一种气相沉积炉内气体悬浮装置的制作方法

本技术涉及气相沉积炉，具体为一种气相沉积炉内气体悬浮装置。

背景技术：

1、气相沉积的基本原理涉及反应化学、热力学、动力学、转移机理、膜生长现象和反应工程。主要以金属蒸气、挥发性金属卤化物、氢化物或金属有机化合物等蒸气为原料，进行气相热分解反应，以及两种以上单质或化合物的反应，再凝聚生成各种形态的材料。化学气相沉积工艺中，沉积薄膜的均匀性极为重要，薄膜的均匀性主要受到炉内气体分布的影响。化学气相沉积过程是一个极为复杂的化学过程，气体是否均匀分布会对工艺的沉积速率、膜层的致密性、薄膜均匀性等产生较大影响。通常来说化学气相沉积受气体流场等工艺因素影响均匀性难以保证，为了提高涂层均匀性一般采用石墨盘旋转装置，可以达到稳定生产的目的。

2、中国实用新型专利cn211079325u公开了一种气相沉积炉内气体悬浮装置，包括平行设置并且旋转配合的石墨盘和底座，所述底座上设有主进气孔、第一分气孔、第二分气孔、第一倾斜出气孔和第二倾斜出气孔，所述第一分气孔、第二分气孔分别位于所述主进气孔的两侧，所述第一分气孔、第二分气孔分别与所述主进气孔交汇连通于同一点。该实用新型的保证了气体流动阻力一致，有效保证了两倾斜气体流量一样，悬浮效果好，旋转顺畅，可显著提高薄膜均匀性以及质量，并有效延长装置的使用周期，但仍存在一些问题，如当第一分气孔、第二分气孔、第一倾斜出气孔和第二倾斜出气孔任意一气孔出现阻塞，都会造成第一和第二倾斜出气孔排出气量出现偏差，从而造成石墨盘的两侧所受推力的大小不同，进而造成石墨盘无法悬浮，降低了装置的实用性较低。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种气相沉积炉内气体悬浮装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种气相沉积炉内气体悬浮装置，包括底座和石墨盘，所述底座上设有主进气孔、第一分气孔、第二分气孔、第一倾斜出气孔和第二倾斜出气孔，所述底座的上表面中部开设有阶梯安装孔，所述主进气孔与所述阶梯安装孔的下部一侧连通，所述第一分气孔和第二分气孔分别设置于所述阶梯安装孔的中部两侧，所述阶梯安装孔内设置有用于阻挡气体直接从阶阶梯安装孔的下部型腔进入中部型腔的阻挡块，所述阻挡块上端连接有用于推动石墨盘悬浮的推杆，所述推杆的上端外侧套设有与底座固定连接的限位导向套，限位导向套内设置有用于密封的密封圈。

3、优选的，所述阻挡块和所述推杆为一体结构，所述阻挡块的下端固定连接有橡胶密封垫。

4、优选的，所述限位导向套的上端连接有导向转套，且导向转套与限位导向套为一体结构，所述石墨盘的下端开设有与导向转套相匹配的导向转孔。

5、优选的，所述阻挡块的上端与所述限位导向套的下端距离小于所述导向转孔的深度。

6、优选的，所述底座中镶嵌设置有气道镶块，所述第一分气孔、第二分气孔、第一倾斜出气孔、第二倾斜出气孔和阶梯安装孔均设置于所述气道镶块上。

7、与现有技术相比，本实用新型提供了一种气相沉积炉内气体悬浮装置，具备以下有益效果：本实用新型采用气体推动阻挡块，并通过阻挡块带动推杆向上推动石墨盘与底座分离，从而避免因第一和第二倾斜出气孔排气量出现偏差造成的石墨盘无法悬浮，提高了装置的实用性。

技术特征：

1.一种气相沉积炉内气体悬浮装置，包括底座(1)和石墨盘(2)，所述底座(1)上设有主进气孔(10)、第一分气孔(11)、第二分气孔(12)、第一倾斜出气孔(13)和第二倾斜出气孔(14)，其特征在于：所述底座(1)的上表面中部开设有阶梯安装孔(15)，所述主进气孔(10)与所述阶梯安装孔(15)的下部一侧连通，所述第一分气孔(11)和第二分气孔(12)分别设置于所述阶梯安装孔(15)的中部两侧，所述阶梯安装孔(15)内设置有用于阻挡气体直接从阶阶梯安装孔(15)的下部型腔进入中部型腔的阻挡块(3)，所述阻挡块(3)上端连接有用于推动石墨盘(2)悬浮的推杆(4)，所述推杆(4)的上端外侧套设有与底座(1)固定连接的限位导向套(5)。

2.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉内气体悬浮装置，其特征在于：所述阻挡块(3)和所述推杆(4)为一体结构，所述阻挡块(3)的下端固定连接有橡胶密封垫(6)。

3.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉内气体悬浮装置，其特征在于：所述限位导向套(5)的上端连接有导向转套(7)，且导向转套(7)与限位导向套(5)为一体结构，所述石墨盘(2)的下端开设有与导向转套(7)相匹配的导向转孔。

4.根据权利要求3所述的一种气相沉积炉内气体悬浮装置，其特征在于：所述阻挡块(3)的上端与所述限位导向套(5)的下端距离小于所述导向转孔的深度。

5.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉内气体悬浮装置，其特征在于：所述底座(1)中镶嵌设置有气道镶块(8)，所述第一分气孔(11)、第二分气孔(12)、第一倾斜出气孔(13)、第二倾斜出气孔(14)和阶梯安装孔(15)均设置于所述气道镶块(8)上。

技术总结
本技术公开了一种气相沉积炉内气体悬浮装置，包括底座和石墨盘，底座上设有主进气孔、第一分气孔、第二分气孔、第一倾斜出气孔和第二倾斜出气孔，底座的上表面中部开设有阶梯安装孔，主进气孔与阶梯安装孔的下部一侧连通，第一分气孔和第二分气孔分别设置于阶梯安装孔的中部两侧，阶梯安装孔内设置有用于阻挡气体直接从阶阶梯安装孔的下部型腔进入中部型腔的阻挡块，阻挡块上端连接有用于推动石墨盘悬浮的推杆，推杆的上端外侧套设有与底座固定连接的限位导向套。本技术能够避免因第一和第二倾斜出气孔排气量出现偏差造成的石墨盘无法悬浮，提高了装置的实用性。

技术研发人员：何少龙,丁柳宁,盛锋锋,周李伟
受保护的技术使用者：浙江六方碳素科技有限公司
技术研发日：20230215
技术公布日：2024/1/12