一种滤光片及其制备方法和应用与流程

本发明属于滤光片，具体涉及一种滤光片及其制备方法和应用。

背景技术：

1、紫外或极紫外滤光片是一种常用的光学元件（超薄金属膜），是根据金属元素在其吸收紫外或极紫外波段的光波前后透射特性的变化制作得到的。由于紫外或极紫外滤光片具有无基底自支撑以及厚度较小的特性被广泛应用于天文观测、同步辐射、极紫外光刻以及等离子体诊断等领域。

2、目前主要通过在可溶性衬底表面磁控溅射金属薄膜后除去可溶性衬底的方式制备滤光片，在使用滤光片的过程中需要利用粘结剂对滤光片进行粘结固定。例如中国专利cn111933327a采用环氧树脂、液体胶等对滤光片进行粘结固定。但是现有的固定滤光片的方式会对滤光片表面造成污染且结合力不均匀会导致滤光片发生褶皱甚至破损，从而影响滤光片的质量。

技术实现思路

1、有鉴于此，本发明提供了一种滤光片及其制备方法和应用，本发明在制备滤光片的过程中就直接对其进行了固定，避免后续固定过程对滤光片的损伤，保证了滤光片的使用性能。

2、为了解决上述技术问题，本发明提供了一种滤光片的制备方法，包括以下步骤：

3、在组合基底表面磁控溅射金属薄膜5后与第二固定环4结合，得到初级滤光片；所述组合基底包括第一固定环2和与所述第一固定环2内表面结合的可溶性衬底1；所述第二固定环4和第一固定环2分别位于金属薄膜5两侧；

4、将所述初级滤光片浸泡于溶解剂，得到所述滤光片。

5、优选的，所述组合基底的制备方法包括以下步骤：

6、将第一固定环2浸泡于可溶性衬底溶液中进行结晶，得到组合基底。

7、优选的，所述可溶性衬底溶液为氯化钠溶液；所述可溶性衬底溶液中含有片状结晶种子，所述片状结晶种子置于第一固定环（2）中心；

8、所述结晶为降温结晶，所述降温结晶的温度为0~5℃。

9、优选的，所述可溶性衬底1的厚度不小于第一固定环2的厚度。

10、优选的，所述结晶后还包括：将结晶后冗余的晶体进行打磨和抛光。

11、优选的，所述第一固定环2和第二固定环4独立的包括若干螺孔3，所述结合为利用螺栓通过螺孔3结合。

12、优选的，所述第一固定环2和第二固定环4的形状一致；所述第一固定环2和第二固定环4的内环横截面形状包括圆形、矩形或六边形；所述第一固定环2和第二固定环4的厚度为1~3mm。

13、优选的，所述磁控溅射的真空度为1×10-4~3×10-4pa；所述金属薄膜的厚度为0.1~2μm。

14、本发明还提供了按照上述技术方案所述制备方法制备得到的滤光片，所述滤光片包括第一固定环2、第二固定化4和边缘被所述第一固定环2和第二固定环4夹持的金属薄膜5。

15、本发明还提供了上述技术方案所述滤光片在极紫外光刻、同步辐射或空间探测中的应用。

16、本发明提供了一种滤光片的制备方法，包括以下步骤：在组合基底表面磁控溅射金属薄膜5后与第二固定环4结合，得到初级滤光片；所述组合基底包括第一固定环2和与所述第一固定环2内表面结合的可溶性衬底1；所述第二固定环4和第一固定环2分别位于金属薄膜5两侧；将所述初级滤光片浸泡于溶解剂，得到所述滤光片。本发明直接在组合基底表面磁控溅射金属薄膜，由于连续成膜直接使金属薄膜与第一固定环结合，利用第二固定环4和第一固定环2连接进一步固定金属薄膜，可直接使用，省去了使用过程中二次固定的步骤，避免二次固定对滤光片造成损伤。

技术特征：

1.一种滤光片的制备方法，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述制备方法，其特征在于，所述组合基底的制备方法包括以下步骤：

3.根据权利要求2所述制备方法，其特征在于，所述可溶性衬底溶液为氯化钠溶液；所述可溶性衬底溶液中含有片状结晶种子，所述片状结晶种子置于第一固定环（2）中心；

4.根据权利要求1~3任一项所述制备方法，其特征在于，所述可溶性衬底（1）的厚度不小于第一固定环（2）的厚度。

5.根据权利要求4所述制备方法，其特征在于，所述结晶后还包括：将结晶后冗余的晶体进行打磨和抛光。

6.根据权利要求1所述制备方法，其特征在于，所述第一固定环（2）和第二固定环（4）独立的包括若干螺孔（3），所述结合为利用螺栓通过螺孔（3）结合。

7.根据权利要求1或6所述制备方法，其特征在于，所述第一固定环（2）和第二固定环（4）的形状一致；所述第一固定环（2）和第二固定环（4）的内环横截面形状包括圆形、矩形或六边形；所述第一固定环（2）和第二固定环（4）的厚度为1~3mm。

8.根据权利要求1所述制备方法，其特征在于，所述磁控溅射的真空度为1×10-4~3×10-4pa；所述金属薄膜的厚度为0.1~2μm。

9.按照权利要求1~8任一项所述制备方法制备得到的滤光片，其特征在于，所述滤光片包括第一固定环（2）、第二固定化（4）和边缘被所述第一固定环（2）和第二固定环（4）夹持的金属薄膜（5）。

10.权利要求9所述滤光片在极紫外光刻、同步辐射或空间探测中的应用。

技术总结
本发明属于滤光片技术领域，具体涉及一种滤光片及其制备方法和应用。本发明提供了一种滤光片的制备方法，包括以下步骤：在组合基底表面磁控溅射金属薄膜5后与第二固定环4结合，得到初级滤光片；所述组合基底包括第一固定环2和与所述第一固定环2内表面结合的可溶性衬底1；所述第二固定环4和第一固定环2分别位于金属薄膜5两侧；将所述初级滤光片浸泡于溶解剂，得到所述滤光片。本发明直接在组合基底表面磁控溅射金属薄膜，由于连续成膜直接使金属薄膜与第一固定环结合，利用第二固定环4和第一固定环2连接进一步固定金属薄膜，可直接使用，省去了使用过程中二次固定的步骤，避免二次固定对滤光片造成损伤。

技术研发人员：金长利,郭胜,徐闰
受保护的技术使用者：科晶瑞思（苏州）科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14