支撑装置和PVD设备的制作方法

本技术涉及安全装置，尤其涉及一种支撑装置和pvd设备。

背景技术：

1、pvd设备(physical vapor deposition，物理气相沉积)主要由以下几部分组成：箱体、箱盖、附件、和开盖装置等。在进行附件装配和检修时需要在箱盖打开的情况下进行。在正常情况下，箱盖的打开和支撑由开盖装置里的液压油缸驱动。但是在进行新设备装配时，液压油缸处于无法工作的状态，此时会对箱体内的附件装配带来不便，而且，在后期检修时，若发生液压油缸意外卸力，会导致箱盖意外下落，对检修人员的安全性形成威胁。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种支撑装置和pvd设备，用以解决现有技术中液压油缸在未投入使用或出现意外卸力的情况时导致箱盖无法得到有效支撑的缺陷，实现使用机械支撑装置对箱盖提供支撑的效果。

2、本实用新型提供一种支撑装置，包括：

3、用于支撑在pvd设备的箱盖和箱体之间，使所述箱盖保持预设的打开角度，包括：

4、第一支撑座，所述第一支撑座用于可拆卸的连接在所述箱盖上；

5、第二支撑座，所述第二支撑座用于可拆卸的连接在所述箱体上；

6、支撑杆，所述支撑杆用于连接在所述第一支撑座和所述第二支撑座之间。

7、根据本实用新型提供的支撑装置，所述第一支撑座用于连接在所述箱盖垂直于所述箱盖的转动轴线的侧边上，且所述第一支撑座与所述箱盖滑动连接。

8、根据本实用新型提供的支撑装置，所述第一支撑座上设置有第一锁紧件，当所述第一锁紧件处于锁定位时，所述第一锁紧件用于限制所述第一支撑座沿所述箱盖滑动，当所述第一锁紧件处于解锁位时，所述第一支撑座可沿所述箱盖滑动，或与所述箱盖分离。

9、根据本实用新型提供的支撑装置，所述第二支撑座用于连接在所述箱体的顶部，且位于垂直于所述箱盖的转动轴线的侧边上，所述第二支撑座与所述箱体滑动连接。

10、根据本实用新型提供的支撑装置，所述第二支撑座上设置有第二锁紧件，当所述第二锁紧件处于锁定位时，所述第二锁紧件用于限制所述第二支撑座沿所述箱体滑动，当所述第二锁紧件处于解锁位时，所述第二支撑座可沿所述箱体滑动，或与所述箱体分离。

11、根据本实用新型提供的支撑装置，所述第一锁紧件和所述第二锁紧件均为锁紧螺栓。

12、根据本实用新型提供的支撑装置，所述支撑杆与所述第一支撑座上均设置有第一销孔，所述支撑杆与所述第一支撑座通过第一销轴连接，所述支撑杆与所述第一支撑座的至少其中一者的第一销孔的内径大于所述第一销轴的外径；

13、所述支撑杆与所述第二支撑座上均设置有第二销孔，所述支撑杆与所述第二支撑座通过第二销轴连接，所述支撑杆与所述第二支撑座的至少其中一者的第二销孔的内径大于所述第二销轴的外径。

14、根据本实用新型提供的支撑装置，所述支撑杆的长度可调。

15、根据本实用新型提供的支撑装置，所述支撑杆包括第一滑动杆和第二滑动杆，所述第一滑动杆与所述第二滑动杆嵌套连接，且所述第一滑动杆与所述第二滑动杆的其中一者上设置有固定孔，另一者上设置有至少一个调节孔，当所述固定孔与其中一个所述调节孔对正时，所述第一滑动杆和所述第二滑动杆通过第三销轴固定。

16、本实用新型还提供一种pvd设备，包括箱体、箱盖和如上所述的支撑装置，所述支撑装置用于可拆卸的设置在所述箱体和所述箱盖之间。

17、本实用新型提供的支撑装置，包括第一支撑座、第二支撑座和支撑杆，第一支撑座用于与pvd设备的箱盖可拆卸连接，第二支撑座用于与pvd设备的箱体连接，支撑杆的两端分别用于与第一支撑座和第二支撑座连接。在pvd设备装配时，由于开盖装置的液压油缸还未装配或者还未供油，液压油缸无法执行开盖以及使箱盖保持打开状态，此时可使用起吊装置打开箱盖，然后将第一支撑座安装到箱盖上，将第二支撑座安装到箱体上，将支撑杆的两端分别与第一支撑座和第二支撑座连接，连接后，该支撑装置可以使箱盖保持打开状态，保证在箱体内进行附件装配的工作人员的安全。此外，当pvd设备在后期检修时，虽然液压油缸可以执行开盖动作，且可以使箱盖保持打开状态，但是安装本实用新型提供的支撑装置后，可以保证在液压油缸出现故障意外卸力时，箱盖不会意外下落，进一步保证了工作人员的人身安全。

