一种用于真空镀膜的输送装置和生产线的制作方法

本发明涉及纯离子镀膜设备领域，具体涉及一种用于真空镀膜的输送装置和生产线。

背景技术：

1、近年来真空镀膜已被广泛应用在刀具、模具、汽车、航空航天、医疗、3c消费电子及军工等各个领域。目前真空镀膜设备大都是单机使用，且工件载架也都固定在腔室内，拆装麻烦，这样会极大延长镀膜周期，降低生产效率。因此提高生产率、降低生产成本已成为镀膜领域迫切需要解决的一个技术问题。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种用于真空镀膜的输送装置，其可以用于镀膜设备中，提高真空镀膜的生产效率和降低成本。

2、本发明采取的技术方案具体如下。

3、一种用于真空镀膜的输送装置，其特征在于：包括工件载架底部设置的滑动部以及用于支撑并调整滑动部沿其长度方向进行移动的输送部。

4、进一步的方案为：滑动部包括工件载架底部设置的两滑动条，两滑动条相互平行布置，输送部包括对应两滑动条布置的两输送轨，输送轨内沿其长度方向分别间隔设有输送导辊，输送导辊对滑动条进行支撑和输送。

5、输送轨包括相对间隔布置的两轨道板部，输送导辊转动装配在两轨道板部之间，两输送轨上相对布置的输送导辊之间分别通过传动轴相连接，各传动轴通过同步传动组件与行走驱动电机相连接。

6、滑动条延伸至工件载架外侧的两端分别设置有定位块，输送部的旁侧设置有对定位块进行检测的检测装置。

7、传动轴的一端延伸至输送轨的外侧并在该端部设置a锥齿轮，同步传动组件包括转动装配的同步轴，同步轴平行于输送轨安装在输送轨的外侧，同步轴上间隔设置各b锥齿轮，各b锥齿轮分别与各a锥齿轮啮合传动连接，同步轴上还设置有c锥齿轮，行走驱动电机立状布置，行走驱动电机的输出轴上设置有d锥齿轮，d锥齿轮与c锥齿轮啮合传动连接。

8、输送装置安装在装载台/卸载台上或者镀膜腔室的内底板上。

9、本发明还提供了一种真空镀膜生产线，其特征在于：包括各个镀膜腔室，各个镀膜腔室之间设置有阀门装置，镀膜腔室内底板上安装权利要求1～6中任意一项所述的输送装置。

10、具体的，内底板的中部还设置有用于驱使工件载架上的工件夹具进行转动的转动调节单元，工件载架的底部中间位置设置有竖状布置的驱动轴，转动调节单元包括升降式装配在内底板上的传动件，传动件的上端设置用于与驱动轴的下端进行插接装配的连接轴套，传动件的下端与转动驱动电机传动连接。

11、转动驱动电机的输出轴具有伸缩和转动的自由度，转动驱动电机安装在电机支架上，内底板的下侧设置有装配法兰，装配法兰和内底板之间通过波纹管相连接，转动驱动电机的输出轴延伸至装配法兰的上侧并与装配法兰转动装配，传动件位于波纹管内，传动件的下端通过绝缘组件与转动驱动电机的输出轴相连接。

12、还包括控制装置，控制装置用于调控各装置的运行状态。。

13、本发明提供的上述方案，可以实现对工件载架的可靠输送，提高真空镀膜的生产效率和降低成本。

技术特征：

1.一种用于真空镀膜的输送装置，其特征在于：包括工件载架底部设置的滑动部以及用于支撑并调整滑动部沿其长度方向进行移动的输送部。

2.根据权利要求1所述用于真空镀膜的输送装置，其特征在于：滑动部包括工件载架底部设置的两滑动条，两滑动条相互平行布置，输送部包括对应两滑动条布置的两输送轨，输送轨内沿其长度方向分别间隔设有输送导辊，输送导辊对滑动条进行支撑和输送。

3.根据权利要求2所述的用于真空镀膜的输送装置，其特征在于：输送轨包括相对间隔布置的两轨道板部，输送导辊转动装配在两轨道板部之间，两输送轨上相对布置的输送导辊之间分别通过传动轴相连接，各传动轴通过同步传动组件与行走驱动电机相连接。

4.根据权利要求2所述的用于真空镀膜的输送装置，其特征在于：滑动条延伸至工件载架外侧的两端分别设置有定位块，输送部的旁侧设置有对定位块进行检测的检测装置。

5.根据权利要求3所述的用于真空镀膜的输送装置，其特征在于：传动轴的一端延伸至输送轨的外侧并在该端部设置a锥齿轮，同步传动组件包括转动装配的同步轴，同步轴平行于输送轨安装在输送轨的外侧，同步轴上间隔设置各b锥齿轮，各b锥齿轮分别与各a锥齿轮啮合传动连接，同步轴上还设置有c锥齿轮，行走驱动电机立状布置，行走驱动电机的输出轴上设置有d锥齿轮，d锥齿轮与c锥齿轮啮合传动连接。

6.根据权利要求1所述的用于真空镀膜的输送装置，其特征在于：输送装置安装在装载台/卸载台上或者镀膜腔室的内底板上。

7.一种真空镀膜生产线，其特征在于：包括各个镀膜腔室，各个镀膜腔室之间设置有阀门装置，镀膜腔室内底板上安装权利要求1～6中任意一项所述的输送装置。

8.根据权利要求7所述的真空镀膜生产线，其特征在于：内底板的中部还设置有用于驱使工件载架上的工件夹具进行转动的转动调节单元，工件载架的底部中间位置设置有竖状布置的驱动轴，转动调节单元包括升降式装配在内底板上的传动件，传动件的上端设置用于与驱动轴的下端进行插接装配的连接轴套，传动件的下端与转动驱动电机传动连接。

9.根据权利要求8所述的真空镀膜生产线，其特征在于：转动驱动电机的输出轴具有伸缩和转动的自由度，转动驱动电机安装在电机支架上，内底板的下侧设置有装配法兰，装配法兰和内底板之间通过波纹管相连接，转动驱动电机的输出轴延伸至装配法兰的上侧并与装配法兰转动装配，传动件位于波纹管内，传动件的下端通过绝缘组件与转动驱动电机的输出轴相连接。

10.根据权利要求7所述的真空镀膜生产线，其特征在于：还包括控制装置，控制装置用于调控各装置的运行状态。

技术总结
本发明涉及一种用于真空镀膜的输送装置，包括工件载架底部设置的滑动部以及用于支撑并调整滑动部沿其长度方向进行移动的输送部。滑动部包括工件载架底部设置的两滑动条，两滑动条相互平行布置，输送部包括对应两滑动条布置的两输送轨，输送轨内沿其长度方向分别间隔设有输送导辊，输送导辊对滑动条进行支撑和输送。本发明提供的上述方案，可以实现对工件载架的可靠输送，提高真空镀膜的生产效率和降低成本。

技术研发人员：张心凤,夏正卫,陈玉梅,刘洋,张春福,汪鹏
受保护的技术使用者：安徽纯源镀膜科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15