一步的，所述支撑组件包括：安装轴、定位凹槽、透气支撑罩和限位圆环b；所述安装轴转动安装在蒸镀成膜壳体的内部，且安装轴的外壁设置有六个定位凹槽；所述透气支撑罩固定安装在安装轴的右侧；所述限位圆环b固定安装在安装轴的外壁，且限位圆环b的右侧与蒸镀成膜壳体接触。

13、进一步的，所述驱动组件还包括：固定架、电机和缺齿轮b；所述固定架固定安装在蒸镀成膜壳体的左侧；所述电机固定安装在固定架的内部；所述缺齿轮b固定安装在电机上，且缺齿轮b与齿轮a啮合连接。

14、有益效果

15、1、本发明因三个u型加热丝固定安装在蒸镀成膜壳体的内部，从而对膜料起到了加热作用，使得蒸镀成膜壳体内部底侧的膜料气化，实现了工件的自动成膜，又因吸气管固定安装在真空泵的左侧，且吸气管的底部插入在蒸镀成膜壳体的内部，并且排气管固定安装在真空泵的右侧，进而当真空泵工作时，蒸镀成膜壳体内部的气体通过排气管排出，实现了真空蒸镀。

16、2、本发明因两个导向轴滑动安装在蒸镀成膜壳体的内部，且密封板块固定安装在两个导向轴的前侧，并且加料拉环固定安装在限位挡板的前侧，从而方便工作人员通过加料拉环将密封板块拉出，便于工作人员将膜料放置在蒸镀成膜壳体的内部底侧，又因四个强力磁铁固定安装在限位挡板的内部，且四个强力磁铁与蒸镀成膜壳体接触，进而对限位挡板起到了限位作用，避免了密封板块发生移动，提高了密封效果。

17、3、本发明因透气支撑罩固定安装在安装轴的右侧，从而对工件起到了支撑作用，又因齿轮a固定安装在安装轴的外壁，且缺齿轮b固定安装在电机上，并且缺齿轮b与齿轮a啮合连接，从而当电机工作时透气支撑罩间歇转动，使得透气支撑罩内部的工件发生转动，便于对工件的不同位置蒸镀，提高了成膜效率，又因挡料板滑动安装在透气支撑罩的内部，且固定杆的左侧与挡料板接触，进而对透气支撑罩内部的工件起到了阻挡作用。

18、4、本发明因定位杆滑动安装在定位座的内部，且定位杆的顶部为半球形结构，并且定位杆插入在下方的定位凹槽中，从而对安装轴起到了定位作用，使得透气支撑罩间歇转动后更加稳定，又因复位弹簧安装在定位杆的外部，且复位弹簧位于定位座和限位圆环c之间，进而实现了定位杆的自动复位。

技术特征：

1.一种真空蒸镀成膜装置，其特征在于，包括：蒸镀成膜组件(1)、真空组件(2)、密封组件(3)、支撑组件(4)、定位组件(5)、挡料组件(6)和驱动组件(7)；

2.根据权利要求1所述一种真空蒸镀成膜装置，其特征在于：所述真空组件(2)包括：支撑架(201)、真空泵(202)、吸气管(203)和排气管(204)；所述支撑架(201)共设有两个，且两个支撑架(201)固定安装在蒸镀成膜壳体(101)的顶部；所述真空泵(202)固定安装在两个支撑架(201)的内部；所述吸气管(203)固定安装在真空泵(202)的左侧，且吸气管(203)的底部插入在蒸镀成膜壳体(101)的内部；所述排气管(204)固定安装在真空泵(202)的右侧。

3.根据权利要求1所述一种真空蒸镀成膜装置，其特征在于：所述密封组件(3)包括：导向轴(301)、密封板块(302)和限位挡板(303)；所述导向轴(301)共设有两个，且两个导向轴(301)滑动安装在蒸镀成膜壳体(101)的内部；所述密封板块(302)固定安装在两个导向轴(301)的前侧；所述限位挡板(303)固定安装在密封板块(302)的前侧，且限位挡板(303)的后侧与蒸镀成膜壳体(101)接触。

