用于镀膜设备的自锁装置及镀膜设备的制作方法

本技术涉及薄膜制备设备，尤其涉及一种用于镀膜设备的自锁装置及镀膜设备。

背景技术：

1、作为一种精准可控的薄膜材料制备方法，ald技术已成为半导体芯片制造中热门的材料制备技术，是沉积纳米尺度薄膜的最有效途径之一。根据反应激活方式的不同，ald可分为传统的热式ald、等离子体增强ald、催化ald等新型技术。其中，由于等离子体可以在较低温度下为衬底表面提供高反应活性且该反应活性可控的反应氛围，对促进薄膜的快速反应生长具有极大的推动作用，等离子体增强ald脱颖而出且得到了迅速发展，在半导体等诸多领域具有广泛的应用。

2、在现有的ald自旋转镀膜设备中，随着镀膜设备的发展，转动承载体的旋转机构也越来越复杂，需求转速越来越高，机台内部设置的电路控制的夹持固定装置容易受到高温及腐蚀气体的腐蚀和影响，电路连接的可靠性的耐久性受到影响。

3、因此，有必要设计一种新型的夹持固定装置，以改变现状。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种用于镀膜设备的自锁装置及镀膜设备，用于解决现有镀膜设备中采用电路控制的夹持固定装置时可靠性以及耐久性较差的问题。

2、本实用新型提出一种用于镀膜设备的自锁装置，包括：

3、安装座，连接于外部构件；

4、承载架，用于承托产品，所述承载架相对于所述安装座活动设置，且所述承载架至少部分位于所述安装座的上侧；以及

5、自锁组件，活动连接于所述安装座，所述自锁组件至少部分位于所述承载架的底部，在所述承载架放置于所述自锁组件上时，所述自锁组件用于抵接于所述承载架的外侧壁。

6、根据本实用新型的一个实施例，所述自锁组件包括自锁杠杆，所述自锁杠杆转动连接于所述安装座，且所述自锁杠杆具有至少两个活动端，其中一个所述活动端用于抵接于所述承载架的底部，另一个所述活动端用于抵接于所述承载架的外侧壁。

7、根据本实用新型的一个实施例，所述自锁组件还包括复位件，所述复位件连接于所述自锁杠杆，在所述承载架与所述自锁组件分离时，所述复位件用于驱使所述自锁杠杆朝向远离所述承载架的方向移动。

8、根据本实用新型的一个实施例，所述承载架开设有限位槽，所述自锁杠杆至少部分容置于所述限位槽内，并与所述限位槽的内壁滑动接触。

9、根据本实用新型的一个实施例，所述承载架包括承载底板和两个限位侧板，两个所述限位侧板间隔且平行设于所述承载底板的顶部，且所述限位侧板可拆卸连接于所述承载底板，所述限位槽设于两个所述限位侧板朝向彼此的一侧。

10、根据本实用新型的一个实施例，所述承载架还包括顶板，所述顶板盖设于所述限位侧板的顶部，且所述顶板可拆卸连接于所述限位侧板远离所述承载底板的一侧。

11、根据本实用新型的一个实施例，所述自锁杠杆的数量为两个，所述限位槽的数量也为两个，且每一个所述自锁杠杆与一个所述限位槽滑动接触，且两组所述自锁杠杆和所述限位槽对称设于所述承载架的相对两侧。

12、本实用新型还提供了一种镀膜设备，包括：

13、样品架，开设有用于容纳样品的容纳腔；以及

14、如上述任意一项所述的自锁装置，所述样品架可拆卸连接于所述自锁装置的所述承载架。

15、根据本实用新型的一个实施例，所述样品架的数量为多个，所述自锁装置的承载架开设有多个安装槽，多个所述安装槽沿竖直方向间隔且平行设置，所述样品架与所述安装槽插接配合，且多个所述样品架平行且间隔设置。

16、根据本实用新型的一个实施例，所述样品架包括架本体和两个安装部，两个所述安装部对称设于所述架本体的相对两侧，且所述安装部与所述安装槽插接配合。

17、根据本实用新型的一个实施例，所述镀膜设备还包括陪板，所述陪板可拆卸连接于所述自锁装置，且所述陪板与所述样品架间隔设置。

18、根据本实用新型的一个实施例，所述陪板包括板本体和凸起部，所述板本体可拆卸连接于所述自锁装置，所述凸起部凸设于所述板本体的表面，且所述凸起部用于与所述样品架间隔设置。