18、进一步地，在本实用新型提供的pvd设备中，由于设置有如上所述的支撑装置，因此具有与如上所述相同的优势。

技术特征：

1.一种支撑装置，其特征在于，用于支撑在pvd设备的箱盖(120)和箱体(110)之间，使所述箱盖(120)保持预设的打开角度，包括：

2.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述第一支撑座(200)用于连接在所述箱盖(120)垂直于所述箱盖(120)的转动轴线的侧边上，且所述第一支撑座(200)与所述箱盖(120)滑动连接。

3.根据权利要求2所述的支撑装置，其特征在于，所述第一支撑座(200)上设置有第一锁紧件，当所述第一锁紧件处于锁定位时，所述第一锁紧件用于限制所述第一支撑座(200)沿所述箱盖(120)滑动，当所述第一锁紧件处于解锁位时，所述第一支撑座(200)可沿所述箱盖(120)滑动，或与所述箱盖(120)分离。

4.根据权利要求3所述的支撑装置，其特征在于，所述第二支撑座(300)用于连接在所述箱体(110)的顶部，且位于垂直于所述箱盖(120)的转动轴线的侧边上，所述第二支撑座(300)与所述箱体(110)滑动连接。

5.根据权利要求4所述的支撑装置，其特征在于，所述第二支撑座(300)上设置有第二锁紧件，当所述第二锁紧件处于锁定位时，所述第二锁紧件用于限制所述第二支撑座(300)沿所述箱体(110)滑动，当所述第二锁紧件处于解锁位时，所述第二支撑座(300)可沿所述箱体(110)滑动，或与所述箱体(110)分离。

6.根据权利要求5所述的支撑装置，其特征在于，所述第一锁紧件和所述第二锁紧件均为锁紧螺栓(500)。

7.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑杆(400)与所述第一支撑座(200)上均设置有第一销孔，所述支撑杆(400)与所述第一支撑座(200)通过第一销轴(250)连接，所述支撑杆(400)与所述第一支撑座(200)的至少其中一者的第一销孔的内径大于所述第一销轴(250)的外径；

8.根据权利要求1或7所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑杆(400)的长度可调。

9.根据权利要求8所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑杆(400)包括第一滑动杆和第二滑动杆，所述第一滑动杆与所述第二滑动杆嵌套连接，且所述第一滑动杆与所述第二滑动杆的其中一者上设置有固定孔，另一者上设置有至少一个调节孔，当所述固定孔与其中一个所述调节孔对正时，所述第一滑动杆和所述第二滑动杆通过第三销轴固定。

10.一种pvd设备，其特征在于，包括箱体(110)、箱盖(120)和如权利要求1～9任一项所述的支撑装置，所述支撑装置用于可拆卸的设置在所述箱体(110)和所述箱盖(120)之间。

技术总结
本技术涉及安全装置领域，提供一种支撑装置和PVD设备，包括第一支撑座、第二支撑座和支撑杆，第一支撑座用于与PVD设备的箱盖可拆卸连接，第二支撑座用于与PVD设备的箱体可拆卸连接，支撑杆连接在第一支撑座和第二支撑座之间。在PVD设备装配时，可使用起吊装置打开箱盖，然后将第一支撑座安装到箱盖上，将第二支撑座安装到箱体上，将支撑杆的两端分别与第一支撑座和第二支撑座连接。连接后，该支撑装置可以使箱盖保持打开状态，保证在箱体内进行附件装配的工作人员的安全。此外，当PVD设备在后期检修时，支撑装置可以保证在液压油缸出现故障意外卸力时，箱盖不会意外下落，进一步保证了工作人员的人身安全。

技术研发人员：尉法兵
受保护的技术使用者：三一硅能（株洲）有限公司
技术研发日：20230306
技术公布日：2024/1/13