4.根据权利要求3所述一种真空蒸镀成膜装置，其特征在于：所述密封组件(3)还包括：限位圆环a(304)、强力磁铁(305)和加料拉环(306)；所述限位圆环a(304)共设有两个，且两个限位圆环a(304)固定安装在两个导向轴(301)的外壁；所述强力磁铁(305)共设有四个，且四个强力磁铁(305)固定安装在限位挡板(303)的内部，并且四个强力磁铁(305)与蒸镀成膜壳体(101)接触；所述加料拉环(306)固定安装在限位挡板(303)的前侧。

5.根据权利要求1所述一种真空蒸镀成膜装置，其特征在于：所述支撑组件(4)包括：安装轴(401)、定位凹槽(4011)、透气支撑罩(402)和限位圆环b(403)；所述安装轴(401)转动安装在蒸镀成膜壳体(101)的内部，且安装轴(401)的外壁设置有六个定位凹槽(4011)；所述透气支撑罩(402)固定安装在安装轴(401)的右侧；所述限位圆环b(403)固定安装在安装轴(401)的外壁，且限位圆环b(403)的右侧与蒸镀成膜壳体(101)接触。

6.根据权利要求5所述一种真空蒸镀成膜装置，其特征在于：所述支撑组件(4)还包括：固定杆(404)、旋转柄(405)和齿轮a(406)；所述固定杆(404)螺纹连接在透气支撑罩(402)的右侧；所述旋转柄(405)固定安装在固定杆(404)的内部；所述齿轮a(406)固定安装在安装轴(401)的外壁。

7.根据权利要求5所述一种真空蒸镀成膜装置，其特征在于：所述定位组件(5)包括：定位座(501)和定位杆(502)；所述定位座(501)固定安装在蒸镀成膜壳体(101)的左侧；所述定位杆(502)滑动安装在定位座(501)的内部，且定位杆(502)的顶部为半球形结构，并且定位杆(502)插入在下方的定位凹槽(4011)中。

8.根据权利要求7所述一种真空蒸镀成膜装置，其特征在于：所述定位组件(5)还包括：限位圆环c(503)和复位弹簧(504)；所述限位圆环c(503)固定安装在定位杆(502)的外壁；所述复位弹簧(504)安装在定位杆(502)的外部，且复位弹簧(504)位于定位座(501)和限位圆环c(503)之间。

9.根据权利要求5所述一种真空蒸镀成膜装置，其特征在于：所述挡料组件(6)包括：挡料板(601)和拉手(602)；所述挡料板(601)滑动安装在透气支撑罩(402)的内部；所述拉手(602)固定安装在挡料板(601)的前侧。

10.根据权利要求6所述一种真空蒸镀成膜装置，其特征在于：所述驱动组件(7)还包括：固定架(701)、电机(702)和缺齿轮b(703)；所述固定架(701)固定安装在蒸镀成膜壳体(101)的左侧；所述电机(702)固定安装在固定架(701)的内部；所述缺齿轮b(703)固定安装在电机(702)上，且缺齿轮b(703)与齿轮a(406)啮合连接。

技术总结
本发明提供一种真空蒸镀成膜装置，涉及真空蒸镀领域，包括：蒸镀成膜组件；所述真空组件安装在蒸镀成膜组件的顶部；所述密封组件安装在蒸镀成膜组件上；所述支撑组件安装在蒸镀成膜组件的内部；所述定位组件安装在蒸镀成膜组件的左侧；所述挡料组件安装在支撑组件的内部；所述驱动组件安装在蒸镀成膜组件的左侧；所述蒸镀成膜壳体整体为长方体结构；所述U型加热丝共设有三个，且三个U型加热丝固定安装在蒸镀成膜壳体的内部；本发明当电机工作时透气支撑罩间歇转动，使得透气支撑罩内部的工件发生转动，便于对工件的不同位置蒸镀；解决了不能对工件进行间歇转动，导致膜料不能与工件的不同位置快速接触的问题。

技术研发人员：韩敬坤,顾红军
受保护的技术使用者：昆山三凯光电科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15