19、实施本实用新型实施例，具有如下有益效果：

20、使用本实施例的自锁装置时，将放置有样品架的承载架放置于自锁组件上，此时承载架便可以在自身的重力作用下驱使自锁组件活动，以使自锁组件抵接于承载架的侧壁，由此即可通过承载架的自身重力将其固定于安装座上，结构简单，固定效果好。

21、在本实施例的自锁装置中，通过设置自锁组件与承载架配合，可以在承载架的自身重力作用下将其固定与安装座上，将本自锁装置应用于自旋转镀膜设备中时，可以为承载架提供稳定的支撑作用，并且简单，可靠性以及耐久性均得以提高。

技术特征：

1.一种用于镀膜设备的自锁装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的用于镀膜设备的自锁装置，其特征在于，所述自锁组件还包括复位件，所述复位件连接于所述自锁杠杆，在所述承载架与所述自锁组件分离时，所述复位件用于驱使所述自锁杠杆朝向远离所述承载架的方向移动。

3.根据权利要求1所述的用于镀膜设备的自锁装置，其特征在于，所述承载架开设有限位槽，所述自锁杠杆至少部分容置于所述限位槽内，并与所述限位槽的内壁滑动接触。

4.根据权利要求3所述的用于镀膜设备的自锁装置，其特征在于，所述承载架包括承载底板和两个限位侧板，两个所述限位侧板间隔且平行设于所述承载底板的顶部，且所述限位侧板可拆卸连接于所述承载底板，所述限位槽设于两个所述限位侧板朝向彼此的一侧。

5.根据权利要求4所述的用于镀膜设备的自锁装置，其特征在于，所述承载架还包括顶板，所述顶板盖设于所述限位侧板的顶部，且所述顶板可拆卸连接于所述限位侧板远离所述承载底板的一侧。

6.根据权利要求4所述的用于镀膜设备的自锁装置，其特征在于，所述自锁杠杆的数量为两个，所述限位槽的数量也为两个，且每一个所述自锁杠杆与一个所述限位槽滑动接触，且两组所述自锁杠杆和所述限位槽对称设于所述承载架的相对两侧。

7.一种镀膜设备，其特征在于，包括：

8.根据权利要求7所述的镀膜设备，其特征在于，所述样品架的数量为多个，所述自锁装置的承载架开设有多个安装槽，多个所述安装槽沿竖直方向间隔且平行设置，所述样品架与所述安装槽插接配合，且多个所述样品架平行且间隔设置。

9.根据权利要求8所述的镀膜设备，其特征在于，所述样品架包括架本体和两个安装部，两个所述安装部对称设于所述架本体的相对两侧，且所述安装部与所述安装槽插接配合。

10.根据权利要求7所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还包括陪板，所述陪板可拆卸连接于所述自锁装置，且所述陪板与所述样品架间隔设置。

11.根据权利要求10所述的镀膜设备，其特征在于，所述陪板包括板本体和凸起部，所述板本体可拆卸连接于所述自锁装置，所述凸起部凸设于所述板本体的表面，且所述凸起部用于与所述样品架间隔设置。

技术总结
本技术涉及薄膜制备设备技术领域，涉及一种用于镀膜设备的自锁装置及镀膜设备。用于镀膜设备的自锁装置包括安装座、承载架和自锁组件；安装座连接于外部构件；承载架用于承托产品，承载架相对于安装座活动设置，且承载架至少部分位于安装座的上侧；自锁组件活动连接于安装座，自锁组件至少部分位于承载架的底部，在承载架放置于自锁组件上时，自锁组件用于抵接于承载架的外侧壁。使用本实施例的自锁装置时，将放置有样品架的承载架放置于自锁组件上，此时承载架便可以在自身的重力作用下驱使自锁组件活动，以使自锁组件抵接于承载架的侧壁，由此即可通过承载架的自身重力将其固定于安装座上，结构简单，固定效果好。

技术研发人员：请求不公布姓名
受保护的技术使用者：深圳市原速光电科技有限公司
技术研发日：20230116
技术公布日：2024/1/13