玻璃基板夹具以及抛光系统的制作方法

本发明涉及玻璃基板的加工，具体地涉及一种玻璃基板夹具以及抛光系统。

背景技术：

1、在对玻璃基板进行抛光作业时，通常会将玻璃基板固定在治具上。目前，用于固定玻璃基板的治具通常利用胶水粘附在抛光装置的下盘，这样，利用胶水连接的玻璃基板的治具极易在抛光中脱落，且更换治具时除胶、拆卸安装大直径铝合金盘极其浪费人力。

技术实现思路

1、本发明的目的是为了克服现有技术存在的利用胶水连接的玻璃基板的治具极易在抛光中脱落的问题，提供一种玻璃基板夹具，该玻璃基板夹具具有安装孔，以供限定夹具主体的固定连接件穿过。

2、为了实现上述目的，本发明一方面提供一种玻璃基板夹具，所述玻璃基板夹具包括夹具主体，所述夹具主体具有能够承载玻璃基板的承载面，所述夹具主体设置有腔室，所述承载面开设有与所述腔室相连通的吸附孔，所述腔室具有抽气孔，所述抽气孔构造为当对所述抽气孔进行抽真空时能够使得所述吸附孔吸附所述玻璃基板，所述玻璃基板夹具还包括设置在所述夹具主体的边缘处的供限定所述夹具主体的固定连接件穿过的安装孔，所述安装孔沿所述夹具主体的厚度方向延伸。

3、上述技术方案，通过设置安装孔，可实现玻璃基板夹具的稳固连接，使得玻璃基板夹具不易脱落，提高了作业安全性。

4、优选地，所述夹具主体包括：

5、底座，所述底座构造有凹陷部；以及

6、盖板，所述盖板设置有沿所述盖板的厚度方向延伸的通孔，所述通孔形成为所述吸附孔，所述盖板盖设在所述底座上，所述盖板和所述底座共同围合形成所述腔室；其中：

7、所述安装孔设置在所述底座的边缘处。

8、优选地，所述底座设置有环绕所述凹陷部的安装槽，所述夹具主体包括装配在所述安装槽的密封件；和/或

9、所述底座的侧壁设置有允许能够限定所述底座的底座定位件穿过的定位孔，所述定位孔沿着横穿所述底座的方向延伸。

10、优选地，所述盖板包括盖设在所述底座上的第一盖板，所述第一盖板设置有与所述凹陷部相通的第一通孔，以形成所述吸附孔。

11、优选地，所述玻璃基板夹具包括定位结构，所述定位结构能够限定将所述第一盖板和所述底座相固定的盖板定位件；其中：

12、所述定位结构包括开设在所述第一盖板的供所述盖板定位件穿过的盖板定位孔，所述盖板定位孔沿所述第一盖板的厚度方向延伸；所述定位结构还包括设置在所述凹陷部的底部的定位柱，所述定位柱开设有沿所述底座的厚度方向延伸且供所述盖板定位件伸入的限位孔。

13、优选地，所述盖板包括覆盖在所述第一盖板上的第二盖板，所述第二盖板设置有沿所述第二盖板的厚度方向延伸的第二通孔，所述第二通孔与所述第一通孔相对应以形成相应的所述吸附孔，其中，所述第二盖板为柔性件。

14、优选地，所述第二盖板的背离所述第一盖板的面形成有能够容置所述玻璃基板的凹部，所述凹部的深度小于所述玻璃基板的厚度。

15、优选地，所述玻璃基板夹具包括设置在所述第一盖板和所述第二盖板之间的限位机构，所述限位机构包括限位凹槽和能够卡入所述限位凹槽的限位凸台，其中，所述限位凹槽设置在所述第一盖板上，所述限位凸台设置在所述第二盖板上，或者，所述限位凹槽设置在所述第二盖板上，所述限位凸台设置在所述第一盖板上。

16、优选地，所述承载面开设有多个所述吸附孔，多个所述吸附孔均匀分布在所述承载面。

17、本发明第二方面提供一种抛光系统，所述抛光系统中设置有本发明所提供的玻璃基板夹具。通过将上述玻璃基板夹具装配在抛光系统中，从而能够稳固的限定玻璃基板，有效提高抛光作业效率，并且在抛光的过程中，玻璃基板夹具不易脱落，提高了作业安全性。

