一种分光片的加工方法与流程

本发明涉及光学加工，特别是涉及一种分光片的加工方法。

背景技术：

1、分光片是将入射光按照不同比例分成两束出射光，一部分光线透过镜片，一部分光线反射。在很多科学仪器的光学系统中有着广泛的应用。

2、镀膜点阵分光片，如常见的镀铝点阵分光片，主要在玻璃基底表面上镀不同尺寸的点阵铝来实现分光，通过调节镀铝的面积来实现不同的分光比。该分光片对于光谱能量吸收量少，效率高，同时对于入射光不敏感等优点得到广泛的应用。同时反射膜和石英玻璃都有很宽范的光谱范围，所以两者配合可以实现很宽的光谱范围内的分光。

3、镀膜点阵分光片一种加工方式是采用石英玻璃镀膜，然后用机加工的方式去除一部分膜，实现半透半反射功能。大部分使用精密雕刻机，将不需要的膜部分进行去除作业，点阵的数量往往是上千个，加工时长会很长，同时加工过程可能会划伤镜面，成品率也不高。如何用简单方法和低成本实现镀膜点阵分光片的加工迫在眉睫。

技术实现思路

1、有鉴于此，本发明提供了一种分光片的加工方法，目的在于用简单方法和低成本实现镀膜点阵分光片的加工。

2、为此，本发明提供了以下技术方案：

3、本发明公开了一种分光片的加工方法，所述方法包括：

4、采用薄金属板蚀刻工艺成型点阵孔磨具；所述磨具包括放置玻璃基底的限位孔位、蚀刻金属网和其配合的上、下固定板；所述蚀刻金属网通过上、下两侧的固定板与磨具固定，所述蚀刻金属网上侧的固定板上开设有通孔，作为放置玻璃基底的限位孔位；

5、制备玻璃基底，并将所述玻璃基底放置于所述磨具的限位孔位中，使其一侧与蚀刻金属网贴合；

6、对贴合了所述蚀刻金属网的所述玻璃基底进行真空膜蒸镀，在所述玻璃基底上形成镀膜点阵。

7、进一步地，所述磨具包括多个放置玻璃基底的限位孔位。

8、进一步地，所述蚀刻金属网采用磁性材质；所述方法还包括：

9、制备与所述玻璃基底大小相同的磁性压块，并将所述磁性压块贴合至所述玻璃基底的另一侧。

10、进一步地，所述磁性压块为钕铁硼磁铁或是磁化的铁片；所述磁性材料采用sus430或者铁板。

11、进一步地，所述磁性压块采用普通金属压块，所述蚀刻金属网采用非磁性材质。

12、进一步地，所述蚀刻金属网采用sus304。

13、进一步地，还包括：利用预紧结构对所述蚀刻金属网进行拉伸预紧，在这种状态下，再用上下两层固定板配合多个螺丝将预紧的蚀刻金属网压紧，使其维持预紧状态。

14、进一步地，还包括：制备玻璃基底保护层，并将玻璃基底保护层至于所述玻璃基底和所述压块之间。

15、进一步地，所述玻璃基底保护层为聚四氟乙烯ptfe材质。

16、进一步地，所述蚀刻金属网上侧固定板的两端设置有支撑柱，所述支撑柱支撑压板，所述压板通过固定螺丝与所述支撑柱固定连接，使所述压板位于所述磁性压块上方，所述磁性压块与所述压板之间通过弹性件连接。

17、本发明的优点和积极效果：

18、本发明中的镀膜点阵分光片的加工方法，使用磨具成型的方式制备镀膜点阵分光片，加工方法简单快速，能够低成本实现镀膜点阵分光片的加工。

技术特征：

1.一种分光片的加工方法，其特征在于，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的一种分光片的加工方法，其特征在于，所述磨具包括多个放置玻璃基底的限位孔位。

3.根据权利要求1所述的一种分光片的加工方法，其特征在于，所述蚀刻金属网采用磁性材质；所述方法还包括：

4.根据权利要求3所述的一种分光片的加工方法，其特征在于，所述磁性压块为钕铁硼磁铁或是磁化的铁片；所述磁性材料采用sus430或者铁板。

5.根据权利要求1所述的一种分光片的加工方法，其特征在于，所述磁性压块采用普通金属压块，所述蚀刻金属网采用非磁性材质。

6.根据权利要求5所述的一种分光片的加工方法，其特征在于，所述蚀刻金属网采用sus304。

7.根据权利要求1～6任一项所述的一种分光片的加工方法，其特征在于，还包括：利用预紧结构对所述蚀刻金属网进行拉伸预紧，在这种状态下，再用上下两层固定板配合多个螺丝将预紧的蚀刻金属网压紧，使其维持预紧状态。

8.根据权利要求7所述的一种分光片的加工方法，其特征在于，还包括：制备玻璃基底保护层，并将玻璃基底保护层至于所述玻璃基底和所述压块之间。

9.根据权利要求8所述的一种分光片的加工方法，其特征在于，所述玻璃基底保护层为聚四氟乙烯ptfe材质。

10.根据权利要求7所述的一种分光片的加工方法，其特征在于，所述蚀刻金属网上侧固定板的两端设置有支撑柱，所述支撑柱支撑压板，所述压板通过固定螺丝与所述支撑柱固定连接，使所述压板位于所述磁性压块上方，所述磁性压块与所述压板之间通过弹性件连接。

技术总结
本发明公开了一种分光片的加工方法，涉及光学加工技术领域，采用薄金属板蚀刻工艺成型点阵孔磨具；磨具包括放置玻璃基底的限位孔位、蚀刻金属网和其配合的上、下固定板；蚀刻金属网通过上、下两侧的固定板与磨具固定，蚀刻金属网上侧的固定板上开设有通孔，作为放置玻璃基底的限位孔位；制备玻璃基底，并将玻璃基底放置于磨具的限位孔位中，使其一侧与蚀刻金属网贴合；对贴合了蚀刻金属网的玻璃基底进行真空膜蒸镀，在玻璃基底上形成镀膜点阵。本发明使用磨具成型的方式制备镀膜点阵分光片，加工方法简单快速，能够低成本实现分光片的加工。

技术研发人员：戚志强
受保护的技术使用者：华谱科仪（北京）科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15