一种热阻蒸发用回转机构的制作方法

文档序号:35693348发布日期:2023-10-11 14:16阅读:27来源:国知局
一种热阻蒸发用回转机构的制作方法

本技术涉及一种回转机构,具体涉及一种热阻蒸发用回转机构。


背景技术:

1、真空镀膜是将真空室内材料的原子从加热源离析出来,溅射到被镀物体的表面上,从而形成一层薄膜。回转机构是真空镀膜设备上必不可少的机构之一。通过回转机构带动被镀物体旋转,能使镀膜材料很好地溅射在被镀物体表面。通过回转机构的使用,有效提高了真空镀膜设备的工作效率。

2、如公开号为cn215560631u的专利一种适用于真空镀膜稳定性好的回转机构,涉及真空镀膜技术领域,为解决现有的回转机构通常悬置于镀膜设备内部,导致安装的不够稳定,长时间使用后其旋转时稳定性较差的问题。所述转盘的上方安装有支撑杆,所述支撑杆的上方安装有保持架,所述转盘的安装有下连接座,所述下连接座的下端设置有传动轴,所述传动轴下端的外部安装有第一齿轮,所述第一齿轮的一侧安装有第二齿轮,所述第二齿轮的上方安装有第三齿轮,所述第三齿轮的另一侧安装有第四齿轮,所述第四齿轮的下方安装有驱动电机,所述保持架包括内撑架、外撑架、通槽、滚槽、滚珠和上连接座,所述支撑杆的外侧安装有工件架。

3、该回转机构在使用的过程中,不便于对不同形状的工件进行固定,从而降低了该机构的实用性能。

4、因此,有必要提出一种热阻蒸发用回转机构解决上述技术问题。


技术实现思路

1、为解决上述问题,本实用新型提供了一种热阻蒸发用回转机构,本实用新型是通过以下技术方案来实现的。

2、一种热阻蒸发用回转机构,包括壳体、顶板和固定架,所述顶板设置在壳体的正上方,所述壳体内的顶部中心处固定安装有电机,且电机的输出轴头部贯穿到壳体的顶部外侧并固接有转轴,所述转轴的另一端延伸到顶板的底部并与顶板转动连接,所述转轴的外表面上下两侧对称固接有转盘,所述转盘的外表面圆周均匀固接有三组支板,上下两侧每组所述支板的自由端之间均转动连接有转杆,且转杆上固定连接有多个固定架。

3、优选的,所述壳体的底部固定连接有第一安装座,且第一安装座的底部外侧开设有第一安装孔,所述顶板的顶部固定连接有第二安装座,且第二安装座的顶部外侧开设有第二安装孔。

4、优选的,所述壳体的上表面与顶板的下表面均固定连接有齿环,各所述转杆的两端均贯穿对应的支板并固接有齿轮,所述齿轮与对应的齿环啮合。

5、优选的,所述固定架呈c型结构。

6、优选的,所述固定架内的底部固定连接有固定柱,且固定柱的顶部固接有固定板,所述固定架内的顶部位于固定柱的正上方转动连接有螺杆,且螺杆的底端转动连接有活动板,所述螺杆的顶端贯穿到固定架的顶部外侧并固接有手轮。

7、优选的,所述固定板的顶部与活动板的底部均固接有多个弹性柱。

8、本实用新型的有益效果是:

9、(1)本热阻蒸发用回转机构,通过设置的固定架便于对不同形状的工件进行固定,有效的提高了该机构的实用性能,通过在固定板与活动板的相对一侧设置的弹性柱可以减小与工件的接触面以及增加固定的效果。

10、(2)本热阻蒸发用回转机构,通过在壳体的上表面、顶板的下表面都设置的齿环与转杆的两端设置的齿轮,可提高本机构在转动时的稳定性。



技术特征:

1.一种热阻蒸发用回转机构,其特征在于:包括壳体(1)、顶板(2)和固定架(3),所述顶板(2)设置在壳体(1)的正上方,所述壳体(1)内的顶部中心处固定安装有电机(11),且电机(11)的输出轴头部贯穿到壳体(1)的顶部外侧并固接有转轴(12),所述转轴(12)的另一端延伸到顶板(2)的底部并与顶板(2)转动连接,所述转轴(12)的外表面上下两侧对称固接有转盘(13),所述转盘(13)的外表面圆周均匀固接有三组支板(14),上下两侧每组所述支板(14)的自由端之间均转动连接有转杆(15),且转杆(15)上固定连接有多个固定架(3)。

2.根据权利要求1所述一种热阻蒸发用回转机构,其特征在于:所述壳体(1)的底部固定连接有第一安装座(16),且第一安装座(16)的底部外侧开设有第一安装孔(17),所述顶板(2)的顶部固定连接有第二安装座(21),且第二安装座(21)的顶部外侧开设有第二安装孔(22)。

3.根据权利要求1所述一种热阻蒸发用回转机构,其特征在于:所述壳体(1)的上表面与顶板(2)的下表面均固定连接有齿环(23),各所述转杆(15)的两端均贯穿对应的支板(14)并固接有齿轮(18),所述齿轮(18)与对应的齿环(23)啮合。

4.根据权利要求1所述一种热阻蒸发用回转机构,其特征在于:所述固定架(3)呈c型结构。

5.根据权利要求4所述一种热阻蒸发用回转机构,其特征在于:所述固定架(3)内的底部固定连接有固定柱(31),且固定柱(31)的顶部固接有固定板(32),所述固定架(3)内的顶部位于固定柱(31)的正上方转动连接有螺杆(33),且螺杆(33)的底端转动连接有活动板(34),所述螺杆(33)的顶端贯穿到固定架(3)的顶部外侧并固接有手轮(35)。

6.根据权利要求5所述一种热阻蒸发用回转机构,其特征在于:所述固定板(32)的顶部与活动板(34)的底部均固接有多个弹性柱(36)。


技术总结
本技术公布了一种热阻蒸发用回转机构,包括壳体、顶板和固定架,顶板设置在壳体的正上方,壳体内的顶部中心处固定安装有电机,且电机的输出轴头部贯穿到壳体的顶部外侧并固接有转轴,转轴的另一端延伸到顶板的底部并与顶板转动连接,转轴的外表面上下两侧对称固接有转盘,转盘的外表面圆周均匀固接有三组支板,上下两侧每组支板的自由端之间均转动连接有转杆,且转杆上固定连接有多个固定架;本技术的有益效果是,通过设置的固定架便于对不同形状的工件进行固定,有效的提高了该机构的实用性能,通过在固定板与活动板的相对一侧设置的弹性柱可以减小与工件的接触面以及增加固定的效果。

技术研发人员:孙连仲
受保护的技术使用者:沈阳美誉科技有限公司
技术研发日:20230216
技术公布日:2024/1/15
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