技术特征：

1.玻璃基板夹具，其特征在于，所述玻璃基板夹具(10)包括夹具主体(12)，所述夹具主体(12)具有能够承载玻璃基板(20)的承载面，所述夹具主体(12)设置有腔室(120)，所述承载面开设有与所述腔室(120)相连通的吸附孔(122)，所述腔室(120)具有抽气孔(125)，所述抽气孔(125)构造为当对所述抽气孔(125)进行抽真空时能够使得所述吸附孔(122)吸附所述玻璃基板(20)，所述玻璃基板夹具(10)还包括设置在所述夹具主体(12)的边缘处的供限定所述夹具主体(12)的固定连接件穿过的安装孔(140)，所述安装孔(140)沿所述夹具主体(12)的厚度方向延伸。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板夹具，其特征在于，所述夹具主体(12)包括：

3.根据权利要求2所述的玻璃基板夹具，其特征在于，所述底座(121)设置有环绕所述凹陷部(124)的安装槽(126)，所述夹具主体(12)包括装配在所述安装槽(126)的密封件；和/或

4.根据权利要求2所述的玻璃基板夹具，其特征在于，所述盖板(123)包括盖设在所述底座(121)上的第一盖板(123a)，所述第一盖板(123a)设置有与所述凹陷部(124)相通的第一通孔(110)，以形成所述吸附孔(122)。

5.根据权利要求4所述的玻璃基板夹具，其特征在于，所述玻璃基板夹具(10)包括定位结构，所述定位结构能够限定将所述第一盖板(123a)和所述底座(121)相固定的盖板定位件(113)；其中：

6.根据权利要求4所述的玻璃基板夹具，其特征在于，所述盖板(123)包括覆盖在所述第一盖板(123a)上的第二盖板(123b)，所述第二盖板(123b)设置有沿所述第二盖板(123b)的厚度方向延伸的第二通孔(130)，所述第二通孔(130)与所述第一通孔(110)相对应以形成相应的所述吸附孔(122)，其中，所述第二盖板(123b)为柔性件。

7.根据权利要求6所述的玻璃基板夹具，其特征在于，所述第二盖板(123b)的背离所述第一盖板(123a)的面形成有能够容置所述玻璃基板(20)的凹部，所述凹部的深度小于所述玻璃基板的厚度。

8.根据权利要求6所述的玻璃基板夹具，其特征在于，所述玻璃基板夹具(10)包括设置在所述第一盖板(123a)和所述第二盖板(123b)之间的限位机构(18)，所述限位机构(18)包括限位凹槽(180)和能够卡入所述限位凹槽(180)的限位凸台(182)，其中，所述限位凹槽(180)设置在所述第一盖板(123a)上，所述限位凸台(182)设置在所述第二盖板(123b)上，或者，所述限位凹槽(180)设置在所述第二盖板(123b)上，所述限位凸台(182)设置在所述第一盖板(123a)上。

9.根据权利要求1-8中任意一项所述的玻璃基板夹具，其特征在于，所述承载面开设有多个所述吸附孔(122)，多个所述吸附孔(122)均匀分布在所述承载面。

10.抛光系统，其特征在于，所述抛光系统中设置有权利要求1-9中任意一项所述的玻璃基板夹具(10)。

技术总结
本发明涉及玻璃基板的加工技术领域，公开了一种玻璃基板夹具以及抛光系统，所述玻璃基板夹具包括夹具主体，所述夹具主体具有能够承载玻璃基板的承载面，所述夹具主体设置有腔室，所述承载面开设有与所述腔室相连通的吸附孔，所述腔室具有抽气孔，所述抽气孔构造为当对所述抽气孔进行抽真空时能够使得所述吸附孔吸附所述玻璃基板，所述玻璃基板夹具还包括设置在所述夹具主体的边缘处的供限定所述夹具主体的固定连接件穿过的安装孔，所述安装孔沿所述夹具主体的厚度方向延伸。通过设置安装孔，可实现玻璃基板夹具的稳固连接，使得玻璃基板夹具不易脱落，提高了作业安全性。

技术研发人员：高尚,高云蛟,展贵鑫
受保护的技术使用者：河南曲显光电科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16