一种制备光学镀膜的装置的制作方法

本发明涉及光学镀膜，特别是涉及一种制备光学镀膜的装置。

背景技术：

1、光学镀膜广泛应用于光学仪器，如传感器、半导体镭射、干涉仪、眼镜以及光纤通讯组件等很多领域，光学镀膜通常是通过干涉作用而达到其预期效果，即在光学组件或独立基板上镀上一层或多层的介电质膜或金属膜来改变光波传输特性。

2、目前，光学镀膜通常采用物理蒸馏法为主，这种方法是将薄膜材料由固态转化为气态或离子态，气态或离子态的材料由蒸发源穿越空间，抵达基板表面，材料抵达基板表面后，沉积形成薄膜，为保证薄膜的纯度，通常采用真空环境镀膜作业，一般做法是基片使用超声波洗净后放入夹具中，送入镀膜机进行加热并抽真空，在达到指定条件后，以电子枪或电阻式加热，将薄膜材料变成离子态，对基片进行镀膜作业，镀膜时间根据层数不同而不同，镀膜完全后，冷却后取出。

3、目前的光学镀膜设备，所采用的夹具为镀膜伞架，镀膜伞架包括伞骨结构的承载架及放置在承载架上的扇形伞面结构的放置板，放置板上均布用于放置基片的固定槽，承载架与转轴固定连接，每次镀膜完全后，需要将放置板从承载架上取出从而取出基片，由于基片尺寸较小，一次镀膜量较大，所以目前的光学镀膜设备体积较大，夹具离地面较高，安拆放置板的时候，需要最少两人配合操作，一人踩在高台上进行安拆作业，另一人辅助进行物料传递，作业成本高，存在极大的安全隐患。

技术实现思路

1、针对上述问题，本发明提供了一种制备光学镀膜的装置，镀膜伞架高度可调，可以方便安拆放置板，单人就可以操作，可以有效降低作业风险，降低作业成本。

2、本发明的技术方案是：

3、一种制备光学镀膜的装置，包括真空镀膜室、转动轴、镀膜伞架以及蒸镀源，所述转动轴连接并设置在真空镀膜室的顶部，所述蒸镀源设置在真空镀膜室的底部，所述镀膜伞架与转动轴同轴连接，所述转动轴为伸缩旋转轴，所述真空镀膜室内壁沿其轴线方向同轴设置凹槽型的滑道，所述滑道底板处设置高度调节机构，所述镀膜伞架外边缘延伸设置环形凸缘，所述环形凸缘伸入滑道内，所述滑道长度大于环形凸缘厚度，所述环形凸缘底部与高度调节机构接触。

4、所述滑道与真空镀膜室内壁为一体式结构。

5、所述高度调节机构包括均布在滑道内的三个同步伸缩气缸，每个所述同步伸缩气缸的缸筒与滑道固定连接，每个所述同步伸缩气缸的活塞与所述环形凸缘接触。

6、所述环形凸缘面向高度调节机构的一面表面设置耐磨层。

7、每个所述同步伸缩气缸同轴套设有防护罩，所述防护罩与活塞固定连接。

8、所述防护罩表面设置耐磨层。

9、所述转动轴包括主轴、与主轴同轴固定连接的固定盘、与固定盘平行的调节盘、连接固定盘与调节盘的多个滑动杆，每个所述滑动杆轴线方向与主轴轴线方向平行，所述调节盘与镀膜伞架同轴且固定连接，所述固定盘以轴线为回转中心均布对应滑动杆的通孔，每个通孔内可滑动的设置一根滑动杆，每个所述滑动杆与调节盘固定连接。

10、所述滑动杆长度大于活塞长度。

11、所述滑动杆数量为三。

12、本发明的有益效果是：

13、在真空镀膜室内设置高度调节机构，配合伸缩旋转轴，在镀膜前可以下移镀膜伞架方便安全放置基片，作业时方便提升至工作位置，不会影响镀膜伞架的旋转，在镀膜结束后，可以方便的将镀膜伞架下移，方便将镀膜伞架上的基片取出，可以有效的降低作业难度，避免高处作业，单人就可以操作，可以有效的降低镀膜成本，提高镀膜效率。

技术特征：

1.一种制备光学镀膜的装置，包括真空镀膜室、转动轴、镀膜伞架以及蒸镀源，所述转动轴连接并设置在真空镀膜室的顶部，所述蒸镀源设置在真空镀膜室的底部，所述镀膜伞架与转动轴同轴连接，其特征在于，所述转动轴为伸缩旋转轴，所述真空镀膜室内壁沿其轴线方向同轴设置凹槽型的滑道，所述滑道底板处设置高度调节机构，所述镀膜伞架外边缘延伸设置环形凸缘，所述环形凸缘伸入滑道内，所述滑道长度大于环形凸缘厚度，所述环形凸缘底部与高度调节机构接触，环形凸缘面向高度调节机构的一侧设置滚珠、滚轮或轴承；

2.根据权利要求1所述的一种制备光学镀膜的装置，其特征在于，所述滑道与真空镀膜室内壁为一体式结构。

3.根据权利要求1所述的一种制备光学镀膜的装置，其特征在于，所述环形凸缘面向高度调节机构的一面表面设置耐磨层。

4.根据权利要求1所述的一种制备光学镀膜的装置，其特征在于，每个所述同步伸缩气缸同轴套设有防护罩，所述防护罩与活塞固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种制备光学镀膜的装置，其特征在于，所述防护罩表面设置耐磨层。

6.根据权利要求1所述的一种制备光学镀膜的装置，其特征在于，所述滑动杆长度大于活塞长度。

7.根据权利要求1所述的一种制备光学镀膜的装置，其特征在于，所述滑动杆数量为三。

技术总结
本发明公开了一种制备光学镀膜的装置，包括真空镀膜室、转动轴、镀膜伞架以及蒸镀源，转动轴连接并设置在真空镀膜室的顶部，蒸镀源设置在真空镀膜室的底部，镀膜伞架与转动轴同轴连接，转动轴为伸缩旋转轴，真空镀膜室内壁沿其轴线方向同轴设置凹槽型的滑道，滑道底板处设置高度调节机构，镀膜伞架外边缘延伸设置伸入滑道的环形凸缘，环形凸缘底部与高度调节机构连接，在镀膜前下移镀膜伞架方便安全放置基片，作业时提升至工作位置，不会影响镀膜伞架的旋转，镀膜结束后将镀膜伞架下移，方便将镀膜伞架上的基片取出，可以有效的降低作业难度，避免高处作业，单人就可以操作，可以有效的降低镀膜成本，提高镀膜效率。

技术研发人员：王晓亮
受保护的技术使用者：焕澄（上海）新材料科技发展有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16